The utility model discloses a simple boat carrying apparatus, which comprises a hook and a bearing, bearing with two side plates mounted on the carrier is fixed at the top of the quartz rod, quartz rod supported between two side plates, a hook hook quartz rod, the bearing device also has a multi-layer bearing plate group. Bearing plate group consists of two with positioning holes, each bearing plate group bearing plate fixed on the corresponding side. The utility model has the advantages of simple structure and convenient manufacture, reduces the obstacle during cleaning, and ensures the safety and accuracy in the working process.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种简易晶舟承载器具，用于半导体清洗设备中。
技术介绍
目前，在半导体清洗设备中，社会上应用于高温高酸碱液内晶片清洗的器具非常多，怎样去设计，怎么样实现其功能，尽可能的考虑结构简单，制作方便，是这个行业设计人员考虑的问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、制作方便，减少清洗时的障碍，又能保证工作过程中的安全性和准确性的简易晶舟承载器具。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是:一种简易晶舟承载器具，它包括挂钩和承载器，承载器上具有两个侧板，承载器的顶部还固定有石英棒，石英棒支承在两个侧板之间，挂钩勾住石英棒，承载器上还具有多层承载板组，承载板组由两个具有定位孔的承载板组成，承载板组的每个承载板固定在相应的侧板上。进一步，所述的承载器和挂钩均由石英材料制成。采用了上述技术方案后，本技术的结构简洁，制作方便，在实现了功能的同时，大大减少了清洗时的障碍，降低成本，另外，考虑到本器具是在强酸碱环境下清洗，不能产生本体污染，本技术的材料采用高纯度的石英材料。附图说明图1为本技术的简易 晶舟承载器具的工作示意图；图2为本技...
【技术保护点】
一种简易晶舟承载器具，其特征在于：它包括挂钩（1）和承载器（2），承载器（2）上具有两个侧板（2?1），承载器（2）的顶部还固定有石英棒（2?2），石英棒（2?2）支承在两个侧板（2?1）之间，挂钩（1）勾住石英棒（2?2），承载器（2）上还具有多层承载板组，承载板组由两个具有定位孔的承载板（2?3）组成，承载板组的每个承载板（2?3）固定在相应的侧板（2?1）上。
【技术特征摘要】
1.一种简易晶舟承载器具，其特征在于:它包括挂钩(I)和承载器(2)，承载器(2)上具有两个侧板(2-1 )，承载器(2)的顶部还固定有石英棒(2-2)，石英棒(2-2)支承在两个侧板(2-1)之间，挂钩(I)勾住石英棒(2-2 )，承载器...
【专利技术属性】
技术研发人员：卡尔·罗伯特·休斯特，
申请(专利权)人：硅密常州电子设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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