The utility model relates to a diffusion quartz boat, used for the placement of silicon diffusion treatment, including a supporting frame and a supporting frame located at both ends of the two panels, two panels are provided with through holes for air flow through the bottom of the support frame comprises a fixed bar, is arranged in the support bar is fixed on the bottom and for the two side of the bar retaining the silicon wafer is provided with at least two keel between two side rails, the utility model can be made on silicon wafer and quartz boat parallel flow, so that air can flow uniformly on the silicon wafer, has greatly improved the uniformity of diffusion resistance, and improve the conversion of the cell the efficiency, reduce the proportion of inefficient film, saves the cost of enterprise.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种石英舟,尤其涉及一种扩散石英舟。
技术介绍
太阳能电池扩散是电池片制作中的核心工序,主要目的是形成PN结使得电子和空穴分离,高质量,高均匀性的PN结是生产高效电池的基础。目前我们所使用的传统石英舟,由于温度和气流分布不均匀,因此扩散方阻的均匀性不是很好,可调空间也不大,工艺气体从尾部进入炉内,气流垂直于硅片表面,工艺气体沿着硅片周边流向炉口,工艺气体较难到达硅片与硅片之间,硅片中心区域气体密度低于硅片四边,从而导致硅片中间方阻大于四边的方阻,方阻均匀性差,电池片方阻均匀性差从而导致转换效率低。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了解决传统的石英舟温度和气流分布不均匀而导致电池片转换效率低的问题,本技术提供一种用于生产太阳能电池片的扩散石英舟来解决上述问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种扩散石英舟,用于放置硅片进行扩散处理,包括一个支撑骨架和位于支撑骨架两端的两块面板,所述的两块面板上均开有用于气流通过的通孔,所述的支撑骨架包括位于底部的底固定条、设置在底固定条上的支撑条和用于围护硅片的两条侧面横杆,所述的两条侧面横杆之间设置有至少两根龙骨。为了放置的硅片稳固,所述支撑条上具有多个第一插槽。为了放置的硅片稳固,所述龙骨正对硅片的方向设置有多个第二插槽。进一步,具体的说,所述的底固定条为2根,支撑条为6根,龙骨为4根,所述的4根龙骨均布在所述的侧面横杆上将扩散石英舟分为三格,每格内均设置有两个支撑条。进一步,根据实际需要,所述的第一插槽和第二插槽的个数均为20-200。进一步,作为优选,所述的第一插槽和第二插槽的个数均为50。进一 ...
【技术保护点】
一种扩散石英舟,用于放置硅片(1)进行扩散处理,其特征在于:包括一个支撑骨架和位于支撑骨架两端的两块面板(2),所述的两块面板(2)上均开有用于气流通过的通孔(9),所述的支撑骨架包括位于底部的底固定条(3)、设置在底固定条(3)上的支撑条(5)和用于围护硅片(1)的两条侧面横杆(4),所述的两条侧面横杆(4)之间设置有至少两根龙骨(7)。
【技术特征摘要】
1.一种扩散石英舟,用于放置硅片(I)进行扩散处理,其特征在于:包括一个支撑骨架和位于支撑骨架两端的两块面板(2),所述的两块面板(2)上均开有用于气流通过的通孔(9),所述的支撑骨架包括位于底部的底固定条(3)、设置在底固定条(3)上的支撑条(5)和用于围护硅片(I)的两条侧面横杆(4),所述的两条侧面横杆(4)之间设置有至少两根龙骨(7)。2.如权利要求1所述的扩散石英舟,其特征在于:所述支撑条(5)上具有多个第一插槽(6)。3.如权利要求1或2所述的扩散石英舟,其特征在于:所述龙骨(7)正对硅片的方向设置有多个第二插槽(8)。4.如权利要求3所述的扩散石英舟,其特征在于:...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄华,陈琼,
申请(专利权)人:常州亿晶光电科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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