【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池，具体是一种高效钝化的perc太阳能电池的制备方法。
技术介绍
1、对于perc太阳能电池背面的膜层结构来说，大部分太阳能电池选择氧化铝及氮化硅作为钝化膜层。
2、perc太阳能电池背面沉积氧化铝层和氮化硅层。氧化铝在烧结工艺中，体内的o-h键会因高温被打断，从而产生氢损失，影响钝化效果。
3、因此，如何避免perc太阳能电池烧结时降低钝化效果，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
1、为解决
技术介绍
中的技术问题，本专利技术公开了一种高效钝化的perc太阳能电池的制备方法。
2、一种高效钝化的perc太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：
3、s1、pecvd的炉管内加热至480℃，并充入氮气，进行吹扫，去除杂质；
4、s2、将硅片放入炉管内；
5、s3、抽真空，去除炉管内的杂质气体；
6、s4、充入氮气，进一步去除管内杂质；
7、s5、抽真空；
8、s6、炉管内充入硅烷和笑气，在硅基底的背面沉积二氧化硅膜；
9、s7、炉管内充入tma和笑气，在硅基底的背面沉积氧化铝膜；
10、s8、炉管内通入氨气和笑气，并打开射频电源，使得氨气和笑气分解，向氧化铝膜内注入氢原子和氧原子；
11、s9、在硅基底的背面沉积第一氮化硅膜；
12、s10、在硅基底的背面沉积第二氮化硅膜；
13、s11、
14、s12、抽真空，去除残余特气；
15、s13、炉管内充入氮气；
16、s14、恢复常温后取出硅片。
17、二氧化硅膜过厚，由于其带有正电荷，容易形成反转层，降低电池转化效率；过薄，则成膜质量及均匀性较差，削弱表面沉积的氧化铝钝化效果，进而降低电池转化效率，基于此，进一步的设计是：步骤s6中硅烷的流量为1000sccm，笑气的流量为13000sccm；二氧化硅膜的厚度为1±2nm、折射率为1.42±0.05。
18、步骤s7中tma和笑气的流量大小，直接影响氧化铝膜的厚度，基于此，进一步的设计是：步骤s7中tma的浓度为50％，流量为8000sccm，笑气的流量为4000sccm。
19、步骤s8中氨气和笑气的流量，直接影响分解出氧原子和氢原子的量，影响钝化效果和负电荷的量，基于此，进一步的设计是：步骤s8中氨气的流量为10000sccm，笑气的流量为5000sccm。
20、第一氮化硅膜过厚，减反射效果能力变差；过薄，钝化效果减弱，基于此，进一步的设计是：第一氮化硅膜的厚度为20±3nm、折射率为2.27±0.05，沉积时硅烷的流量为2500sccm，氨气的流量为8500sccm。
21、第二氮化硅膜、第三氮化硅膜过厚，钝化效果变弱；过薄，减反射效果能力变差，基于此，进一步的设计是：第二氮化硅膜的厚度为20±3nm、折射率为2.13±0.05，沉积时硅烷的流量为1800sccm，氨气的流量为12000sccm。第三氮化硅膜的厚度为40±3nm、折射率为2.05±0.05，沉积时硅烷的流量为1400sccm，氨气的流量为12500sccm。
22、本专利技术的有益效果是：沉积氧化铝膜和氮化硅膜之间，先进行氨气和笑气的预通气，将分解出的氢原子和氧原子注入到氧化铝膜内。如此氧化铝膜中的氢原子含量会提高，当烧结时，即使有部分氢原子会损失，但氧化铝膜中氢原子的含量依旧能够满足钝化效果所需的量，从而保持氧化铝膜的钝化效果。氧原子与氧化铝膜内的正电荷al3+发生反应，生成负电荷(alo4)-，从而减少了正电荷的量，增加了负电荷的量，进而提高了负电荷的密度，提高了场钝化效果。
23、由于二氧化硅膜本身是四面体结构，所以在二氧化硅表面沉积氧化铝膜，更容易沉积出相同四面体结构的负电荷(alo4)-；而正电荷al3+是八面体结构，难以在四面体结构的基础上生成，进而降低了正电荷的量，提高了负电荷的密度，提高了场钝化效果。
24、因此本专利技术在二氧化硅膜和步骤s8中充入笑气的共同作用下，负电荷的密度更高，场钝化效果也更佳。
25、另外氮化硅膜设置成三层结构，相比于一次沉积成型的氮化硅膜，第一氮化硅膜的反射率不变，第二氮化硅膜和第三氮化硅膜的折射率逐层降低，如此设置，不仅降低了表面的反射效果，还保持了良好的钝化效果。
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1.一种高效钝化的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种高效钝化的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：步骤S6中硅烷的流量为1000sccm，笑气的流量为13000sccm。
3.根据权利要求2所述的一种高效钝化的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：二氧化硅膜的厚度为1±2nm、折射率为1.42±0.05。
4.根据权利要求1所述的一种高效钝化的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：步骤S7中TMA的浓度为50％，流量为8000sccm，笑气的流量为4000sccm。
5.根据权利要求1所述的一种高效钝化的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：步骤S8中氨气的流量为10000sccm，笑气的流量为5000sccm。
6.根据权利要求1所述的一种高效钝化的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：第一氮化硅膜的厚度为20±3nm、折射率为2.27±0.05，沉积时硅烷的流量为2500sccm，氨气的流量为8500sccm。
7.根据权利要求1所
8.根据权利要求1所述的一种高效钝化的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：第三氮化硅膜的厚度为40±3nm、折射率为2.05±0.05，沉积时硅烷的流量为1400sccm，氨气的流量为12500sccm。
...【技术特征摘要】
1.一种高效钝化的perc太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种高效钝化的perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：步骤s6中硅烷的流量为1000sccm，笑气的流量为13000sccm。
3.根据权利要求2所述的一种高效钝化的perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：二氧化硅膜的厚度为1±2nm、折射率为1.42±0.05。
4.根据权利要求1所述的一种高效钝化的perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：步骤s7中tma的浓度为50％，流量为8000sccm，笑气的流量为4000sccm。
5.根据权利要求1所述的一种高效钝化的perc太阳能电池的制备方法，其特征在于：步骤s8中氨气的流量为10000scc...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛博文，胡琴，张飞，孙铁囤，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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