扩散石英舟制造技术

本实用新型专利技术公开一种扩散石英舟，该扩散石英舟包括顶板和底板、至少一根后固定杆以及多根侧支撑杆；顶板和底板上下间隔相对设置；至少一根后固定杆竖直支撑于顶板后侧与底板后侧之间，后固定杆朝向顶板的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第一卡槽；多根侧支撑杆包括至少一根左侧支撑杆及至少一根右侧支撑杆，左侧支撑杆竖直支撑于顶板左侧与底板左侧之间；右侧支撑杆竖直支撑于顶板右侧与底板右侧之间，侧支撑杆朝向顶板的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第二卡槽；其中，多个第一卡槽与多个第二卡槽共同界定出上下间隔分布的多个放置空间，以分别放置多块硅片。本实用新型专利技术对扩散方阻的均匀性有较大的改善，同时提高了电池片的转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造
，具体而言，涉及一种扩散石英舟。
技术介绍
晶体硅太阳能电池生产的主要流程包括：制绒、扩散、湿法刻蚀、沉积减反射膜、丝网印刷、烧结。其中，扩散是在硅片(一般掺硼)表面形成P-N结，是太阳能电池片实现光电转换的核心工序，而P-N结的结深、表面惨杂浓度以及P-N结的均匀性，对电池的转换效率有着非常重要的影响，尤其是P-N结的均匀性，它会影响烧结工序，进而影响电池的串联电阻Rs。目前，晶体硅太阳电池扩散工艺中大都采用三氯氧磷(POCl3)液态源扩散法，其原理是：三氯氧磷被氮气携带进入石英炉管内，在高温条件下分解为五氯化磷和五氧化二磷，五氯化磷与氧气反应生成五氧化二磷和氯气，五氧化二磷又与硅片反应生成磷单质和二氧化硅，高温下磷原子从硅片表面向内部扩散，并形成N型区域，和基片一起构成了P-N结。利用此方法得到的P-N结结构均匀，扩散层表面良好，并且生产效率高，有利于制作大面积太阳能电池，是目前应用最多的扩散方法。如图1所示，上述扩散方法通常是在石英舟100上间隔均匀的插上清洗后的硅片200进行扩散，而该方法的弊端在于，一方面，由于扩散炉管的炉口热量损失较大，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散石英舟(300)，用于放置多块硅片，其特征在于，所述扩散石英舟(300)包括：顶板(310)和底板(320)，上下间隔相对设置；至少一根后固定杆(330)，竖直支撑于所述顶板(310)后侧与所述底板(320)后侧之间，所述后固定杆(330)朝向所述顶板(310)的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第一卡槽(3301)；以及多根侧支撑杆，包括至少一根左侧支撑杆(341)及至少一根右侧支撑杆(342)，所述左侧支撑杆(341)竖直支撑于所述顶板(310)左侧与所述底板(320)左侧之间；所述右侧支撑杆(342)竖直支撑于所述顶板(310)右侧与所述底板(320)右侧之间，所述侧支撑杆朝向所述...

【技术特征摘要】
1.一种扩散石英舟(300)，用于放置多块硅片，其特征在于，所述扩散石英舟(300)包括：顶板(310)和底板(320)，上下间隔相对设置；至少一根后固定杆(330)，竖直支撑于所述顶板(310)后侧与所述底板(320)后侧之间，所述后固定杆(330)朝向所述顶板(310)的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第一卡槽(3301)；以及多根侧支撑杆，包括至少一根左侧支撑杆(341)及至少一根右侧支撑杆(342)，所述左侧支撑杆(341)竖直支撑于所述顶板(310)左侧与所述底板(320)左侧之间；所述右侧支撑杆(342)竖直支撑于所述顶板(310)右侧与所述底板(320)右侧之间，所述侧支撑杆朝向所述顶板(310)的一侧面上开设有多个上下间隔分布的第二卡槽(3401)；其中，所述多个第一卡槽(3301)与所述多个第二卡槽(3401)共同界定出上下间隔分布的多个放置空间，以分别放置所述多块硅片。2.根据权利要求1所述的扩散石英舟(300)，其特征在于，所述扩散石英舟(300)包括两根所述后固定杆(330)，所述两根后固定杆(330)间隔平行设置，且支撑于所述顶板(310)后侧的中部与所述底板(320)后侧的中部之间。3.根据权利要求1所述的扩散石英舟(300)，其特征在于，所述扩散石英舟(300)包括相对设置的一根所述左侧支撑杆(341)及一根所述右侧支撑杆(342)，所述左侧支撑杆(341)支撑于所述顶板(310)左侧的中部与所述底板(320)左侧的中部之间，所述右侧支撑杆(342...

【专利技术属性】
技术研发人员：和江变，邹凯，周国华，马承鸿，李健，
申请(专利权)人：内蒙古日月太阳能科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15