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本实用新型涉及一种扩散石英舟，用于放置硅片进行扩散处理，包括一个支撑骨架和位于支撑骨架两端的两块面板，两块面板上均开有用于气流通过的通孔，支撑骨架包括位于底部的底固定条、设置在底固定条上的支撑条和用于围护硅片的两条侧面横杆，两条侧面横杆之间...
该专利属于常州亿晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州亿晶光电科技有限公司授权不得商用。

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