一种改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置及方法，通过在机械手臂的两侧设置喷嘴，可在利用机械手臂向晶舟传输晶圆的过程中，对晶舟支撑脚的支撑部位进行气体吹扫，达到清洁晶舟支撑脚的目的，从而可改善炉管机台存在的颗粒状况。

【技术实现步骤摘要】
201610185803

【技术保护点】
一种改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置，所述晶舟的两侧竖直设有支撑杆，沿两侧支撑杆内侧相对设有多个支撑脚，用于支撑在其上装载的晶圆，其特征在于，所述装置包括一移动喷气式机构，所述移动喷气式机构包括一机械手臂以及分别设置在机械手臂两侧的喷嘴；其中，在所述机械手臂向晶舟传输晶圆并将晶圆装载至支撑脚上的过程中，通过所述喷嘴向其对应侧支撑脚的支撑部位喷射气体进行吹扫，以对所述支撑脚进行颗粒清洁。

【技术特征摘要】
1.一种改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置，所述晶舟的两侧竖直设
有支撑杆，沿两侧支撑杆内侧相对设有多个支撑脚，用于支撑在其上装载的
晶圆，其特征在于，所述装置包括一移动喷气式机构，所述移动喷气式机构
包括一机械手臂以及分别设置在机械手臂两侧的喷嘴；其中，在所述机械手
臂向晶舟传输晶圆并将晶圆装载至支撑脚上的过程中，通过所述喷嘴向其对
应侧支撑脚的支撑部位喷射气体进行吹扫，以对所述支撑脚进行颗粒清洁。
2.根据权利要求1所述的改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置，其特
征在于，所述机械手臂的前端水平设有双股叉，用于从下方叉取晶圆，所述
喷嘴分别水平设置在双股叉的两侧外侧。
3.根据权利要求1所述的改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置，其特
征在于，所述双股叉在所述机械手臂的前端上下并列设置若干个，所述喷嘴
设置在每个双股叉的两侧外侧。
4.根据权利要求1所述的改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置，其特
征在于，每侧的所述喷嘴沿所述机械手臂的运动方向设置若干个。
5.根据权利要求1所述的改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装置，其特征
在于，所述喷嘴的角度可调。
6.根据权利要求5任意一项所述的改善炉管晶舟支撑脚颗粒状况的装
置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张召，张乐成，王智，苏俊铭，倪立华，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31