一种晶圆圆心位置纠心装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔映射板，所述内置腔的内部设置有内板，且内板的内部安装有主体，所述主体的外部表面设置有标尺，所述标尺底部外部的一端安装有连接座，且连接座的内部设置有固定螺栓，所述映射板位于内板内部的左端。该一种晶圆圆心位置纠心装置通过辅助装置、滑道、电动推杆和红外线的设置，能够利用红外线的设置辅助性的对晶圆圆心位置的准确程度进行肉眼的识别，便于使用者在机器加工过程中从外部对晶圆圆心的位置进行实时的观察，为使用者提供便捷，且可根据主体的安装时的厚度利用电动推杆的作用对红外线的位置的高度进行调整，无需使用者手动操作，使用较为灵活。

A device for rectifying the center position of wafer

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆圆心位置纠心装置
本技术涉及纠心装置
，具体为一种晶圆圆心位置纠心装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，在对晶圆的切割过程中会出现一定程度的偏差，从而对晶圆圆心的纠正引起了人们的关注。市场上的纠心装置在使用过程中不能够快速的对揪心位置进行快速对齐，给使用者的使用带来不便，并且不具有外部辅助性判断圆心是否对准装组件，不能够达到较佳的纠心，为此，我们在现有的纠心装置的基础上进行改进和创新。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆圆心位置纠心装置，以解决上述
技术介绍
中提出的纠心装置在使用过程中不能够快速的对揪心位置进行快速对齐，给使用者的使用带来不便，并且不具有外部辅助性判断圆心是否对准装组件，不能够达到较佳的纠心的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔和映射板，所述内置腔的内部设置有内板，且内板的内部安装有主体，所述主体的外部表面设置有标尺，所述标尺底部外部的一端安装有连接座，且连接座的内部设置有固定螺栓，所述映射板位于内板内部的左端，所述内板内部的右端安装有辅助装置。优选的，所述连接座外部的一端与主体底部的外部为固定连接，且连接座关于主体的中心呈环形分布。优选的，所述主体通过连接座与固定螺栓和内板构成固定结构，且内板的外部与内置腔为一体化结构。优选的，所述内置腔的形状为矩形结构，且内置腔的内部与辅助装置的外部为紧密贴合。优选的，所述标尺的内部与主体为固定连接，且标尺的形状为圆环形结构。优选的，所述辅助装置包括滑道、电动推杆和红外线，且辅助装置内部的中部安装有滑道，所述滑道的内部设置有电动推杆，且电动推杆顶部的内部连接有红外线。优选的，所述红外线底部的外部与电动推杆为固定连接，且红外线通过滑道与电动推杆构成升降结构。优选的，所述电动推杆底部的外部与滑道内部的底部为焊接连接，且滑道的俯视截面形状为半圆形结构。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、该一种晶圆圆心位置纠心装置在使用过程中可利用主体外部标尺的设置快速的在内板的中部找到准确的位置，便于使用者对主体进行后续的固定，安装时晶圆和研磨盘同心，标尺的外部表面环形设置有刻度线，略突出于标尺的外部表面，不会在长时间的使用过程中磨损消失，内板内部也设置的环形刻度线，当需对主体进行安装时保持内板与标尺外部的刻度线一致时即可利用连接座与固定螺栓进行便捷的固定；2、整个操作，结构简单，使用方便，无需较多技术，即可实现快速的定位与安装，便于使用者的使用，整个纠心装置是用在研磨机上，安装时晶圆和研磨盘同心，可将待研磨的晶圆放置在研磨盘上，辅助研磨机在操作过程中保持较为精确的位置，为研磨的精准程度提供支持，方便对晶圆进行研磨；3、该一种晶圆圆心位置纠心装置通过辅助装置、滑道、电动推杆和红外线的设置，能够利用红外线的设置辅助性的对晶圆圆心位置的准确程度进行肉眼的识别，便于使用者在机器加工过程中从外部对晶圆圆心的位置进行实时的观察，为使用者提供便捷，且可根据主体的安装时的厚度利用电动推杆的作用对红外线的位置的高度进行调整，无需使用者手动操作，使用较为灵活。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术主体立体结构示意图；图3为本技术辅助装置内部结构示意图。图中：1、内置腔；2、内板；3、主体；4、连接座；5、固定螺栓；6、辅助装置；601、滑道；602、电动推杆；603、红外线；7、映射板；8、标尺。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔1、内板2、主体3、连接座4、固定螺栓5、辅助装置6、滑道601、电动推杆602、红外线603、映射板7和标尺8，内置腔1的内部设置有内板2，且内板2的内部安装有主体3，内置腔1的形状为矩形结构，且内置腔1的内部与辅助装置6的外部为紧密贴合，主体3通过连接座4与固定螺栓5和内板2构成固定结构，且内板2的外部与内置腔1为一体化结构，主体3的外部表面设置有标尺8，标尺8的内部与主体3为固定连接，且标尺8的形状为圆环形结构，可利用主体3外部标尺8的设置快速的在内板2的中部找到准确的位置，便于使用者对主体3进行后续的固定，安装时晶圆和研磨盘同心，标尺8的外部表面环形设置有刻度线，略突出于标尺8的外部表面，不会在长时间的使用过程中磨损消失；内板2内部也设置的环形刻度线，当需对主体3进行安装时保持内板2与标尺8外部的刻度线一致时即可利用连接座4与固定螺栓5进行便捷的固定，整个操作，结构简单，使用方便，无需较多技术，即可实现快速的定位与安装，便于使用者的使用，整个纠心装置是用在研磨机上，安装时晶圆和研磨盘同心，可将待研磨的晶圆放置在研磨盘上，辅助研磨机在操作过程中保持较为精确的位置，为研磨的精准程度提供支持，方便对晶圆进行研磨，标尺8底部外部的一端安装有连接座4，且连接座4的内部设置有固定螺栓5，连接座4外部的一端与主体3底部的外部为固定连接，且连接座4关于主体3的中心呈环形分布，映射板7位于内板2内部的左端，内板2内部的右端安装有辅助装置6，辅助装置6包括滑道601、电动推杆602和红外线603，且辅助装置6内部的中部安装有滑道601，滑道601的内部设置有电动推杆602，且电动推杆602顶部的内部连接有红外线603，红外线603底部的外部与电动推杆602为固定连接，且红外线603通过滑道601与电动推杆602构成升降结构，电动推杆602底部的外部与滑道601内部的底部为焊接连接，且滑道601的俯视截面形状为半圆形结构，能够利用红外线603的设置辅助性的对晶圆圆心位置的准确程度进行肉眼的识别，便于使用者在机器加工过程中从外部对晶圆圆心的位置进行实时的观察，为使用者提供便捷，且可根据主体3的安装时的厚度利用电动推杆602的作用对红外线603的位置的高度进行调整，无需使用者手动操作，使用较为灵活。工作原理：对于这类的一种晶圆圆心位置纠心装置，使用时，标尺8的外部表面环形设置有刻度线，略突出于标尺8的外部表面，不会在长时间的使用过程中磨损消失，内板2内部也设置的环形刻度线，当需对主体3进行安装时保持内板2与标尺8外部的刻度线一致时即可利用连接座4与固定螺栓5进行便捷的固定，整个操作，结构简单，且能够利用红外线603的设置辅助性的对晶圆圆心位置的准确程度进行肉眼的识别，红外线603是一种小型激光笔，结构小巧，价格低廉，便于使用者在机器加工过程中从外部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔(1)映射板(7)，其特征在于：所述内置腔(1)的内部设置有内板(2)，且内板(2)的内部安装有主体(3)，所述主体(3)的外部表面设置有标尺(8)，所述标尺(8)底部外部的一端安装有连接座(4)，且连接座(4)的内部设置有固定螺栓(5)，所述映射板(7)位于内板(2)内部的左端，所述内板(2)内部的右端安装有辅助装置(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔(1)映射板(7)，其特征在于：所述内置腔(1)的内部设置有内板(2)，且内板(2)的内部安装有主体(3)，所述主体(3)的外部表面设置有标尺(8)，所述标尺(8)底部外部的一端安装有连接座(4)，且连接座(4)的内部设置有固定螺栓(5)，所述映射板(7)位于内板(2)内部的左端，所述内板(2)内部的右端安装有辅助装置(6)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述连接座(4)外部的一端与主体(3)底部的外部为固定连接，且连接座(4)关于主体(3)的中心呈环形分布。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述主体(3)通过连接座(4)与固定螺栓(5)和内板(2)构成固定结构，且内板(2)的外部与内置腔(1)为一体化结构。


4.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述内置腔(1)的形状为矩形结构，且内置腔(1)的内部与辅助装置(...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡建军，
申请(专利权)人：苏州英尔捷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32