一种晶圆圆心位置纠心装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔映射板，所述内置腔的内部设置有内板，且内板的内部安装有主体，所述主体的外部表面设置有标尺，所述标尺底部外部的一端安装有连接座，且连接座的内部设置有固定螺栓，所述映射板位于内板内部的左端。该一种晶圆圆心位置纠心装置通过辅助装置、滑道、电动推杆和红外线的设置，能够利用红外线的设置辅助性的对晶圆圆心位置的准确程度进行肉眼的识别，便于使用者在机器加工过程中从外部对晶圆圆心的位置进行实时的观察，为使用者提供便捷，且可根据主体的安装时的厚度利用电动推杆的作用对红外线的位置的高度进行调整，无需使用者手动操作，使用较为灵活。

A device for rectifying the center position of wafer

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆圆心位置纠心装置
本技术涉及纠心装置
，具体为一种晶圆圆心位置纠心装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，在对晶圆的切割过程中会出现一定程度的偏差，从而对晶圆圆心的纠正引起了人们的关注。市场上的纠心装置在使用过程中不能够快速的对揪心位置进行快速对齐，给使用者的使用带来不便，并且不具有外部辅助性判断圆心是否对准装组件，不能够达到较佳的纠心，为此，我们在现有的纠心装置的基础上进行改进和创新。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆圆心位置纠心装置，以解决上述
技术介绍
中提出的纠心装置在使用过程中不能够快速的对揪心位置进行快速对齐，给使用者的使用带来不便，并且不具有外部辅助性判断圆心是否对准装组件，不能够达到较佳的纠心的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔和映射板，所述内置腔的内部设置有内板，且内板的内部安装有主体，所述主体的外部表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔(1)映射板(7)，其特征在于：所述内置腔(1)的内部设置有内板(2)，且内板(2)的内部安装有主体(3)，所述主体(3)的外部表面设置有标尺(8)，所述标尺(8)底部外部的一端安装有连接座(4)，且连接座(4)的内部设置有固定螺栓(5)，所述映射板(7)位于内板(2)内部的左端，所述内板(2)内部的右端安装有辅助装置(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔(1)映射板(7)，其特征在于：所述内置腔(1)的内部设置有内板(2)，且内板(2)的内部安装有主体(3)，所述主体(3)的外部表面设置有标尺(8)，所述标尺(8)底部外部的一端安装有连接座(4)，且连接座(4)的内部设置有固定螺栓(5)，所述映射板(7)位于内板(2)内部的左端，所述内板(2)内部的右端安装有辅助装置(6)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述连接座(4)外部的一端与主体(3)底部的外部为固定连接，且连接座(4)关于主体(3)的中心呈环形分布。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述主体(3)通过连接座(4)与固定螺栓(5)和内板(2)构成固定结构，且内板(2)的外部与内置腔(1)为一体化结构。


4.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述内置腔(1)的形状为矩形结构，且内置腔(1)的内部与辅助装置(...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡建军，
申请(专利权)人：苏州英尔捷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32