【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体加工，尤其涉及一种半导体加工用清洁装置。
技术介绍
1、半导体是指一般情况下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体现在在集成电路、电子元件、发电、照明等多个领域都有着广泛应用，而半导体在加工的过程中，需要对其进行清理再进行后续的加工步骤，但是现有的半导体加工用清洁装置在使用中仍存在一些缺陷，在进行清洁时清洁液不能快速将半导体上的杂物去除，且不能方便的导入或取出半导体，也不能快速的使半导体脱离清洁液内部，所以现在需要一种新型的半导体加工用清洁装置来解决以上的不足。
2、例如申请号为202222050583.1的专利，本技术公开了一种半导体加工用清洁装置，包括支撑架和清洁槽，所述支撑架的顶端固定连接有清洁槽，所述清洁槽的内部设置有清洗罐，所述清洁槽一侧的底端固定连接有导液阀管。该半导体加工用清洁装置通过设置有驱动电机、升降板、清洗罐、弧形网格板和连接杆，在进行清洁时，将半导体放入清洗罐的内部，再启动一侧的驱动电机带动连接杆转动，连接杆转动的同时带动清洗罐转动，清洗罐转动的同时带动内部的半导体运动并不断的进入清洁槽内部的清洁液内，清洁液从弧形网格板进入清洗罐的内部对内部的半导体进行冲刷，从而快速的清洗清洁，实现了可以快速的对半导体清洁，解决的是清洁效率低的问题。
3、然而现有技术存在一些问题：对半导体清洗后，清洗的水进行排出，及其浪费水资源，因此我们提出一种半导体加工用清洁装置。
技术实现思路
1、针对上述技术存在的问题，本技术提供了一种半导体
2、本技术是这样实现的，一种半导体加工用清洁装置，包括箱体，所述箱体下端连接有水箱，所述箱体下端连接有阀门，所述阀门伸入水箱内部，所述箱体前侧外壁安装有水泵，所述水泵两端均连接有导水管，所述导水管远离水泵的一端分别延伸至箱体和水箱内部，所述箱体内部连接滤筒，所述滤筒外壁设有多个筒门，所述箱体左右两侧分别连接有第一电机和驱动机构，所述驱动机构贯穿箱体外壁延伸至滤筒内部，所述第一电机输出端贯穿箱体外壁与滤筒连接。
3、作为本技术优选的，所述箱体下端内壁设有便于导水用的弧形槽。
4、作为本技术优选的，所述水箱左侧连接有排水管，所述水箱内壁连接有滤网。
5、作为本技术优选的，所述驱动机构包括连接在箱体外壁的第二电机，所述第二电机输出端连接有转轴，所述转轴贯穿箱体外壁延伸至滤筒内部，所述转轴位于滤筒内部的外壁连接有多个联轴器，所述联轴器外壁连接有多个搅拌轴。
6、作为本技术优选的，所述搅拌轴外壁套设有防护套筒，所述防护套筒具体为一种橡胶材质制成。
7、作为本技术优选的，所述箱体上端面设有安装槽，所述安装槽的右侧设有多个相连通的限位孔。
8、作为本技术优选的，所述安装槽的右侧内壁连接有限位板，所述限位板与箱体内壁一体成型，且位于限位孔的下端。
9、作为本技术优选的，所述安装槽内部连接有相契合的箱门，所述箱门的右侧连接有与限位板相配合的固定板。
10、作为本技术优选的，所述固定板右侧外壁设有向内凹进的台阶孔，所述台阶孔内壁连接有伸缩块，所述伸缩块位于台阶孔内部的一端连接有弹簧，所述伸缩块延伸至台阶孔外部的一端与限位孔契合。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
12、1、本技术通过设置的弧形槽，打开阀门，便于将水导入至水箱内部，利用滤网对残渣进行过滤，便于对水资源进行沉淀至水箱内部，方便下次使用时，利用水泵将水导入至箱体内部，实现水资源循环利用，达到节能环保的目的；
13、2、本技术通过启动第二电机，带动转轴，转轴带动联轴器，联轴器带动搅拌轴，便于带动半导体在滤筒内部转动，配合第一电机带动滤筒本身转动，有效提高对半导体的清洗效率和效果，且利用搅拌轴上套设的防护套筒，启动对半导体的保护作用，避免带动半导体转动的同时，造成损坏；
14、3、本技术通过打开箱门和筒门，便于将半导体放入至滤筒内部，关闭筒门和箱门，箱门上的固定板与限位板接触，使得伸缩块受力的影响下带动弹簧向台阶孔内部收缩，当台阶孔与限位孔对应时，弹簧回弹，带动伸缩块伸入至限位孔内部，进行限位固定，便于箱门打开或者关闭，方便取放半导体。
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1.一种半导体加工用清洁装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)下端连接有水箱(3)，所述箱体(1)下端连接有阀门(14)，所述阀门(14)伸入水箱(3)内部，所述箱体(1)前侧外壁安装有水泵(4)，所述水泵(4)两端均连接有导水管(41)，所述导水管(41)远离水泵(4)的一端分别延伸至箱体(1)和水箱(3)内部，所述箱体(1)内部连接滤筒(5)，所述滤筒(5)外壁设有多个筒门(51)，所述箱体(1)左右两侧分别连接有第一电机(12)和驱动机构(2)，所述驱动机构(2)贯穿箱体(1)外壁延伸至滤筒(5)内部，所述第一电机(12)输出端贯穿箱体(1)外壁与滤筒(5)连接。
2.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述箱体(1)下端内壁设有便于导水用的弧形槽(13)。
3.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述水箱(3)左侧连接有排水管(32)，所述水箱(3)内壁连接有滤网(31)。
4.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述驱动机构(2)包括连接在箱体(1)外壁的第二电机(
5.如权利要求4所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述搅拌轴(24)外壁套设有防护套筒(25)，所述防护套筒(25)具体为一种橡胶材质制成。
6.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述箱体(1)上端面设有安装槽(16)，所述安装槽(16)的右侧设有多个相连通的限位孔(15)。
7.如权利要求6所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述安装槽(16)的右侧内壁连接有限位板(17)，所述限位板(17)与箱体(1)内壁一体成型，且位于限位孔(15)的下端。
8.如权利要求7所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述安装槽(16)内部连接有相契合的箱门(11)，所述箱门(11)的右侧连接有与限位板(17)相配合的固定板(114)。
9.如权利要求8所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述固定板(114)右侧外壁设有向内凹进的台阶孔(111)，所述台阶孔(111)内壁连接有伸缩块(113)，所述伸缩块(113)位于台阶孔(111)内部的一端连接有弹簧(112)，所述伸缩块(113)延伸至台阶孔(111)外部的一端与限位孔(15)契合。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用清洁装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)下端连接有水箱(3)，所述箱体(1)下端连接有阀门(14)，所述阀门(14)伸入水箱(3)内部，所述箱体(1)前侧外壁安装有水泵(4)，所述水泵(4)两端均连接有导水管(41)，所述导水管(41)远离水泵(4)的一端分别延伸至箱体(1)和水箱(3)内部，所述箱体(1)内部连接滤筒(5)，所述滤筒(5)外壁设有多个筒门(51)，所述箱体(1)左右两侧分别连接有第一电机(12)和驱动机构(2)，所述驱动机构(2)贯穿箱体(1)外壁延伸至滤筒(5)内部，所述第一电机(12)输出端贯穿箱体(1)外壁与滤筒(5)连接。
2.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述箱体(1)下端内壁设有便于导水用的弧形槽(13)。
3.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述水箱(3)左侧连接有排水管(32)，所述水箱(3)内壁连接有滤网(31)。
4.如权利要求1所述的一种半导体加工用清洁装置，其特征在于：所述驱动机构(2)包括连接在箱体(1)外壁的第二电机(21)，所述第二电机(21)输出端连接有转轴(22)，所述转轴(22)贯穿箱体(1)外壁延伸至滤筒(5)内部，所述转轴(22)位于滤筒(5)内...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡建军，
申请(专利权)人：苏州英尔捷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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