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一种晶圆圆心位置纠心装置制造方法及图纸
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下载一种晶圆圆心位置纠心装置的技术资料
文档序号:24303615
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本实用新型公开了一种晶圆圆心位置纠心装置,包括内置腔映射板,所述内置腔的内部设置有内板,且内板的内部安装有主体,所述主体的外部表面设置有标尺,所述标尺底部外部的一端安装有连接座,且连接座的内部设置有固定螺栓,所述映射板位于内板内部的左端。该...
该专利属于苏州英尔捷半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州英尔捷半导体有限公司授权不得商用。
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