硅片治具制造技术

技术编号:24328846 阅读:27 留言:0更新日期:2020-05-29 18:56
本实用新型专利技术公开了一种硅片治具,包括底板、硅片托座和定位立板;定位立板具有分彼此相对设置的定位立板一和定位立板二、彼此相对设置的定位立板三和定位立板四;定位立板一和定位立板二上均设有至少两组第一安装孔;底板上对应定位立板一和定位立板二均设有至少两组第一固定孔;定位立板三和定位立板四上均设有至少两组第二安装孔;底板上对应定位立板三和定位立板四均设有至少两组第二固定孔。本实用新型专利技术的硅片治具,一套治具可以配合多种规格的硅片使用,且对应各种规格的硅片安装好就可以使用,不需要调试,使用后能够减少企业的治具制造成本,降低治具调试成本。

Wafer jig

【技术实现步骤摘要】
硅片治具
本技术涉光伏
,具体涉及一种硅片治具。
技术介绍
硅片的流水线生产中,呈垛叠放的硅片被放置在治具上,为了对叠放的硅片进行位置定位,避免硅片顶升送料过程中偏离,治具上位于硅片的外周需要配置定位板,硅片被放置在硅片托座上后被限定在由定位板围合的内部空间内。定位板的设置位置与硅片的尺寸相关,即,每种尺寸的硅片都需要对应配置硅片治具,一款治具不能对应多种尺寸的硅片适用。
技术实现思路
本技术实施例提供一种硅片治具,一套治具可以配合多种规格的硅片使用,且对应各种规格的硅片安装好就可以使用,不需要调试,使用后能够减少企业的治具制造成本,降低治具调试成本。为了解决上述技术问题,本技术提供了一种硅片治具,包括底板、设置在底板上的硅片托座,以及设置在硅片托座外侧的定位立板;所述硅片托座用于堆放依次叠设的多个硅片,所述定位立板位于硅片的外侧限位叠放的多个硅片;所述定位立板具有分彼此相对设置的定位立板一和定位立板二,以及彼此相对设置的定位立板三和定位立板四;所述定位立板一和定位立板二上均设有至少两组第一安装孔,所述两组第一安装孔沿定位立板一和定位立板二两者的连线方向,或者两者连线的延伸线方向依次设置;所述底板上对应定位立板一和定位立板二均设有至少两组第一固定孔;所述定位立板一和定位立板二通过第一安装孔、第一固定孔和紧固件能够拆卸的安装在所述底板上;所述定位立板三和定位立板四上均设有至少两组第二安装孔,所述两组第二安装孔沿定位立板三和定位立板四两者的连线方向,或者两者连线的延伸线方向依次设置;所述底板上对应定位立板三和定位立板四均设有至少两组第二固定孔;所述定位立板三和定位立板四通过第二安装孔、第二固定孔和紧固件能够拆卸的安装在所述底板上。本技术一个较佳实施例中,进一步包括每组第一安装孔均具有两个,每个第二安装孔均具有两个。本技术一个较佳实施例中,进一步包括其还包括设备安装板,该硅片治具通过所述设备安装板装配至硅片设备上,所述底板设置在设备安装板上,并通过设备安装板上的转动限位部件定位固定。本技术一个较佳实施例中,进一步包括所述转动限位部件包括立轴和套设在立轴上的压块,所述压块能够绕立轴转动,所述压块转动后位于底板的上方压接所述底板,或者转动后释放所述底板。本技术一个较佳实施例中,进一步包括所述硅片托座的中心设有通孔,所述底板和设备安装板上均设有与该通孔同轴贯通的过孔。本技术一个较佳实施例中,进一步包括所述设备安装板上设有两组底板,所述两组底板上均设有硅片托座,所述两组底板上围绕硅片托座均设有定位立板。本技术的有益效果:本技术实施例中的硅片治具,底板上对应四组分体设置的定位立板分别设有至少两组安装孔,同时分体设置的四组定位立板上均设有至少两组固定孔,紧固件和安装孔、固定孔的配合将分体立板固定在底板上,启用不同的安装孔和固定孔时,四组定位立板在底板上围合的区域尺寸不同,使得一套治具可以配合多种规格的硅片使用,使用后能够减少企业的治具制造成本。另一方面,为了解决硅片治具的兼容使用问题,业界有尝试在底板和定位立板上开腰型槽孔,也能解决多种规格硅片共用一套治具的问题,但是,腰形槽孔的设计,分体的四套定位立板对应腰形槽孔的安装位置不能一次安装到位,需要调试。本实施例中的硅片治具,直接在治具上设计多套安装孔和固定孔,一套安装孔对应一套固定孔,且一套安装孔和一套固定孔对应一种规格的硅片,使得其治具对应各种规格的硅片安装好就可以使用,不需要调试,降低治具调试成本。附图说明图1是本技术实施例中硅片治具的结构示意图;图2是图1所示硅片治具隐去设备安装板后的结构示意图;图3是图1所示硅片治具中定位立板的结构示意图。图中标号说明:1-硅片,2-底板,4-硅片托座,6-定位立板一,8-定位立板二,10-定位立板三,12-定位立板四,14-第一安装孔,16-第一固定孔,18-第二安装孔,20-第二固定孔,22-设备安装板,24-立轴,26-压块,28-通孔。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施,但所举实施例不作为对本技术的限定。实施例本实施例公开一种硅片治具,参照图1-3所示,该硅片治具包括设备安装板22、底板2、设置在底板2上的硅片托座4,以及设置在硅片托座4外侧的定位立板。该硅片治具通过设备安装板22装配至硅片设备上,上述底板2设置在设备安装板22上,并通过设备安装板22上的转动限位部件定位固定。硅片生产流水线上,硅片呈垛叠放在硅片托座4上,上述定位立板位于硅片的外侧限位叠放的多个硅片1(图中仅显示一片硅片)。本实施例技术方案中,上述定位立板具有分彼此相对设置的定位立板一6和定位立板二8,以及彼此相对设置的定位立板三10和定位立板四12;上述定位立板一6和定位立板二8上均设有至少两组第一安装孔14,上述两组第一安装孔14沿定位立板一6和定位立板二8两者的连线方向,或者两者连线的延伸线方向依次设置;上述底板上对应定位立板一6和定位立板二8均设有至少两组第一固定孔16;上述定位立板一6和定位立板二8通过第一安装孔14、第一固定孔16和紧固件能够拆卸的安装在上述底板2上;上述定位立板三8和定位立板四10上均设有至少两组第二安装孔18,上述两组第二安装孔18沿定位立板三8和定位立板四10两者的连线,或者两者连线延伸线方向依次设置;上述底板2上对应定位立板三8和定位立板四10均设有至少两组第二固定孔20;上述定位立板三8和定位立板四10通过第二安装孔18、第二固定孔20和紧固件能够拆卸的安装在上述底板2上。以上紧固件优选使用螺母和螺杆配合,或者螺钉。在本实施例的其中一个实现方案中,定位立板一6和定位立板二8上均设有两组第一安装孔14,每组第一安装孔14均具有两个孔位;底板上对应定位立板一6和定位立板二8均设有两组第一固定孔16,每组第一固定孔均具有两个孔位;定位立板三8和定位立板四10上均设有两组第二安装孔18,每组第二安装孔18均具有两个孔位;底板2上对应定位立板三8和定位立板四10均设有两组第二固定孔20,每组第二固定孔20均具有两个孔位。以此,四组定位立板在底板上能够围合出四种不同尺寸的硅片放置区域,使得一套治具可以配合四种规格的硅片使用。在本实施例的另一个实施方案中,定位立板一6和定位立板二8上均设有三组第一安装孔14,每组第一安装孔14均具有两个孔位;底板上对应定位立板一6和定位立板二8均设有三组第一固定孔16,每组第一固定孔均具有两个孔位;定位立板三8和定位立板四10上均设有三组第二安装孔18,每组第二安装孔18均具有两个孔位;底板2上对应定位立板三8和定位立板四10均设有三组第二固定孔20,每组第二固定孔20均具有两个孔位。以此,四组定位立板在底板上能够围合出四种不同尺寸的硅片放置区域,使得一套治具可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片治具,其特征在于:包括底板、设置在底板上的硅片托座,以及设置在硅片托座外侧的定位立板;所述硅片托座用于堆放依次叠设的多个硅片,所述定位立板位于硅片的外侧限位叠放的多个硅片;所述定位立板具有分彼此相对设置的定位立板一和定位立板二,以及彼此相对设置的定位立板三和定位立板四;/n所述定位立板一和定位立板二上均设有至少两组第一安装孔,所述两组第一安装孔沿定位立板一和定位立板二两者的连线方向,或者两者连线的延伸线方向依次设置;所述底板上对应定位立板一和定位立板二均设有至少两组第一固定孔;所述定位立板一和定位立板二通过第一安装孔、第一固定孔和紧固件能够拆卸的安装在所述底板上;/n所述定位立板三和定位立板四上均设有至少两组第二安装孔,所述两组第二安装孔沿定位立板三和定位立板四两者的连线方向,或者两者连线的延伸线方向依次设置;所述底板上对应定位立板三和定位立板四均设有至少两组第二固定孔;所述定位立板三和定位立板四通过第二安装孔、第二固定孔和紧固件能够拆卸的安装在所述底板上。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片治具,其特征在于:包括底板、设置在底板上的硅片托座,以及设置在硅片托座外侧的定位立板;所述硅片托座用于堆放依次叠设的多个硅片,所述定位立板位于硅片的外侧限位叠放的多个硅片;所述定位立板具有分彼此相对设置的定位立板一和定位立板二,以及彼此相对设置的定位立板三和定位立板四;
所述定位立板一和定位立板二上均设有至少两组第一安装孔,所述两组第一安装孔沿定位立板一和定位立板二两者的连线方向,或者两者连线的延伸线方向依次设置;所述底板上对应定位立板一和定位立板二均设有至少两组第一固定孔;所述定位立板一和定位立板二通过第一安装孔、第一固定孔和紧固件能够拆卸的安装在所述底板上;
所述定位立板三和定位立板四上均设有至少两组第二安装孔,所述两组第二安装孔沿定位立板三和定位立板四两者的连线方向,或者两者连线的延伸线方向依次设置;所述底板上对应定位立板三和定位立板四均设有至少两组第二固定孔;所述定位立板三和定位立板四通过第二安装孔、第二固定孔和紧固件能够拆卸...

【专利技术属性】
技术研发人员:张学强戴军张建伟罗银兵刘庆威
申请(专利权)人:罗博特科智能科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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