一种自动倾斜晶圆载片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种自动倾斜晶圆载片装置，将晶圆置入装置中，将所述自动倾斜晶圆载片装置垂直置入清洗机中，进行清洗作业。作业时所述自动伸缩杆远离连接主轴的一侧超过所述载片装置的最底端，同时自动伸缩杆的长度长于其他垂直杆体。从而实现了自动倾斜以及复原的功能。进而提升晶圆清洗的均匀性、高效性，同时达到自动倾斜、高效、环保、节能的目的。

An automatic tilting wafer carrier

【技术实现步骤摘要】
一种自动倾斜晶圆载片装置
本技术涉及晶圆清洗领域，尤其涉及一种自动倾斜晶圆载片装置。
技术介绍
与本技术最接近的现有技术是晶圆清洗机的载片装置，现有晶圆清洗机中的载片装置不能自动倾斜，同时现有技术对晶圆清洗的效率较低。
技术实现思路
为此，需要提供一种自动倾斜晶圆载片装置提升晶圆清洗的均匀性、高效性，同时达到自动倾斜、高效、环保、节能的目的。为实现上述目的，专利技术人提供了一种自动倾斜晶圆载片装置，所述载片装置包含自动伸缩杆、多个晶圆分层格和两侧的载片主轴；所述多个晶圆分层格平行设置且每个晶圆分层格都分别与两侧的载片主轴转动连接，所述晶圆分层格用于放置待清洗晶圆；所述自动伸缩杆与每个晶圆分层格活动连接，所述载片装置被吊起时所述自动伸缩杆远离载片主轴的一侧超过所述载片装置的底端，载片装置在放置时自动伸缩杆被顶起带动多个晶圆分层格绕载片主轴与晶圆分层格转动连接处上下偏转。进一步地，所述晶圆分层格由水平杆、用于容置晶圆的空腔和阻挡物构成；所述空腔位于水平杆上方，所述水平杆分别与两侧的载片主轴转动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动倾斜晶圆载片装置，其特征在于，所述载片装置包含自动伸缩杆、多个晶圆分层格和两侧的载片主轴；/n所述多个晶圆分层格平行设置且每个晶圆分层格都分别与两侧的载片主轴转动连接，所述晶圆分层格用于放置待清洗晶圆；/n所述自动伸缩杆与每个晶圆分层格活动连接，所述载片装置被吊起时所述自动伸缩杆远离载片主轴的一侧超过所述载片装置的底端，载片装置在放置时自动伸缩杆被顶起带动多个晶圆分层格绕载片主轴与晶圆分层格转动连接处上下偏转。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动倾斜晶圆载片装置，其特征在于，所述载片装置包含自动伸缩杆、多个晶圆分层格和两侧的载片主轴；
所述多个晶圆分层格平行设置且每个晶圆分层格都分别与两侧的载片主轴转动连接，所述晶圆分层格用于放置待清洗晶圆；
所述自动伸缩杆与每个晶圆分层格活动连接，所述载片装置被吊起时所述自动伸缩杆远离载片主轴的一侧超过所述载片装置的底端，载片装置在放置时自动伸缩杆被顶起带动多个晶圆分层格绕载片主轴与晶圆分层格转动连接处上下偏转。


2.根据权利要求1所述的一种自动倾斜晶圆载片装置，其特征在于，所述晶圆分层格由水平杆、用于容置晶圆的空腔和阻挡物构成；
所述空腔位于水平杆上方，所述水平杆分别与两侧的载片主轴转动连接；
所述自动伸缩杆与水平杆相互铰接；
所述阻挡物位于所述水平杆上，用于阻挡晶圆倾斜滑落。


3.根据权利要求2所述的一种自动倾斜晶圆载片装置，其特征在于，所述晶圆分层格包括载片盘后部、载片盘前部活动门；
所述载片盘后部与载片盘前部活动门绕竖直方向转动铰接；
位于所述载片盘前部活动门上的水平杆与远离载片主轴一侧载片盘前部活动门门框铰接；
所述载片盘后部与载片盘前部活动门的连接部位于所述载片主轴远离载...

【专利技术属性】
技术研发人员：林锦伟，林伟铭，钟艾东，甘凯杰，翁佩雪，邓丹丹，赵玉会，吴恋伟，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35