快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构，其包括：主电浆反应腔体，其具有第一反应腔室，其顶部具有通孔部；以及置换件，密封结合于通孔部，又置换件为盖板或结合式电浆反应腔体，其具有第二反应腔室；当使用盖板为置换件，则以第一反应腔室进行电浆蚀刻反应；当使用合式电浆反应腔体为置换件，则以第一反应腔室及第二反应腔室共同进行电浆蚀刻反应。借由本实用新型专利技术的实施，可以对不同的制程，快速切换腔体，因此可以提升产线灵活度及有效降低成本。

Modular plasma reaction chamber structure for rapid production line replacement

【技术实现步骤摘要】
快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构
本技术涉及一种快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构，特别是用于半导体、光电产业、电子功率组件其蚀刻制程的快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构。
技术介绍
在半导体集成电路制造方面，举凡不同材料薄膜的成长、化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition,CVD)、物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)、蚀刻、离子布植、光阻剥除、或制程反应室的干式清洗…等，皆普遍可由电浆技术达成。尤其是在蚀刻制程中，电浆密度的分布与控制，更是影响蚀刻速率及蚀刻均匀性的关键。以往的蚀刻机，不同的制程要求往往需要使用不同设计的蚀刻反应腔室，例如需要大于5微米/分钟(＞5um/min)的高蚀刻率的制程，假若将蚀刻反应腔室的直径缩小，将可产生高浓度电浆，因此可以很容易达到高蚀刻率。但是也因为蚀刻率很快，对于一些例如厚度在的薄膜制程，可容许变异范围的制程窗口(processwindow)很小，因此无法量产。此时，为了能够量产，就需要不同的反应腔体设计，使薄膜制程可以在较低电浆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于：包括：/n主电浆反应腔体，其具有第一反应腔室，又该主电浆反应腔体于该第一反应腔室顶部，具有通孔部；以及/n置换件，密封结合于该通孔部，又该置换件为盖板或结合式电浆反应腔体，该结合式电浆反应腔体具有第二反应腔室且于该第二反应腔室的底部形成有连通口部；/n当使用该盖板为置换件，则该模块化电浆反应腔室结构，是以该第一反应腔室进行电浆蚀刻反应；/n当使用该结合式电浆反应腔体为置换件，则该连通口部与该通孔部相连通，且该模块化电浆反应腔室结构是以该第一反应腔室及该第二反应腔室共同进行电浆蚀刻反应。/n

【技术特征摘要】
1.一种快速更换产线的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于：包括：
主电浆反应腔体，其具有第一反应腔室，又该主电浆反应腔体于该第一反应腔室顶部，具有通孔部；以及
置换件，密封结合于该通孔部，又该置换件为盖板或结合式电浆反应腔体，该结合式电浆反应腔体具有第二反应腔室且于该第二反应腔室的底部形成有连通口部；
当使用该盖板为置换件，则该模块化电浆反应腔室结构，是以该第一反应腔室进行电浆蚀刻反应；
当使用该结合式电浆反应腔体为置换件，则该连通口部与该通孔部相连通，且该模块化电浆反应腔室结构是以该第一反应腔室及该第二反应腔室共同进行电浆蚀刻反应。


2.如权利要求1所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该通孔部与该连通口部均为圆形结构。


3.如权利要求1所述的模块化电浆反应腔室结构，其特征在于该结合式电浆反应腔体为圆柱体结构。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：林志隆，蔡兆哲，陈俊龙，
申请(专利权)人：聚昌科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71