本发明公开一种用于支撑工件的容器，所述工件包含围绕所述工件的上边缘及下边缘的倒角。所述容器包含门及能够与所述门耦合以在所述容器内界定隔离环境的壳体。所述容器包含安装到所述门的工件支撑件。所述工件支撑件包含支撑柱。所述支撑柱经配置以在工件...

本文描述用于沉积金属薄膜或层到衬底上的气相沉积方法，其中所述金属是钼或钨；所述方法涉及含有所述金属及一或多种含碳配体的有机金属前驱物化合物，并包含沉积由所述前驱物的所述金属形成的金属层到衬底上，随后将氧化剂引入到所述形成的金属层。

本实用新型涉及过滤器单元、过滤器歧管系统及歧管块。描述了用于过滤器歧管系统的过滤器滤芯和歧管块。所述过滤器滤芯包含在所述过滤器滤芯的第一和第二端部处的环绕开口的凸缘，其中所述凸缘中具有面密封件。歧管块包含端部块，其中至少一个端部块是可移...

本实用新型涉及一种光罩盒门和光罩容器。所述光罩盒门包含具有透镜、侧壁及凸缘的视窗。所述视窗可在壳体与盖板之间定位或附贴在门内部。压缩密封件可与所述视窗结合使用。所述侧壁、所述凸缘及所述压缩密封件协作以在维持所期望的保护水平而不受外部污染...

焊接止回阀包括提升阀组合件、弹簧和接触所述弹簧的盘。当形成所述焊接止回阀时，所述盘可以保持在远离焊接的位置。实施例可以包括保持特征，所述保持特征被配置成允许所述提升阀组合件和所述盘中的一或多个在组装方向上通过所述保持特征，并且在这些元件...

本申请涉及一种光学传感器窗口清洁器。传感器组件包括用于工艺流体的通路、光学窗口、光学传感器和喷嘴。所述光学传感器被配置成检测所述工艺流体的光学性质。所述光学窗口包括内表面。所述喷嘴被配置成沿与所述光学窗口的所述内表面相交的排出方向排出雾...

环境控制材料固持器可以将环境控制材料保持在晶片载体内，从而在固定所述环境控制材料的同时允许所述环境控制材料保护晶片不受潮。所述环境控制材料固持器可以包含底板和突片以限定用于固持环境控制材料的空间，并且可以被配置为与晶片盒的手柄接合。所述...

本申请涉及一种具有改进的流体流动的过滤器，所述过滤器具有：壳体，所述壳体具有第一端面和第二端面以及内表面和外表面；被设置在管状壳体内的膜；被密封到所述管状壳体的第一端面以及所述膜的所述第一端面的第一端盖；密封到所述管状壳体的第二端面和所...

本发明提供一种用于从微电子装置上清洁化学机械研磨CMP后污染物和铈粒子的去除组合物和方法，所述微电子装置上具有所述铈粒子和污染物。所述组合物达成所述微电子装置表面上的所述铈粒子和CMP副产物污染物材料的高效去除。

本实用新型涉及一种汽化容器。一种用于所述汽化容器的托盘，其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法，其包括形成具有所述侧...

本实用新型涉及静电减轻过滤器和流体处理系统。本实用新型报告用于ESD减轻的具有导电聚合物套筒的流体过滤器的实施例。此过滤器的实施例可包括导电套筒和绑带，以减轻静电放电。

本发明涉及例如流体处置系统的各种操作组件的物品，其将复合物并入到其构造中，所述复合物包含含氟聚合物基质且具有分布于所述基质内的全氟化区。并有所述复合物的导管及各种操作组件本质上具静电耗散性且具有范围在1

本实用新型涉及一种组合件及包括连接到组合件的至少一个管段的流体回路。本实用新型提供静电放电ESD缓解装置。在一或多个实施例中，所述静电放电ESD缓解装置是用以连接流体回路中的两个或更多个导电管段的管道连接器，所述管道连接器包含导电连接器...

本发明描述用于从其中试剂气体与固体吸附剂介质保持吸附关系的容器分配所述试剂气体的存储及分配容器及相关系统及方法，所述试剂气体经容纳在超大气压下且所述固体吸附剂介质包括金属有机骨架材料。介质包括金属有机骨架材料。介质包括金属有机骨架材料。

本发明描述一种用于离子植入的离子源设备，其包含：离子源腔；及可消耗结构，其在所述离子源腔中或与所述离子源腔相关联，其中所述可消耗结构包含固体掺杂剂源材料，所述固体掺杂剂源材料易于与反应气体反应以将掺杂剂以气态形式释放到所述离子源腔，其中...

本申请案涉及一种具有视窗的光罩盒。所述光罩盒的门包含具有透镜、侧壁及凸缘的视窗。所述视窗可在壳体与盖板之间定位或附贴在门内部。压缩密封件可与所述视窗结合使用。所述侧壁、所述凸缘及所述压缩密封件协作以在维持所期望的保护水平而不受外部污染物...

本申请案涉及多孔聚合薄膜以及相关过滤器及方法。本发明描述：多孔聚合薄膜，其包含两个相对侧且穿过所述薄膜的厚度具有可变孔隙结构；过滤组件及过滤器，其包含此类型的多孔聚合薄膜；制作所述薄膜、所述过滤组件及所述过滤器的方法；及使用所述聚合过滤...

本发明涉及用于运输衬底的系统中的净化扩散器，其包含：i)净化扩散器核心，其具有内部净化气体通道、一或多个扩散器端口及外表面；ii)过滤介质，其固定到所述净化扩散器核心的所述外表面；iii)净化端口连接器，其用于将所述净化扩散器安装到用于...

本发明提供一种用于流体容器的盖，其包含：主体；致动器环，其可沿所述主体滑动且具有环形凹槽；及多个闩锁，其具有固定及释放状态，且可通过与所述致动器环接触而被置于所述释放状态。一种用于流体容器的封闭件系统包含所述盖及经附接到流体容器、由所述...

本实用新型描述一种过滤器组件和一种过滤器。所述过滤器组件，其特征在于其包含：包含聚酰亚胺聚合物且具有边缘的多孔滤膜；和包含热塑性含氟聚合物的支撑件，其中所述边缘热粘合至所述支撑件以在所述边缘与所述支撑件之间提供不透流体的密封件。