本申请涉及具有减少颗粒形成的膜。本文公开了一种膜，所述膜具有第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、在所述第一表面处的表层和孔径梯度，当在10,000的放大倍数下观察时，所述表层具有可见的孔，其中孔径从所述第二表面到所述表层增大。

本发明提供静电放电ESD缓解装置。在一或多个实施例中，所述静电放电ESD缓解装置是用以连接流体回路中的两个或更多个导电管段的管道连接器，所述管道连接器包含导电连接器主体与两个或更多个附接部分、两个或更多个附接配件，且导电支架经配置以与所...

本申请案涉及一种碳化硅过滤薄膜。本实用新型描述用于配合例如液态锡的液态金属使用的碳化硅滤膜，以及使用此滤膜来从所述液态金属移除颗粒的方法，以及使用经过滤液态金属的系统及工艺。系统及工艺。系统及工艺。

本实用新型描述批量工艺气体净化系统，其包含适于在容器的外表面处使用例如气体流的一定体积的气体以在再装填步骤期间、在再装填步骤之后的冷却步骤期间或两者期间控制容器内部的温度的系统。内部的温度的系统。内部的温度的系统。

本申请案涉及一种过滤器、滤筒及多孔聚合物滤膜。所描述亲水聚合物(包含呈含有亲水聚合物的滤膜形式)具有侧链离子基；及制备具有侧链离子基的所述亲水聚合物与衍生物膜及过滤器的方法；及一种使用所述滤膜来过滤例如液体化学品的流体以从所述流体移除多...

本发明涉及用于去除金属硬掩模和蚀刻后残余物的具有Cu/W相容性的水性制剂。本发明提供可用于从上面具有氮化钛和/或光致抗蚀剂蚀刻残余物材料的微电子器件相对于金属导电材料例如钨和绝缘材料而言选择性去除所述氮化钛和/或光致抗蚀剂蚀刻残余物材料...

一种用于清洗工艺内微电子装置衬底的清洗组合物和方法，例如通过化学机械抛光CMP后清洗，以自其表面去除残余物，其中所述清洗组合物可尤其有效地用于清洗包括例如钴、铜或两者的经暴露金属以及介电或低k介电材料的衬底表面，且其中所述清洗组合物包括...

本发明涉及一种从微电子衬底选择性去除氧化铝或氮化铝材料的方法，所述方法包含使所述材料与水性蚀刻组合物接触，所述水性蚀刻组合物包含：含氟化物源的蚀刻剂；和金属腐蚀抑制剂；其中所述组合物的pH在3到8范围内。还描述水性蚀刻组合物和用途。述水...

本申请案涉及用于静电卡盘的多层的接地机构和相关方法。描述了用以在晶片处理期间紧固和支撑晶片衬底的多层静电卡盘和相关方法，其中所述卡盘包含接地结构，所述接地结构包含接地层和接地引脚。接地层和接地引脚。接地层和接地引脚。

本申请涉及多孔烧结膜和制备多孔烧结膜的方法。描述多孔烧结体和通过包括注射模制步骤的步骤来制造多孔烧结体的方法。骤的步骤来制造多孔烧结体的方法。骤的步骤来制造多孔烧结体的方法。

本实用新型涉及复合纳米多孔金属膜及包含其的过滤器。本实用新型提供一种用于过滤如超临界CO2等流体的复合纳米多孔金属膜。所述复合纳米多孔金属膜一般包含：a)烧结粗糙层；b)中间层，其包括在烧结到粗糙层的烧结结构中接合的第一金属粒子和第二金...

本申请案涉及衬底容器。所述衬底容器包含板、壳体、连接器及密封件，其中所述连接器经由螺母螺合及紧固，且所述密封件接触所述壳体、所述板及所述连接器中的每一者。所述板具有容纳所述连接器的端及所述螺母的凹部。包含止回阀的可现场维修的可移除的吹扫...

本发明描述含有经高精度塑形的表面的研磨表面及垫修整器，包含可用于修整化学机械处理CMP垫的垫修整器，及其相关方法。

本公开涉及经配置以将四氟化锗(GeF

本发明涉及一种流体回路，其包含多个管件节段及多个操作组件。每一管件节段包含：i)非导电聚合物部分，其界定流体通道；及ii)一或多个内部导电氟聚合物条带，其轴向延伸到所述相应管件节段中的每一者的端。每一操作组件包含导电氟聚合物，其在形成所...

本发明涉及一种主要用于低流量、低递送压力应用中的压力调节流体存储及分配容器内的压力调节器装置。调节器静摩擦挑战已经凭借使用不同提升阀元件配置的改进式提升阀组合件以及在隔膜元件的收缩及膨胀期间提供更多柔性的压力感测组合件中的改进式伸缩式结...

本发明描述在表面处包含陶瓷材料的模具，以及形成所述模具的方法及使用所述模具的方法；所述陶瓷材料大致上、大部分或全部由三种命名为M、A及X的元素组分构成；所述“M”组分为至少一种过渡金属；所述“A”组分为Si、Al、Ge、Pb、Sn、Ga...

本公开涉及一种利用硼成核层和钼成核层制造钼膜的方法。与不使用硼成核层或钼成核层的常规化学气相沉积工艺相比，所得钼膜具有低电阻率、基本上不含硼、并且可以在降低的温度下制造。通过此工艺形成的所述钼成核层可以保护衬底免受MoCl

本申请涉及具有可移动连接机构的歧管。描述了用于过滤器歧管系统的过滤器滤芯和歧管块。所述过滤器滤芯包含在所述过滤器滤芯的第一和第二端部处的环绕开口的凸缘，其中所述凸缘中具有面密封件。歧管块包含端部块，其中至少一个端部块是可移动的，使得所述...

本公开报告用于ESD减轻的具有导电聚合物套筒的流体过滤器的实施例。此过滤器的实施例可包括导电套筒和绑带，以减轻静电放电。