具有改进的流体流动的过滤器制造技术

本申请涉及一种具有改进的流体流动的过滤器，所述过滤器具有：壳体，所述壳体具有第一端面和第二端面以及内表面和外表面；被设置在管状壳体内的膜；被密封到所述管状壳体的第一端面以及所述膜的所述第一端面的第一端盖；密封到所述管状壳体的第二端面和所述膜的所述第二端面的第二端盖；以及以螺旋图案形成在所述壳体的所述内表面中的流体通道。所述螺旋图案在所述壳体的轴向方向上具有小于或等于约60mm的螺距。

【技术实现步骤摘要】
具有改进的流体流动的过滤器相关申请的交叉引用本申请依据35USC119要求2019年11月6日提交的第62/931,290号美国临时专利申请的权益，其公开内容全文通过引用合并到本文。
本专利技术总体上涉及一种流体处理过滤器组件。
技术介绍
用于制造(例如在半导体制造中)的流体通常在分配流体之前流过多个过滤器以从流体中去除污染物。在将流体分配到系统中之前在最后过滤点使用的过滤器通常称为使用点(POU)或分配点(POD)过滤器。过滤器通常具有整体式滤筒，所述整体式滤筒包括被笼罩包围的多孔膜。滤筒设置在壳体中。在过滤器的制造设备中通常存在严格的空间限制。需要一种具有紧凑设计的过滤器，其还提供用于过滤流体的足够流速。允许减小过滤器的尺寸，同时增加膜的量实现具有更高流速的更小的过滤器。可以在更小的过滤器中包括更多的膜以实现更高的流速。
技术实现思路
在此公开了一种过滤器，所述过滤器包含，基本上由以下各项组成，或由以下各项组成：管状壳体，所述管状壳体具有第一端面和第二端面以及内表面和外表面；膜，所述膜被布置在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种过滤器，包含：/n具有内表面和外表面的壳体，/n布置在所述壳体内的膜，以及/n在所述壳体的所述内表面上以螺旋图案形成的流体通道，所述流体通道在所述壳体的轴向上的螺旋节距小于或等于约50mm，所述流体通道形成在所述壳体的所述内表面的凸起部分之间。/n

【技术特征摘要】
20191106 US 62/931,290;20201021 US 17/076,2041.一种过滤器，包含：
具有内表面和外表面的壳体，
布置在所述壳体内的膜，以及
在所述壳体的所述内表面上以螺旋图案形成的流体通道，所述流体通道在所述壳体的轴向上的螺旋节距小于或等于约50mm，所述流体通道形成在所述壳体的所述内表面的凸起部分之间。


2.根据权利要求1所述的过滤器，其中所述螺旋图案具有小于或等于约45度的螺旋角。


3.根据权利要求1所述的过滤器，还包含设置在所述壳体内的芯，其中所述膜位于所述芯和所述壳体之间。


4.根据权利要求1所述的过滤器，还包含第一端盖，其中所述第一端盖包含用作流体入口的第一开口和用作流体出口的第二开口。


5.根据权利要求4所述的过滤器，其中所述第一端盖还包含用作通气口的第三开口。


6.根据权利要求4所述的过滤器，其中所述流体入口用于将所述流体引导到所述流体通道中。


7.根据权利要求4所述的过滤器，其中所述过滤器包括被配置成从所述入口接收所述流体的管和被配置成向所述流体通道提供流体的端口，并且所述管和所述端口被配置成使得所述流体在所述流体通道的底部被引入所述流体通道。


8.根据权利要求7所述的过滤器，其中所述壳体的所述外表面具有大致圆柱形形状，并且所述管设置在从所述壳体的大致圆柱形的所述外表面向外延伸的突出部中。


9.根据权利要求6所述的过滤器，其中所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·L·格雷格森，C·P·巴克，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US