本实用新型涉及自动化生产技术领域，尤其涉及一种柔性基片拉平装置。该柔性基片拉平装置包括工作台以及设置于所述工作台上的第一真空吸附机构和第二真空吸附机构，所述第一真空吸附机构用于将边框吸附固定在所述工作台上，所述第二真空吸附机构用于将所述...

本实用新型提供了一种测试工装，包括：安装架；测试组件，测试组件包括多个测试柱，测试柱上设置有测试曲面，多个测试柱的测试曲面的曲率均不同，一个或多个测试柱安装在安装架上，测试曲面用于贴靠安装待测电池。在对太阳能电池，尤其是对柔性砷化镓太阳...

本实用新型提供了一种风干装置。风干装置用于对待风干载具进行风干，风干装置包括：翻转平台，用于承载待风干载具；驱动机构，与翻转平台连接，用于驱动翻转平台翻转，以使待风干载具翻转；至少一个送风管路，设置在翻转平台上，至少一个送风管路上设有多...

本实用新型提供了一种气体循环冷却系统。气体循环冷却系统包括：储气装置，用于存放气体；冷却腔室，具有用于容纳待冷却件的容纳腔，冷却腔室与储气装置相连通；气体冷却装置，与冷却腔室和储气装置均连通，储气装置内的气体进入冷却腔室内，以对位于容纳...

本实用新型涉及门阀技术领域，尤其涉及一种门阀装置及真空镀膜设备。该门阀装置包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部，所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所...

本实用新型涉及相位调整技术领域，提供一种相位调整装置，包括箱体、传动轮组件、调整组件、过渡轮组件和张紧轮组件，所述传动轮组件安装在所述箱体的第一侧，所述调整组件安装在所述箱体的第二侧，所述过渡轮组件和所述张紧轮组件均安装在所述箱体内，所...

本实用新型涉及机械传输技术领域，尤其涉及一种旋转装置。该旋转装置包括自动驱动机构、手动驱动机构、双轴磁流体、离合机构以及旋转机构，双轴磁流体包括中心轴和外侧轴，中心轴的两端分别与自动驱动机构、旋转机构对应连接，外侧轴的两端分别与手动驱动...

本实用新型提供了一种螺栓副及电机。其中，螺栓副包括：螺母，螺母具有内螺纹，螺母还具有至少一个防松孔，防松孔贯穿螺母的侧壁；螺栓，螺栓具有相连接的头部和螺柱，且螺柱具有与内螺纹配合的螺纹段，螺纹段上设置有至少一个防松槽；防松件，防松件的第...

本实用新型涉及安装连接机构技术领域，尤其涉及一种地脚结构及设有该结构的设备。该地脚结构包括地脚座和安装板，安装板可拆卸的安装在地脚座上，安装板上安装有三自由度调向机构。一方面该结构的安装板与地脚座为分体式结构，具有结构简单、便于装卸、安...

本实用新型提供了一种电化学制氢化物的阳极及电化学制氢化物的电池。该阳极包括：导电盘，具有突出的边缘和容纳部，容纳部的内表面设置有多个间隔的第一连接部，边缘设置有氢气入口和氢气出口；框形密封垫，设置在容纳部的内表面上，具有与第一连接部一一...

本实用新型提供了一种用于MOCVD反应室的加热装置及MOCVD反应室。加热装置位于MOCVD反应室的筒状基片载台内且与筒状基片载台连接，加热装置包括：第一加热组件，包括多个与筒状基片载台连接的第一加热结构；第二加热组件，沿筒状基片载台的...

本申请提供了一种用于化学气相沉积反应的供气系统，该供气系统包括：液态源储存设备，用于存储液态源；汽化设备，与液态源储存设备可切断地连通，汽化设备用于对液态源汽化；气体存储设备，与汽化设备可切断地连通，气体存储设备用于储存汽化设备汽化形成...

本实用新型提供了一种布气结构，包括：进气管，进气管包括出气端；密封罩，密封罩包括进气口和多个大小不同的出气口，密封罩的进气口与进气管的出气端密封相连。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的物理气相沉积方法中的镀膜不均匀的问题。

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，提供一种载板翻转装置及镀膜设备，载板翻转装置包括底座，所述底座的边侧设有第一支撑件，所述第一支撑件上设有托盘，所述托盘的一端部可旋转的与所述第一支撑件的端部连接，所述托盘的第一侧面用以固定载板，所述托盘的...

本实用新型提供了一种旋转阴极结构及镀膜设备。旋转阴极结构包括靶筒、设置在靶筒表面的靶材以及设置在靶筒内部的磁体结构组件；磁体结构组件包括：第一磁体；第二磁体，其中，在靶筒的轴线方向上，第一磁体和第二磁体的彼此靠近的两个端部之间具有间隔；...

本实用新型提供的基片固定装置及物理气相沉积设备，其包括载板、压块和至少一对按压结构；其中，载板用于承载基片，压块位于载板的上方，每对按压结构分别设置于压块及载板相对应的两端，按压结构包括弹性件、第一弹板和第二弹板，第一弹板的第一端与压块...

本实用新型提供了一种PVD设备。PVD设备包括：真空箱；设置在真空箱内部的导轨槽、转动驱动部、阴极，转动驱动部的传动轮用于驱动载板在真空箱内移动，导轨槽用于对载板的移动方向进行导向，且阴极位于真空箱内并朝向载板；靶基距调整机构，靶基距调...

本实用新型涉及太阳能电池领域，公开了载板缓存装置及PVD镀膜设备。载板缓存装置包括缓存站，其上设有多个沿高度方向依次分布的卡槽，每个槽沿高度方向贯通设置，用于支撑载板；输送组件用于将载板输送至指定位置；抽取组件包括托板和与其连接的抽取驱...

本实用新型涉及打印设备领域，公开了一种打印头结构及打印机。打印头结构包括至少两个喷嘴板，每个喷嘴板包括多个喷嘴，不同喷嘴板上的喷嘴的位置一一对应，每个喷嘴板上分别连接有供墨组件。本实用新型提供的打印头结构，通过设置至少两个喷嘴板，在每个...

本实用新型涉及拆装工具技术领域，尤其涉及一种拆装结构，包括第一拆装件和第二拆装件，第一拆装件的一端与骨架连接，第一拆装件的另一端的端面设有沿骨架在壳体上拆装时的移动方向设置的拆装孔，第二拆装件与拆装孔连接进行骨架在壳体上的拆装。通过拆装...