布气结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种布气结构，包括：进气管，进气管包括出气端；密封罩，密封罩包括进气口和多个大小不同的出气口，密封罩的进气口与进气管的出气端密封相连。本实用新型专利技术的技术方案有效地解决了现有技术中的物理气相沉积方法中的镀膜不均匀的问题。

Air distribution structure

【技术实现步骤摘要】
布气结构
本技术涉及镀膜的布气结构的
，具体而言，涉及一种布气结构。
技术介绍
PVD(PhysicalVaporDeposition)---物理气相沉积：指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。PVD基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀)。膜层的均匀性一直是工艺判定镀膜质量的重要指标，膜层的均匀性与靶材磁场的分布，腔室内气体分布有关。随着靶材的消耗，靶材到膜层的距离发生变化，这样使得镀膜的时候会出现不均匀的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种布气结构，以解决现有技术中的物理气相沉积方法中的镀膜不均匀的问题。为了实现上述目的，本技术提供了一种布气结构包括：进气管，进气管包括出气端；密封罩，密封罩包括进气口和多个大小不同的出气口，密封罩的进气口与进气管的出气端密封相连。进一步地，布气结构还包括驱动部，密封罩和进气管可转动的连接，驱动部与密封罩相连以驱动密封罩转动。进一步地，密封罩为球体，多个大小不同的出气口位于直径最大的同一平面上，多个出气口的平面与进气管的轴线相垂直。进一步地，多个大小不同的出气口由大到小依次排列。进一步地，驱动部包括驱动电机，驱动电机驱动密封罩绕进气管的轴线转动。进一步地，密封罩与进气管通过螺纹连接。进一步地，进气管为多个，密封罩与多个进气管一一对应地设置。进一步地，布气结构包括壳体，壳体包括侧壁，侧壁围成封闭的环形，多个进气管沿侧壁相间隔地均匀布置。进一步地，驱动部为多个，多个驱动部与多个密封罩一一对应地设置。进一步地，布气结构还包括控制器，控制器与驱动部相连，以控制驱动部。应用本技术的技术方案，进气管的出气端与密封罩相连，密封罩上设置有多个大小不同的出气口。当靶材刚刚使用的时候，可以将密封罩上较小的出气口距离需要镀膜的位置近一些，随着靶材的使用，可以将密封罩上较大的出气口距离需要镀膜的位置近一些，这样可以使得镀膜比较均匀。本技术的技术方案有效地解决了现有技术中的物理气相沉积方法中的镀膜不均匀的问题。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本技术的布气结构的实施例的结构示意图；以及图2示出了图1的布气结构的密封罩的结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、进气管；20、密封罩；21、出气口；30、壳体。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。现在，将参照附图更详细地描述根据本申请的示例性实施方式。然而，这些示例性实施方式可以由多种不同的形式来实施，并且不应当被解释为只限于这里所阐述的实施方式。应当理解的是，提供这些实施方式是为了使得本申请的公开彻底且完整，并且将这些示例性实施方式的构思充分传达给本领域普通技术人员，在附图中，为了清楚起见，扩大了层和区域的厚度，并且使用相同的附图标记表示相同的器件，因而将省略对它们的描述。如图1和图2所示，实施例一的一种布气结构包括：进气管10和密封罩20。进气管10包括出气端。密封罩20包括进气口和多个大小不同的出气口21，密封罩20的进气口与进气管10的出气端密封相连。应用实施例一的技术方案，进气管10的出气端与密封罩20相连，密封罩20上设置有多个大小不同的出气口21。当靶材刚刚使用的时候，可以将密封罩20上较小的出气口21距离需要镀膜的位置近一些，随着靶材的使用，可以将密封罩上较大的出气口21距离需要镀膜的位置近一些，这样可以使得镀膜比较均匀。实施例一的技术方案有效地解决了现有技术中的物理气相沉积方法中的镀膜不均匀的问题。如图1和图2所示，在实施例一的技术方案中，布气结构还包括驱动部，密封罩20和进气管10可转动的连接，驱动部与密封罩20相连以驱动密封罩20转动。驱动部的设置使得操作人员不需要通过手动的方式去操作，可以通过驱动部的驱动将密封罩20调整到合适的角度或者位置。如图1和图2所示，在实施例一的技术方案中，密封罩20为球体，多个大小不同的出气口21位于直径最大的同一平面上，多个出气口21的平面与进气管10的轴线相垂直。这样更方便调整密封罩20的出气口21到合适的位置。每个出气口21调整到位置后，距离镀膜的位置相同，这样更有规律。需要说明的是，此处直径最大的同一平面为通过球心的直径所在的平面。如图2所示，在实施例一的技术方案中，多个大小不同的出气口21由大到小依次排列。这样的结构使得密封罩20的调整更加有规律。如图1所示，在实施例一的技术方案中，驱动部包括驱动电机，驱动电机驱动密封罩20绕进气管10的轴线转动。上述结构设置成本较低，加工方便。如图1所示，在实施例一的技术方案中，密封罩20与进气管10通过螺纹连接。上述结构容易安装。具体地，密封罩20与进气管10旋转八圈连接，而调整密封罩20和进气管10只需要旋转一圈即可。如图1所示，在实施例一的技术方案中，进气管10为多个，密封罩20与多个进气管10一一对应地设置。多个密封罩20的结构使得镀膜更加均匀，效率更高。如图1所示，在实施例一的技术方案中，布气结构包括壳体30，壳体30包括侧壁，侧壁围成封闭的环形，多个进气管10沿侧壁相间隔地均匀布置。上述结构使得布气结构布气更加均匀。如图1所示，在实施例一的技术方案中，驱动部为多个，多个驱动部与多个密封罩20一一对应地设置。上述结构使得密封罩20的设置更加独立。具体地，各个驱动部相对独立的设置。如图1所示，在实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种布气结构，其特征在于，包括：/n进气管(10)，所述进气管(10)包括出气端；/n密封罩(20)，所述密封罩(20)包括进气口和多个大小不同的出气口(21)，所述密封罩(20)的进气口与所述进气管(10)的出气端密封相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种布气结构，其特征在于，包括：
进气管(10)，所述进气管(10)包括出气端；
密封罩(20)，所述密封罩(20)包括进气口和多个大小不同的出气口(21)，所述密封罩(20)的进气口与所述进气管(10)的出气端密封相连。


2.根据权利要求1所述的布气结构，其特征在于，所述布气结构还包括驱动部，所述密封罩(20)和所述进气管(10)可转动的连接，所述驱动部与所述密封罩(20)相连以驱动所述密封罩(20)转动。


3.根据权利要求2所述的布气结构，其特征在于，所述密封罩(20)为球体，所述多个大小不同的出气口(21)位于直径最大的同一平面上，所述多个出气口(21)的平面与所述进气管(10)的轴线相垂直。


4.根据权利要求3所述的布气结构，其特征在于，所述多个大小不同的出气口(21)由大到小依次排列。


5.根据权利要求2所述的布气结构，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周伟东，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11