门阀装置及真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及门阀技术领域，尤其涉及一种门阀装置及真空镀膜设备。该门阀装置包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部，所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。本实用新型专利技术所述的门阀装置，不仅能够有效减小阀板在上下升降过程中的冲力，使得阀板的运动更加容易控制，而且使得门阀装置的整体体积较小，方便拆装维护。

Door valve device and vacuum coating equipment

【技术实现步骤摘要】
门阀装置及真空镀膜设备
本技术涉及门阀
，尤其涉及一种门阀装置及真空镀膜设备。
技术介绍
在真空镀膜设备中，需要采用门阀装置来对真空腔室进行密封。现有的门阀装置，通常采用气缸来直接驱动阀板作直线往复运动，进而实现对门阀的开闭操作。现有的门阀装置，在进行门阀的开闭操作时，由于气缸运动具有较强冲击，因此导致气缸驱动阀板时，难以精确的控制阀板运动位置，进而影响门阀装置的工作稳定性和密封效果。此外，气缸安装在真空腔室中，需要足够大的空间用于容纳气缸的尺寸以及气缸运动行程。因此不适用于腔室内部空间狭小的真空镀膜设备。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是提供一种门阀装置及真空镀膜设备，解决现有门阀装置采用气动驱动时冲击较强，难以进行有效控制的问题。(二)技术方案第一方面，本技术提供了一种门阀装置，包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部；所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种门阀装置，其特征在于：包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部；所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。/n

【技术特征摘要】
1.一种门阀装置，其特征在于：包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部；所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。


2.根据权利要求1所述的门阀装置，其特征在于：所述阀体包括壳体，所述壳体沿所述阀板的运动方向延伸设置；所述壳体中设有卡槽，所述卡槽的形状与所述阀板相匹配，所述卡槽设置在所述壳体靠近所述阀板的一侧；所述壳体上设有阀口，所述阀口贯穿所述壳体并与所述卡槽贯通。


3.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：所述阀板上对应所述阀口的侧面设有密封件，所述密封件在所述阀板上的投影包围所述阀口在所述阀板上的投影。


4.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：还包括驱动机构，所述驱动机构设置于所述壳体外部，所述驱动机构与所述双向丝杠驱动连接。


5.根据权利要求4所述的门阀装...

【专利技术属性】
技术研发人员：么曼实，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11