门阀装置及真空镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及门阀技术领域，尤其涉及一种门阀装置及真空镀膜设备。该门阀装置包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部，所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。本实用新型专利技术所述的门阀装置，不仅能够有效减小阀板在上下升降过程中的冲力，使得阀板的运动更加容易控制，而且使得门阀装置的整体体积较小，方便拆装维护。

Door valve device and vacuum coating equipment

【技术实现步骤摘要】
门阀装置及真空镀膜设备
本技术涉及门阀
，尤其涉及一种门阀装置及真空镀膜设备。
技术介绍
在真空镀膜设备中，需要采用门阀装置来对真空腔室进行密封。现有的门阀装置，通常采用气缸来直接驱动阀板作直线往复运动，进而实现对门阀的开闭操作。现有的门阀装置，在进行门阀的开闭操作时，由于气缸运动具有较强冲击，因此导致气缸驱动阀板时，难以精确的控制阀板运动位置，进而影响门阀装置的工作稳定性和密封效果。此外，气缸安装在真空腔室中，需要足够大的空间用于容纳气缸的尺寸以及气缸运动行程。因此不适用于腔室内部空间狭小的真空镀膜设备。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是提供一种门阀装置及真空镀膜设备，解决现有门阀装置采用气动驱动时冲击较强，难以进行有效控制的问题。(二)技术方案第一方面，本技术提供了一种门阀装置，包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部；所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。通过双向丝杠的转动能够带动两个滑动螺母进行相对或相向运动，两个滑动螺母的相对或相向运动能够带动两个连杆进行转动，从而带动阀板在阀体中进行上下升降运动，进而实现门阀装置的开闭操作。进一步地，所述阀体包括壳体，所述壳体沿所述阀板的运动方向延伸设置；所述壳体中设有卡槽，所述卡槽的形状与所述阀板相匹配，所述卡槽设置在所述壳体靠近所述阀板的一侧；所述壳体上设有阀口，所述阀口贯穿所述壳体并与所述卡槽贯通。所述阀板向上运动时，所述阀板能够卡装在所述卡槽中，从而使所述阀口关闭，实现所述阀板与所述阀体之间的闭合密封。所述阀板向下运动时，能够使所述阀板从所述卡槽中脱离，从而使所述阀口打开，实现所述阀板与所述阀体之间的开启。具体地，所述阀板上对应所述阀口的侧面设有密封件，所述密封件在所述阀板上的投影包围所述阀口在所述阀板上的投影。当所述门阀装置关闭时，所述阀板卡装在所述卡槽中，通过在所述阀板上设置密封件，能够对所述阀口进行有效密封，增强所述阀板与所述阀体之间闭合时的密封性。进一步地，还包括驱动机构，所述驱动机构设置于所述壳体外部，所述驱动机构与所述双向丝杠驱动连接。将所述驱动机构设置于所述阀板的壳体外部，能够避免驱动机构占用所述阀板的内部空间，有效节省空间。具体地，所述驱动机构包括驱动电机和联轴器，所述驱动电机的动力输出端与所述联轴器的一端连接，所述联轴器的另一端与所述双向丝杠的一端连接。所述驱动电机能够通过所述联轴器带动所述双向丝杠转动，进而带动所述阀板进行上下升降运动，实现对门阀装置的开闭操作。具体地，所述驱动机构通过支架与所述壳体安装固定，所述支架包括电机连接部和壳体连接部，所述电机连接部通过第一连接件与所述驱动电机相连，所述壳体连接部的一端与所述电机连接部相连，所述壳体连接部的另一端设有连接耳，所述连接耳通过第二连接件与所述壳体相连。通过设置所述支架能够将所述驱动机构安装固定在所述壳体的外侧壁上，进而有效节省所述阀板的内部空间。具体地，所述双向丝杠的两端分别通过轴承安装在所述壳体上。通过在所述双向丝杠的两端分别设置所述轴承，能够实现所述双向丝杠在所述壳体上的安装，从而保证所述驱动机构能够带动所述双向丝杠转动。进一步地，还包括导向机构，所述导向机构包括导向槽以及与所述导向槽滑动配合的导向滑块，所述导向槽设置在所述壳体上并沿所述阀板的运动方向延伸设置，所述导向滑块与所述阀板相连。当所述阀板进行上下升降运动时，所述阀板能够带动所述导向滑块在所述导向槽中进行上下滑动，从而对所述阀板起到导向作用，进而保证所述阀板运动的稳定性。进一步地，所述阀板的纵截面为梯形结构，所述卡槽的纵截面为与所述阀板相适配的梯形结构。当所述阀板向上运动时，所述阀板逐渐卡装在所述卡槽中，由于所述阀板和所述卡槽均采用梯形结构，在此过程中，所述阀板与所述卡槽内壁之间的间隙越来越小，从而使所述阀板上密封件所受的压力越来越大，进而能够有效增强所述阀板与所述阀体之间的闭合密封性。本技术提供了一种真空镀膜设备，包括真空腔室和门阀装置，所述门阀装置如第一方面所述；所述门阀装置的阀体用于将所述真空腔室分割为多个空间；或，所述门阀装置设置于所述真空腔室的开口处。当所述门阀装置设置于所述真空腔室中用于将所述真空腔室分割为多个空间时，通过控制所述门阀装置的开闭操作，能够实现各个空间的相互贯通或相互封闭。当所述门阀装置设置于所述真空腔室的开口处时，能够实现对该真空腔室开口的开启或封闭操作。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有如下优点：本技术提供的门阀装置，通过设置传动机构来将动力传递至阀板，从而实现阀板的上下升降运动，进而实现门阀装置的开闭操作，从而有效减小了阀板在上下升降过程中的冲力，使得阀板的运动更加容易控制，而且使得门阀装置的整体体积较小，方便拆装维护。附图说明图1是本技术实施例门阀装置的开启状态示意图；图2是本技术实施例门阀装置的闭合状态示意图；图3是本技术实施例门阀装置的阀板与卡槽卡装配合结构图。图中：1：阀板；2：双向丝杠；201：螺纹部；3：滑动螺母；4：连杆；5：阀体；501：壳体；503：卡槽；504：阀口；6：驱动机构；601：驱动电机；602：联轴器；7：支架；701：电机连接部；702：壳体连接部；703：连接耳；8：轴承；9：密封件；10：导向槽；11：导向滑块；12：第一连接件；13：第二连接件。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-3所示，本申请提供一种门阀装置，包括阀体5、传动机构和阀板1，传动机构和阀板1分别设置于阀体的内部。其中，传动机构包括双向丝杠2、两个滑动螺母3和两个连杆4，其中双向丝杠2沿水平向设置，双向丝杠2包括两个旋向相反的螺纹部201，两个滑动螺母3分别与两个螺纹部201对应螺纹配合。两个滑动螺母3与两个连杆4的一端对应铰接，两个连杆4的另一端分别与阀板1铰接。在工作时，通过双向丝杠2的转动能够带动两个滑动螺母3进行相对或相向运动，两个滑动螺母3的相对或相向运动又能够带动两个连杆4进行相对或相向转动，从而带动阀板1在阀体5中进行上下升降运动，进而实现门阀装置的开闭操作。本申请所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种门阀装置，其特征在于：包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部；所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。/n

【技术特征摘要】
1.一种门阀装置，其特征在于：包括阀体、传动机构和阀板，所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部；所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆，所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部，两个所述滑动螺母分别与两个所述螺纹部对应螺纹配合，两个所述滑动螺母与两个所述连杆的一端对应铰接，两个所述连杆的另一端分别与所述阀板铰接。


2.根据权利要求1所述的门阀装置，其特征在于：所述阀体包括壳体，所述壳体沿所述阀板的运动方向延伸设置；所述壳体中设有卡槽，所述卡槽的形状与所述阀板相匹配，所述卡槽设置在所述壳体靠近所述阀板的一侧；所述壳体上设有阀口，所述阀口贯穿所述壳体并与所述卡槽贯通。


3.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：所述阀板上对应所述阀口的侧面设有密封件，所述密封件在所述阀板上的投影包围所述阀口在所述阀板上的投影。


4.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：还包括驱动机构，所述驱动机构设置于所述壳体外部，所述驱动机构与所述双向丝杠驱动连接。


5.根据权利要求4所述的门阀装...

【专利技术属性】
技术研发人员：么曼实，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11