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门阀装置及真空镀膜设备制造方法及图纸
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文档序号:24051232
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本实用新型涉及门阀技术领域,尤其涉及一种门阀装置及真空镀膜设备。该门阀装置包括阀体、传动机构和阀板,所述阀板和传动机构分别设置于所述阀体内部,所述传动机构包括双向丝杠、两个滑动螺母和两个连杆,所述双向丝杠包括两个旋向相反的螺纹部,两个所述滑...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。
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