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东泰高科装备科技有限公司专利技术
东泰高科装备科技有限公司共有370项专利
工艺腔室和半导体处理设备制造技术
本发明公开了一种工艺腔室和半导体处理设备。包括腔室本体、以及位于腔室本体内的喷淋件,还包括至少一个吊装装置,每个吊装装置包括吊装主体以及若干个调整件,吊装主体的第一端穿出腔室本体并与所述腔室本体可移动地密封连接,第二端与喷淋件密封连接。...
太阳能电池与其制作方法技术
本申请提供了一种太阳能电池与其制作方法。该太阳能电池包括依次叠置的背场层、基层和发射层,背场层与发射层之间具有PN结,基层为超晶格结构层,超晶格结构层包括多个叠置的周期结构,各周期结构包括叠置的三个子结构层,三个子结构层中的一个子结构层...
太阳能电池及其制备方法技术
本发明提供了一种太阳能电池及其制备方法。该太阳能电池包括由上到下顺序层叠的正面电极、钙钛矿子电池、砷化镓子电池、晶硅子电池和背面电极,晶硅子电池与砷化镓子电池通过键合层连接,钙钛矿子电池与砷化镓子电池之间通过复合层连接。通过将钙钛矿电池...
用于MOCVD真空设备尾气的管路监测装置制造方法及图纸
本实用新型提供了一种用于MOCVD真空设备尾气的管路监测装置,包括:第一管路组件、冷阱组件、动力设备、第一压差计和排放管路;第一管路组件包括第一管路和设置在第一管路上的阀门,第一管路的第一端与真空工艺腔室的出口相连,第一管路的第二端与冷...
一种压辊层压系统技术方案
本实用新型涉及晶片生产技术领域,尤其涉及一种压辊层压系统,其包括掩膜层压装置、放膜装置、传送装置以及掩膜切割装置,所述放膜装置用于为所述掩膜层压装置提供掩膜,所述传送装置用于将晶片传送到所述掩膜层压装置上,所述掩膜层压装置包括相对设置的...
冷却装置及废气处理系统制造方法及图纸
本发明提供的冷却装置和废气处理系统,包括冷却腔体、冷却结构和清除结构,其中,冷却腔体中设置有通道,用以通入待冷却气体,冷却结构包括至少一个冷却板,冷却板设置在通道中,且将通道分割为多个子通道,清除结构设置在子通道中,用于清除在冷却过程中...
一种带有纳米纹路的柔性太阳能聚光器及其制备方法技术
本发明涉及一种带有纳米纹路的柔性太阳能聚光器,其包括透明聚酰亚胺柔性基质材料,所述基质材料中分散有量子点材料,在基质材料的至少一个表面具有纳米纹路。本发明的聚光器具有柔软、轻质、易于安装、可弯曲等特性,适于用在各种表面不规则的物体上;本...
砷化镓与钙钛矿异质结太阳能电池及其制作方法技术
本发明提供了一种砷化镓与钙钛矿异质结太阳能电池及其制作方法。该电池包括N型砷化镓半电池和位于N型砷化镓半电池上方的P型钙钛矿半电池,N型砷化镓半电池从下至上依次包括衬底、N型砷化镓层和砷化镓吸收层;P型钙钛矿半电池从下至上依次包括钙钛矿...
伸缩块组件及开关门装置制造方法及图纸
本发明提供了一种伸缩块组件及开关门装置,其中,伸缩块组件,包括:基座,基座包括容纳腔,容纳腔的开口位于基座的侧面;移动块结构,移动块结构包括移动块和弹性件,移动块至少部分地位于容纳腔内,弹性件位于容纳腔内并抵顶在移动块和容纳腔的内壁之间...
一种电解法制砷烷的电解系统技术方案
本发明提供了一种电解法制砷烷的电解系统。该电解系统包括:电解槽,具有通过离子半透膜隔离的阴极室和阳极室,阴极室电解产生砷烷和氢气,阳极室电解产生氧气;阴极气体输送管路,与阴极室相连;阳极气体输送管路,与阳极室相连;阴极气体输送管路和阳极...
有机空穴传输材料、其制备方法及其应用技术
本发明提供了一种有机空穴传输材料、其制备方法及其应用。该有机空穴传输材料为三芳胺‑噻吩体系化合物中的一种或多种,其结构如式Ⅰ为
输送设备制造技术
本发明提供了一种输送设备。输送设备包括机架及依次设置在机架上的引料装置、张紧组件和收料装置,引料装置包括用于缠绕被输送件的进料辊,收料装置包括收料辊,被输送件被卷绕在收料辊上,以实现收料辊对被输送件的收料操作,张紧组件包括:张紧结构,设...
装卸装置制造方法及图纸
本发明提供了一种装卸装置,用于在载具上装卸产品,装卸装置包括升降机构和取放机构,升降机构用于升降载具,以将载具的不同位置与取放机构对应,取放机构通过与升降机构的配合能够在载具的不同位置装卸产品。通过该技术方案可以代替人工操作,实现在载具...
贴膜机制造技术
本发明提供了一种贴膜机。贴膜机包括:输送设备,包括机架及设置在机架上的引料装置和收料装置,层压材料绕设在引料装置和收料装置上;层压设备,位于引料装置和收料装置之间,以对经由层压设备的层压材料和被加工件进行压合;切割设备,位于层压设备与收...
层压设备制造技术
本发明提供了一种层压设备。层压设备包括真空热压合结构、热压合结构和冷却结构,热压合结构位于真空热压合结构下游处,冷却结构位于热压合结构下游处,真空热压合结构包括:第一压合件;位于第一压合件下方的第二压合件,第一、二压合件之间的距离可调整...
一种旋转靶材在线打磨装置及打磨方法制造方法及图纸
本发明实施例提供一种旋转靶材在线打磨装置及打磨方法,所述装置包括遮挡构件及打磨构件;在打磨状态,所述遮挡构件及打磨构件形成封闭空间用于包围旋转靶材;其中,所述打磨构件与所述旋转靶材相接触;在非打磨状态,所述遮挡构件及打磨构件远离所述旋转...
切割设备制造技术
本发明提供了一种切割设备。切割设备包括:支架;切割装置,可移动地设置在支架上以形成切割区域,切割装置对处于切割区域内的待切割件进行切割;载台组件,设置在支架上且位于切割装置的下方,载台组件包括吸合结构和与吸合结构相配合的抽真空结构,吸合...
托盘及具有其的载具制造技术
本实用新型提供了一种托盘及具有其的载具,托盘用于放置附有薄膜的晶片,托盘包括:底盘;多个凸台,多个凸台间隔设置在底盘上,底盘与多个凸台围绕形成用于放置晶片的容纳腔,凸台的背离底盘的一面用于承载薄膜凸出于晶片的部分;在底盘的周向上,相邻两...
一种三结GaAs太阳能电池外延结构制造技术
本实用新型属于太阳能电池领域,具体涉及一种三结GaAs太阳能电池外延结构,包括Ge底电池和GaAs中电池,还包括由MoS
晶片收集装置制造方法及图纸
本实用新型涉及半导体晶片物料卸载技术领域,尤其涉及一种晶片收集装置。该晶片收集装置包括承托机构和位置调整机构,所述承托机构包括驱动机构以及两组承托组件,各所述承托组件分别包括至少两个承托件,两组所述承托组件的承托件相对设置且位于同一平面...
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