【技术实现步骤摘要】
一种电解法制砷烷的电解系统
本专利技术涉及电子气体制备领域,具体而言,涉及一种电解法制砷烷的电解系统。
技术介绍
在半导体行业、太阳能行业、LED行业、平板显示行业和光纤行业快速发展的今天,砷烷等电子气体的工艺使用范围越来越广泛。电子气体一般都是有毒气体、易燃易爆气体,其中的杂质去除和提纯过程是很大的难题。电解法制砷烷直接采用高纯金属砷或高纯含砷原料,能够从原材料上减少杂质的引进,大大简化了砷烷的提纯工艺,因此电解法制砷烷是未来解决气体供应难题的一个比较好的途径。电解法制砷烷的电解槽具有多种设置方式,以下以氧化砷为阴极为例进行说明。电解槽具有阴极室和阳极室,阳极室内安装有电解电极的阳极和阳极电解液,阳极电解液是纯水,加入少量的高纯NaOH作为导电电解质,NaOH不参与电解反应。阳极电解反应的反应方程式:6H2O→3O2(g)+12e-+12H+阴极室内安装有电解电极的阴极和阴极电解液,阴极电解液是三价砷As2O3水溶液,也可以使用五价砷的水溶液,加入少量的高纯H2SO4作为导电电解质,H2SO4不参与 ...
【技术保护点】
1.一种电解法制砷烷的电解系统,所述电解系统包括:/n电解槽,具有通过离子半透膜(12)隔离的阴极室(11)和阳极室(13),所述阴极室(11)电解产生砷烷和氢气,所述阳极室(13)电解产生氧气;/n阴极气体输送管路(30),与所述阴极室(11)相连;/n阳极气体输送管路(40),与所述阳极室(13)相连;/n其特征在于,所述阴极气体输送管路(30)和所述阳极气体输送管路(40)之间设置有第一压差传感器(20)以监测所述阳极室(13)和所述阴极室(11)的压差。/n
【技术特征摘要】
1.一种电解法制砷烷的电解系统,所述电解系统包括:
电解槽,具有通过离子半透膜(12)隔离的阴极室(11)和阳极室(13),所述阴极室(11)电解产生砷烷和氢气,所述阳极室(13)电解产生氧气;
阴极气体输送管路(30),与所述阴极室(11)相连;
阳极气体输送管路(40),与所述阳极室(13)相连;
其特征在于,所述阴极气体输送管路(30)和所述阳极气体输送管路(40)之间设置有第一压差传感器(20)以监测所述阳极室(13)和所述阴极室(11)的压差。
2.根据权利要求1所述的电解系统,其特征在于,所述阴极气体输送管路(30)上设置有第一自动压力控制器(33),所述第一自动压力控制器(33)与所述第一压差传感器(20)电连接,用以接收所述第一压差传感器(20)的信号调整所述阴极室(11)和所述阳极室(13)之间的压差。
3.根据权利要求2所述的电解系统,其特征在于,所述阴极气体输送管路(30)设置有第一压力传感器(31)。
4.根据权利要求2或3所述的电解系统,其特征在于,所述阴极气体输送管路(30)上还设置有第一压力开关(32)。
5.根据权利要求2所述的电解系统,其特征在于,所述阳极气体输送管路(4...
【专利技术属性】
技术研发人员:闫冬升,赵青松,宁红锋,孟亚飞,南建辉,
申请(专利权)人:东泰高科装备科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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