载板缓存装置及PVD镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及太阳能电池领域，公开了载板缓存装置及PVD镀膜设备。载板缓存装置包括缓存站，其上设有多个沿高度方向依次分布的卡槽，每个槽沿高度方向贯通设置，用于支撑载板；输送组件用于将载板输送至指定位置；抽取组件包括托板和与其连接的抽取驱动，抽取驱动能够驱动托板沿卡槽深度方向往复移动以使托板运动至任一载板的下方或输送组件的上方，抽取驱动还能够驱动托板升降以托举载板使载板与对应的卡槽分离或使置于托板上的载板落至输送组件上；升降组件用于驱动抽取组件升降使托板运动至与任一卡槽对应的位置。本实用新型专利技术能够实现载板自动上下料，无需工作人员的介入，保障了工作人员的人身安全；避免占用机械手，节约生产成本。

Board buffer device and PVD coating equipment

【技术实现步骤摘要】
载板缓存装置及PVD镀膜设备
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及载板缓存装置及PVD镀膜设备。
技术介绍
PVD镀膜是薄膜太阳能电池的关键步骤之一，为了提高工作效率，通常采用单载板搭载多基片的形式，通过自动化来进行基片的上下料。至于如何实现自动化上料，目前通常是将载板垂直放置在小车内，再由机械手将小车内的载板抓取到载板自动化系统内。采用上述方式进行载板的自动上下料存在以下缺点：未配备专门的机械手来抓取载板，需要借用其他机械手，占用产能，增大了生产成本；生产过程中需要工作人员不断地将装载有载板的小车推到自动化设备处，再由机械手将小车内的载板抓取到自动化系统内，此时机械手若停止工作，则会影响工作效率，若不停止工作则可能会碰上工作人员。
技术实现思路
本技术的目的在于提供载板缓存装置及PVD镀膜设备，能够取消现有技术中的机械手，避免采用机械手上料占用产能，保证工作人员的人身安全，提高载板上下料的工作效率。为达此目的，本技术采用以下技术方案：载板缓存装置，包括：缓存站，其上设有多个沿高度方向依本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.载板缓存装置，其特征在于，包括：/n缓存站(1)，其上设有多个沿高度方向依次分布的卡槽(11)，每个所述卡槽(11)沿高度方向贯通设置，用于支撑载板(100)；/n输送组件，用于将所述载板(100)输送至指定位置；/n抽取组件，包括托板(31)和与其连接的抽取驱动，所述抽取驱动能够驱动所述托板(31)沿所述卡槽(11)深度方向往复移动，以使所述托板(31)运动至任一所述载板(100)的下方或所述输送组件的上方，所述抽取驱动还能够驱动所述托板(31)升降以托举所述载板(100)使所述载板(100)与对应的所述卡槽(11)分离，或使置于所述托板(31)上的所述载板(100)落至所述输送组件上；...

【技术特征摘要】
1.载板缓存装置，其特征在于，包括：
缓存站(1)，其上设有多个沿高度方向依次分布的卡槽(11)，每个所述卡槽(11)沿高度方向贯通设置，用于支撑载板(100)；
输送组件，用于将所述载板(100)输送至指定位置；
抽取组件，包括托板(31)和与其连接的抽取驱动，所述抽取驱动能够驱动所述托板(31)沿所述卡槽(11)深度方向往复移动，以使所述托板(31)运动至任一所述载板(100)的下方或所述输送组件的上方，所述抽取驱动还能够驱动所述托板(31)升降以托举所述载板(100)使所述载板(100)与对应的所述卡槽(11)分离，或使置于所述托板(31)上的所述载板(100)落至所述输送组件上；
升降组件，用于驱动所述抽取组件升降以使所述托板(31)运动至与任一所述卡槽(11)对应的位置。


2.根据权利要求1所述的载板缓存装置，其特征在于，所述抽取驱动包括：
第一升降单元(32)，所述托板(31)连接于所述第一升降单元(32)的驱动端，所述第一升降单元(32)能够驱动所述托板(31)升降；
水平驱动单元和水平滑块(33)，所述水平驱动单元的驱动端和所述第一升降单元(32)的固定端均连接于所述水平滑块(33)，所述水平驱动单元能够驱动所述水平滑块(33)沿所述卡槽(11)深度方向往复移动。


3.根据权利要求2所述的载板缓存装置，其特征在于，还包括抽取支架(4)及设于所述抽取支架(4)上的水平导轨(42)，所述水平驱动单元设于所述抽取支架(4)上，所述水平滑块(33)和所述水平导轨(42)中的一个上设有沿所述卡槽(11)深度方向延伸的第一滑槽，另一个上设有与所述第一滑槽配合的第一滑轨。


4.根据权利要求3所述的载板缓存装置，其特征在于，所述卡槽(11)呈U型，所述卡槽(11)的相对两侧壁之间的距离大于所述托板(31)沿所述卡槽(11)宽度方向的长度。
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【专利技术属性】
技术研发人员：宋永明，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11