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本实用新型涉及太阳能电池领域，公开了载板缓存装置及PVD镀膜设备。载板缓存装置包括缓存站，其上设有多个沿高度方向依次分布的卡槽，每个槽沿高度方向贯通设置，用于支撑载板；输送组件用于将载板输送至指定位置；抽取组件包括托板和与其连接的抽取驱动，...
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