本发明提供一种晶片检查用接口装置，其能够消除基于温度变化导致的晶片与探针卡的位置偏差，能够将设置于晶片的半导体器件的电极与形成于探针卡的探针准确地对位，对半导体器件进行适当的电特性检查。晶片检查用接口装置（18）包括：探针卡（20），其...

本发明提供一种能够通过一个搬送机构在半导体器件的特性检查的位置使晶片相对于探针卡进行校准的晶片检查装置。晶片检查装置的检查室（14）包括：在与晶片（W）相对的面配置有多个探针（25）的探针卡（20）；抵触框架（40），其与该探针卡（20...

本发明提供一种晶片检查用接口，其能够确保探针卡中的晶片相对面的平滑度，该探针卡使多个探针分别一起与形成在晶片上的多个半导体器件的多个电极抵接。晶片检查用接口（18）包括：探针卡（20），其具有基板（20a）和多个探针（25），该多个探针...

本发明提供一种搬送探针卡且进行安装时能够可靠地进行交接、并能够抑制探针卡地破损等的发生的探针装置和探针装置的探针卡安装方法，其包括：卡夹持机构；晶片吸盘；盘，其下表面配置有对位用标记；盘支承机构，其能够支承盘；摄像机；移动机构，其用于将...

本发明提供一种能够使热源与探针卡直接接触而在短时间内将探针卡调整到规定的温度、并且能够准确地判断探针卡是否到达热稳定的探针卡的热稳定化方法。将热传递用基板（S）载置于载置台（121），借助载置台（121）来调整热传递用基板（S）的温度，...

本发明提供一种不需要大量的处理气体也提高处理气体的使用效率、且对被处理体实施处理的处理空间的气密性也良好的基板处理装置。该基板处理装置包括：气体供给头（3），其设于具有用于载置被处理体的载置面（2a）的载置台（2）的一端，具有用于将处理...

自主的基于生物学的学习工具。提供了一种自主的基于生物学的学习工具系统和该工具系统用来进行学习和分析的方法。自主的基于生物学的学习工具系统包括(a)执行一组特定任务或过程并生成资产和与资产相关的表征各过程和相关联的工具性能的数据的一个或多...

本发明提供一种探针装置和探针卡的平行调整机构，其能够抑制用于调整探针卡的平行度的驱动机构的部分的刚性的降低，并且能够高精度地保持探针卡和半导体晶片的平行度。本发明提供一种探针装置，其使配置于探针卡的多个探针与被检测基板接触从而进行电检测...

本发明提供一种金属浆料填充装置，其向基板的非贯通孔简便高效地填充金属浆料，并且无空隙地进行填充。该金属浆料填充装置具备衬垫（10）、排气部（12）、金属浆料供给部（14）和控制器（30）。在衬垫（10）的作用面（10a）设置有一个或多个...

本发明提供基板处理装置和基板处理方法，其能够有效地抑制电极上的基板的电压变化，抑制射向基板的离子的入射能量的变动。基板处理装置包括：将基板保持在主面上的第一电极；与第一电极相对的第二电极；向第一电极施加频率为40MHz以上的RF电压的R...

本发明提供一种等离子体处理装置，其为从多个部位向处理容器内导入微波的方式的等离子体处理装置，分别监视通过多个微波生成的多个等离子体的状态。等离子体处理装置（1）具备将微波导入处理容器（2）内的微波导入装置（5）。微波导入装置（5）具有与...

本发明涉及感应耦合等离子体用天线部件、处理装置以及处理方法，在平面状地邻接设置多个天线的情况下，确保良好的等离子体控制性。感应耦合等离子体用天线部件(50)具有用于在等离子体处理装置的处理室内生成对基板(G)进行等离子体处理的感应耦合等...

本发明提供一种能够在相对于载物台搬入搬出被处理基板时能够稳定保持基板、防止基板的位置错位的基板处理装置和基板处理方法。该基板处理装置具备：能够载置被处理基板（G）的载物台（11）；能够升降地设置于上述载置台的周围、在上升位置向上述载物台...

本发明提供一种能够在组件或向各组件搬送基板的基板搬送机构中的任一个发生故障的情况下防止对基板继续进行不良的处理的技术。本发明的装置包括：多个接受目标组件，基板保持部从该多个接受目标组件接受基板；检测由基板保持部保持的基板的保持位置与在该...

本发明提供一种基板搬送装置，当搬送在周边部设置有切口的圆形的基板时，即使检测该基板周边部的位置的传感器部的数量少，也能高精度地将基板搬送至组件。本发明执行以下步骤：使保持有从第一组件接受到的基板的基板保持部相对上述传感器部分别位于预先设...

本发明提供一种基板处理装置，通过获得保通持部件上的基板的偏差量，在偏差量处于容许范围的状态下，将基板交接到其它的模块。当叉（3A）从一个模块（加热模块）接收到晶片（W）时，求出距离叉（3A）上的基准位置的偏差量，当该偏差量处于容许范围时...

本发明涉及基板处理装置以及基板处理方法，在对晶圆(W)照射紫外线而进行处理时，能够延长紫外线照射部的光源的更换周期，并且抑制生产率的降低。基板处理装置包括液体处理组件和紫外线照射组件，将晶圆(W)分配交接至用于进行彼此相同的一系列处理的...

本发明提供一种基板处理装置，其能够防止电荷在栅电极中蓄积，能够可靠地抑制栅氧化膜的绝缘破坏。在被供给高频电力的基座（12）和与该基座（12）相对配置的上部电极（13）之间的处理空间S产生电场E，使用由该电场（E）产生的等离子体对载置于基...

通过以期望的处理分布进行感应耦合等离子体处理。利用具备高频天线的感应耦合等离子体处理装置，在不同的时间实施第一处理和第二处理，使得在处理结束的时刻对基板得到所期望的处理分布，其中，上述高频天线具有供给有高频电力而形成外侧感应电场的形成为...

本发明提供一种半导体器件检查装置用布线基板及其制造方法。该半导体器件检查装置用布线基板具有较低的热膨胀率和较高的机械强度，并且能够易于制造且能够谋求降低制造成本。其特征在于，半导体器件检查装置用布线基板包括：金属基材，其是通过将利用蚀刻...