本发明提供一种反应腔室及半导体加工设备，其包括腔体、上衬环、下衬环和绝缘件，其中，下衬环环绕在腔体的侧壁内侧；上衬环环绕在下衬环的环壁内侧；绝缘件设置在上衬环与下衬环之间；该绝缘件包括闭合的环状本体；上衬环具有第一外沿，下衬环具有第二外...

本发明提供一种滤波电路、加热电路和半导体处理设备。该滤波电路用于连接在加热源和负载之间，对负载进行滤波；包括并联连接的电感支路和电容支路，电感支路包括变压元件和电感元件，电感元件串联连接于变压元件的初级绕组的两端，用于对负载进行滤波；变...

本发明提供一种微波传输装置和半导体处理设备。本发明的微波传输装置，包括波导和设置在波导内的阻抗匹配结构，波导用于将微波源发出的微波传输至负载，阻抗匹配结构包括微带交指电容，并且通过调节微带交指电容形成的等效电容，和/或，通过调节微带交指...

本发明提供一种下电极结构及半导体加工设备，其包括用于承载晶片的载片台，在载片台内设置有第一电极，通过向第一电极加载第一偏压，在晶片的上表面形成负偏压；并且，在载片台的外周壁上环绕设置有介质组件，用以阻挡等离子体接触载片台的外周壁，以及限...

本发明提供一种气体管路的加热装置及半导体加工设备，其包括发热元件、电引入组件和电源，其中，发热元件均匀缠绕在内管的外壁上，用以加热内管中的气体；电引入组件设置在外管和内管的气体输入端，用以将环形间隙与外界真空隔离，并将发热元件的正/负极...

本实用新型公开了一种隔热转接板和半导体设备，隔热转接板上设有传片口，在隔热转接板的一侧表面环绕传片口设有环型槽，环型槽用于容纳密封圈，沿环型槽的外周设有至少一个隔热槽，隔热槽内设有隔热件，且隔热件凸出于隔热转接板的一侧表面。该隔热转接板...

本实用新型公开了一种喷嘴支架、一种工艺腔室和一种半导体处理设备。喷嘴支架用于将喷嘴固定在顶盖上，包括本体，该本体上设置有安装孔，该安装孔用于放置喷嘴，顶盖上设置有至少一个旋紧配合槽，喷嘴支架还包括自本体向远离安装孔的方向凸出的至少一个旋...

本实用新型属于物理气相沉积镀膜技术设备领域，尤其是涉及一种带冷却功能的镀膜用防护罩及其镀膜装置。一种带冷却功能的镀膜用防护罩，包括固定在镀膜腔内侧的罩身和与该罩身固定连接的冷却组件，所述冷却组件包括固定在所述罩身外侧的第一冷却组件和固定...

本公开提供一种遮挡压盘组件、半导体加工装置和方法。该遮挡压盘组件包括：遮挡压盘以及移动部件，遮挡压盘面向基座的一侧包括边缘部；移动部件用于使遮挡压盘在第一位置和第二位置之间移动；其中，在第一位置时，边缘部与基座承载的待加工件的边缘区域接...

本发明的实施例提供一种基座以及包括该基座的半导体处理设备。该基座用于承载被加工工件，包括依次层叠设置的加热器、隔离层和射频电极，所述隔离层为绝缘材料，以将所述加热器和所述射频电极二者电位隔离。本发明的实施例的基座中加热器与射频电极电位隔...

本发明提供一种磁性薄膜叠层的沉积方法、磁性薄膜叠层及微电感器件，该沉积方法包括以下步骤：S1，在待加工工件上沉积粘附层；S2，沉积磁性/隔离单元；磁性/隔离单元包括至少一对交替设置的磁性膜层和隔离层。本发明提供的磁性薄膜叠层的沉积方法，...

本发明提供了一种软磁薄膜及其制备方法。本发明的软磁薄膜，包括堆叠设置的多组层结构，每组层结构包括软磁材料层及位于软磁材料层上方的介质层，每组层结构还包括第一粘结层和/或第二粘结层，第一粘结层和第二粘结层用于增强层结构的粘附性；其中，第一...

本发明提供了一种测温装置，测温装置包括红外测温传感器和遮光筒，遮光筒包括筒状本体，还包括降温部件和/或隔离部件；降温部件设置在筒状本体上，用于将筒状本体降至设定的温度范围，并保持在所述温度范围；隔离部件设置在筒状本体和热源之间，用于将筒...

本实用新型为一种快速拆装机构及立体等离子体源，快速拆装机构用于将工艺套筒与内衬可拆卸地固定连接。快速拆装机构包括销轴、压爪以及支撑环。其中，销轴固定联接在内衬上，压爪具有一个连接端和一个摆动端，压爪的连接端套设在销轴上并能绕销轴转动，通...

本实用新型提供一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接，包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第...

本实用新型提供一种卡盘及反应腔室，其包括基座、设置在基座上的加热器层和设置在加热器层上的绝缘层，还包括多个沿基座的轴向依次贯穿基座、加热器层和绝缘层的通孔，用以供顶针或者背吹气体通过，并且，还包括设置在每个通孔中的环形保护件，该环形保护...

本实用新型提供一种顶针机构、反应腔室及半导体加工设备，其包括顶针基座和至少三个顶针，顶针的下端与顶针基座连接，顶针基座用于驱动至少三个顶针上升或下降，还包括导向件，该导向件用于在顶针上升或下降时，限定顶针的移动方向。本实用新型提供的顶针...

本实用新型公开了一种固定走线组件、一种静电卡盘装置和一种工艺腔室。所述固定走线组件包括走线支架和走线夹单元，所述走线支架包括内壁和外壁，所述走线夹单元与所述外壁固定连接，且所述走线夹单元和所述外壁的至少一者上设置有用于收容走线的多个走线...

本实用新型为一种托盘盖板组件，托盘盖板组件包括托盘和盖板，托盘上放置有晶片，盖板将晶片压紧到托盘上；晶片与托盘之间具有第一间隙，盖板与托盘之间具有第二间隙；托盘上设有与第一间隙连通的第一冷却介质孔，托盘上还设有与第二间隙连通的第二冷却介...

本实用新型公开了一种工艺气体进气管路系统，包括至少一个非饱和蒸汽气体管路、非饱和蒸汽气体汇集管路、饱和蒸汽气体管路和混合管路，至少一个非饱和蒸汽气体管路并联后连通于非饱和蒸汽气体汇集管路，非饱和蒸汽气体汇集管路和饱和蒸汽气体管路交汇后连...