电连接件及等离子体产生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接，包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；所述第二连接柱与所述本体电连接；所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。还提供一种等离子体产生装置。在反应腔室维护时可以快速地打开腔体，从而可以提高反应腔室的安装和维护效率。

【技术实现步骤摘要】
电连接件及等离子体产生装置
本技术属于微电子加工
，具体涉及一种电连接件及等离子体产生装置。
技术介绍
刻蚀反应腔室通常包括电感耦合等离子体腔室和电容耦合等离子体腔室。图1为现有的电感耦合等离子体腔室的结构示意图，请参阅图1，该腔室包括腔体1和等离子体产生装置2，等离子体产生装置2包括感应线圈21和匹配器22，其中，感应线圈21设置在反应腔室的顶壁的石英盖11上，感应线圈21和匹配器22通过连接条23相连；匹配器22用于与射频电源相连，从而将射频电源输出的射频信号经过匹配器22、连接条23和感应线圈21耦合至腔体1内，将反应腔室内的工艺气体激发形成等离子体；在石英盖11上还设置有屏蔽罩12，用于屏蔽射频电场，使射频电场不会泄露到外部空间对周边人员产生伤害；匹配器22固定在屏蔽罩12上，并且，屏蔽罩12和匹配器22可沿转轴13翻转，例如，反转90°，这样，将感应线圈21和石英盖11移走，即可打开腔体进行腔室维护。由于在实际应用中需要连接条23使用螺钉与匹配器22和感应线圈21的连接柱固定相连，因此，在打开腔体时需要至少拆掉连接条23与感应线圈21的连接柱固定相连的螺钉，而螺钉的拆卸和安装相对较麻烦。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种电连接件及等离子体产生装置，在反应腔室维护时可以快速地打开腔体，从而可以提高反应腔室的安装和维护效率。为解决上述问题之一，本技术提供了一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接；包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；所述第二连接柱与所述本体电连接；所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。优选地，在所述本体上还设置有第二孔，且在所述第二孔的侧壁上设置有用于放置第二弹性件的第二凹部，所述第二连接柱可插入所述第二孔内和自所述第二孔内拔出，在所述第二连接柱插入所述第二孔内时所述第二弹性件被压缩在所述第二连接柱和所述第二凹部之间，从而固定所述第二连接柱；所述第二弹性件与所述第二连接柱和所述本体电连接。优选地，所述第一孔为通孔，所述第一凹部设置在所述通孔的侧壁上；在所述通孔的侧壁上还设置有用于放置第二弹性件的第二凹部；所述第一凹部和所述第二凹部沿所述通孔的轴向间隔设置；所述第一连接柱和所述第二连接柱分别可自所述通孔的两端插入所述通孔内和自所述通孔的两端拔出；所述第二弹性件与所述第二连接柱和所述本体电连接；在所述第二连接柱插入所述通孔内时所述第二弹性件被压缩在所述第二连接柱和所述第二凹部之间，从而固定所述第二连接柱。优选地，所述本体采用导电材料制成。优选地，所述第一弹性件采用导电材料制成。优选地，所述第二弹性件采用导电材料制成。优选地，所述第一凹部数量为至少两个，至少两个所述第一凹部沿所述第一孔的周向间隔且均匀设置；所述第一弹性件与所述第一凹部一一对应设置。优选地，所述第二凹部的数量为至少两个，至少两个所述第二凹部沿所处的所述第一孔或所述通孔的周向间隔且均匀设置；所述第二弹性件与所述第二凹部一一对应设置。优选地，所述第一弹性件为鼓形弹簧；所述鼓形弹簧包括沿所述第一孔的轴向分布的多个叶片；每个所述叶片的形状为曲面，所述叶片相对的两端分别用于作为与受力面线接触的接触端。优选地，所述第二弹性件为鼓形弹簧；所述鼓形弹簧包括沿所处的所述第二孔或通孔的轴向分布的多个叶片；每个所述叶片的形状为曲面，所述叶片相对的两端分别用于作为与受力面线接触的接触端。本技术还提供一种等离子体产生装置，包括感应线圈、匹配器和电连接件，所述感应线圈通过所述匹配器与射频电源相连；所述电连接件电连接所述感应线圈引出的第一连接柱和所述匹配器引出的第二连接柱，电连接件采用上述的电连接件。本技术具有以下有益效果：本技术中，借助第二连接柱与本体电连接；第一弹性件均与第一连接柱和本体电连接，可实现第一连接柱和第二电连接柱电连接，在此基础上，借助第一连接柱插入第一孔内和自第一孔内拔出，可以实现采用插入和拔出的方式固定和拆卸第一连接柱，这与现有技术中采用螺钉方式固定相比，固定和拆卸过程相对较简单，因此，在反应腔室维护时可以快速地打开腔体，从而可以提高反应腔室的安装和维护效率。附图说明图1为现有的电感耦合等离子体腔室的结构示意图；图2a为本技术实施例1提供的电连接件在使用时的结构示意图；图2b为图2a所示的电连接件在第一连接柱拆卸后的状态图；图3为图2a和图2b中本体的结构示意图；图4为图3中第一弹性件或第二弹性件的立体示意图；图5为本技术实施例3提供的反应腔室的结构示意图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图来对本技术提供的电连接件及等离子体产生装置进行详细描述。实施例1图2a为本技术实施例1提供的电连接件在使用时的结构示意图；图2b为图2a所示的电连接件在第一连接柱拆卸后的状态图；图3为图2a和图2b中本体的结构示意图；请一并参阅图2a、图2b和图3，本技术实施例提供的电连接件40，用于使第一连接柱30和第二连接柱31电连接；在本实施例中，具体地，第一连接柱30可以为但不限于感应线圈21引出的连接柱；第二连接柱31可以为但不限于匹配器22引出的连接柱。具体地，电连接件40包括本体401，本体401上设置有第一孔4011，且在第一孔4011的侧壁上设置有用于放置第一弹性件402的第一凹部4012，第一连接柱30可插入第一孔4011内和自第一孔4011内拔出，在第一连接柱30插入第一孔4011内时第一弹性件402被压缩在第一连接柱30和第一凹部4012之间，从而固定第一连接柱30；第二连接柱31与本体401电连接；第一弹性件402与第一连接柱30和本体401电连接。本技术提供的电连接，借助第二连接柱31与本体401电连接；第一弹性件402与第一连接柱30和本体401电连接，可实现第一连接柱30和第二电连接柱31电连接，在此基础上，借助第一连接柱30插入第一孔4011内和自第一孔4011内拔出，可以实现采用插入和拔出的方式固定和拆卸第一连接柱30，这与现有技术中采用螺钉方式固定相比，固定和拆卸过程相对较简单，因此，在反应腔室维护时可以快速地打开腔体，从而可以提高反应腔室的安装和维护效率。在本实施例中，为实现第一连接柱30和第二连接柱31电连接，优选地，本体401采用导电材料制成；第一弹性件402采用导电材料制成，这样，第一连接柱30与本体401电连接，而第二连接柱31和本体401也电连接，因此，可以实现第一连接柱30和第二连接柱31电连接。借助本体401和第一弹性件402采用导电材料制成实现第一连接柱30和第二连接柱31电连接，使得电连接件40的结构相对简单。具体地，导电材料包括但不限于铜、铝和铁等。在本实施例中，优选地，第一孔4011为通孔，即，贯穿本体401的孔；在此情况下，第一凹部4012设置在通孔的侧壁上；在通孔的侧壁上还设置有用于放置第二弹性件403的第二凹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接；其特征在于，包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；所述第二连接柱与所述本体电连接；所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。

【技术特征摘要】
1.一种电连接件，用于使第一连接柱和第二连接柱电连接；其特征在于，包括本体，所述本体上设置有第一孔，且在所述第一孔的侧壁上设置有用于放置第一弹性件的第一凹部，所述第一连接柱可插入所述第一孔内和自所述第一孔内拔出，在所述第一连接柱插入所述第一孔内时所述第一弹性件被压缩在所述第一连接柱和所述第一凹部之间，从而固定所述第一连接柱；所述第二连接柱与所述本体电连接；所述第一弹性件与所述第一连接柱和所述本体电连接。2.根据权利要求1所述的电连接件，其特征在于，在所述本体上还设置有第二孔，且在所述第二孔的侧壁上设置有用于放置第二弹性件的第二凹部，所述第二连接柱可插入所述第二孔内和自所述第二孔内拔出，在所述第二连接柱插入所述第二孔内时所述第二弹性件被压缩在所述第二连接柱和所述第二凹部之间，从而固定所述第二连接柱；所述第二弹性件与所述第二连接柱和所述本体电连接。3.根据权利要求1所述的电连接件，其特征在于，所述第一孔为通孔，所述第一凹部设置在所述通孔的侧壁上；在所述通孔的侧壁上还设置有用于放置第二弹性件的第二凹部；所述第一凹部和所述第二凹部沿所述通孔的轴向间隔设置；所述第一连接柱和所述第二连接柱分别可自所述通孔的两端插入所述通孔内和自所述通孔的两端拔出；所述第二弹性件与所述第二连接柱和所述本体电连接；在所述第二连接柱插入所述通孔内时所述第二弹性件被压缩在所述第二连接柱和所述第二凹部之间，从而固定所述第二连接柱。4.根据权利要求1-3任意一项所述的电连接件，其特征在于，所述本体采用导电材料制成。5.根据权利要求1所述的电连接件，其特征在于，所述第一弹性件采用导电材料制成。6.根据权利要求2或3所述的电连接件，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑友山，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11