本实用新型专利技术涉及一种蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置。蒸发源装置包括：用于收容蒸镀材料的坩埚和配置在所述坩埚的外侧并用于对所述坩埚进行加热的加热部。所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。
Steam source device, film forming device and manufacturing device of electronic equipment
【技术实现步骤摘要】
蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置
本技术涉及一种蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置，尤其涉及一种能够均匀性高地加热坩埚的蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置。
技术介绍
有机EL显示器等有机电子设备经由使有机材料或金属材料等蒸镀的蒸镀工序而被制造。在蒸镀工序中使用的蒸发源装置具有一个或多个坩埚，通过加热收纳于坩埚内的蒸镀材料，使蒸镀材料的温度上升而使蒸镀材料蒸发或升华(以下简称为“蒸发”)并附着于基板的表面而进行成膜。一般而言，利用真空容器来收容蒸发源(包含蒸镀材料)并执行蒸镀作业。一般而言，真空成膜装置具备真空容器。在真空容器的内部的上部设有基板保持单元和掩模台，在真空容器的底面设有蒸发源装置。蒸发源装置包括：用于收纳在基板上成膜的蒸镀材料的坩埚、加热器等。作为蒸发源加热用的热源，一般使用封装加热器。封装加热器具有在管中穿过电热线的管状构造(后文简称为电热管)，通过粘贴而被固定在板上，电热管露出的面与坩埚相向配置。专利文献1公开了一种真空蒸发源，具有坩埚和由电热管构成的加热部。专利文献1的电热管以在电热管和坩埚壁面之间具有空间的方式卷绕在坩埚的周围。具体而言，加热部的电热管露出，在电热管与坩埚之间不存在其他部件。通过电热线通电发出的热加热坩埚，从而对坩埚中收纳的蒸镀材料进行加热并使之蒸发。由于电热管在固定在板上时，彼此之间存在间隙，因此导致坩埚的被加热面与作为热源的电热管之间的距离不均一，从而存在加热均匀性低的问题。现有技术：专利文献1：KR-10-2014-0075382
技术实现思路
本技术是为了解决上述问题而作出的，其目的在于提供一种能够均匀性高地加热坩埚的蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案如下：一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧，并用于对所述坩埚进行加热的加热部，其特征在于，所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。优选的是，所述加热部包括板状部件，所述热辐射面为所述板状部件的一个侧面。优选的是，所述加热部包括热源部件，所述热源部件设置在所述板状部件的背离所述坩埚的一侧或者设置在所述板状部件的内部。优选的是，所述热源部件包括迂回排布的线状热源。优选的是，在所述线状热源中，在相邻部分之间配置有所述板状部件的一部分。优选的是，所述板状部件的背离所述坩埚的一侧设有沟槽，所述线状热源设置在所述沟槽中。优选的是，所述沟槽的深度大于或等于所述线状热源的直径。一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧，并用于对所述坩埚进行加热的加热部，其特征在于，所述加热部具有板状部件和隔着所述板状部件与所述坩埚相向配置的线状热源，所述线状热源嵌入所述板状部件。优选的是，所述板状部件的背离所述坩埚的一侧设有沟槽，所述线状热源设置在所述沟槽中。优选的是，所述线状热源迂回排布。优选的是，在所述线状热源中，在相邻部分之间配置有所述板状部件的一部分。优选的是，所述沟槽的深度大于或等于所述线状热源的直径。优选的是，所述蒸发源装置还具有坩埚，所述坩埚的上表面设有多个用于喷出蒸镀材料的喷嘴。优选的是，所述多个喷嘴被设置成垂直于所述坩埚的上表面。优选的是，所述多个喷嘴被设置成至少最外侧的所述喷嘴朝向外侧倾斜。优选的是，所述多个喷嘴被设置成越趋向中央其倾斜度越小。优选的是，所述多个喷嘴被设置成靠向中央的所述喷嘴垂直于所述坩埚的上表面或与朝向外侧倾斜相反地朝向内侧倾斜。优选的是，所述蒸发源装置还具有坩埚，所述坩埚的上表面设有多个用于喷出蒸镀材料的喷嘴。优选的是，所述多个喷嘴被设置成垂直于所述坩埚的上表面。优选的是，所述多个喷嘴被设置成至少最外侧的所述喷嘴朝向外侧倾斜。优选的是，所述多个喷嘴被设置成越趋向中央其倾斜度越小。优选的是，所述多个喷嘴被设置成靠向中央的所述喷嘴垂直于所述坩埚的上表面或与朝向外侧倾斜相反地朝向内侧倾斜。优选的是，所述热辐射面的至少一部分设有黑色涂层或喷镀有黑色材料。优选的是，所述热辐射面的至少一部分为粗糙面。优选的是，所述热辐射面的至少一部分由高热放射率材料形成。优选的是，所述高热放射率材料为陶瓷或不锈钢。优选的是，所述加热部包括底部加热部和侧部加热部，分别用于对所述坩埚的底壁和侧壁进行加热。优选的是，所述底部加热部设有贯通孔，用于支承所述坩埚的支承部件穿过所述贯通孔。本技术提供一种成膜装置，包括，腔室；和配置在所述腔室中的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置为上述中任一项所述的蒸发源装置。本技术提供一种电子设备的制造装置，其特征在于，具备上述的成膜装置。技术效果根据本技术，能够均匀性高地加热坩埚。附图说明图1为本技术的蒸发源装置的剖视示意图；图2为具有本技术的蒸发源装置的成膜装置的剖视示意图；图3为图2的A-A向视图；图4为加热部的底面侧的俯视图；图5为加热部的侧面侧的侧视图；图6为具有本技术的蒸发源装置的另一实施方式的成膜装置的剖视示意图；图7是示出有机EL显示装置的构造的图。附图标记说明1成膜装置10真空腔室11闸阀20基板30蒸发源装置31坩埚311喷嘴32加热部321板状部件322热源部件323沟槽40蒸发源支承部件401坩埚支承部件402贯通孔60有机EL显示装置70保护层具体实施方式以下，参照附图说明本技术的优选实施方式以及实施例。但是，以下的实施方式以及实施例仅是示例性示出本技术的优选结构，并未将本技术的范围限定于这些结构。首先，参照图1、3～5详细说明本技术的蒸发源装置30。<蒸发源装置>参照图1和图5可知，本技术的蒸发源装置具备用于收容蒸镀材料的坩埚31和配置在坩埚31的外侧并用于对坩埚进行加热的加热部32。在该实施方式中，加热部32包括板状部件321和热源部件322。在本技术中，热源部件322为前述的电热管。板状部件321配置在坩埚31和热源部件322之间。板状部件321的面向坩埚31的外壁面的面作为本技术的热辐射面，而在背离坩埚31的一侧设有沟槽323，在沟槽323中设有热源部件322。参照图5可知，沟槽323在板状部件321的背离坩埚31的一侧迂回排布形成。相应地，设置于沟槽323中的热源部件322也为迂回排布。通过这样的设置，能够提高加热部32整体的加热的均匀性。在本实施方式中，沟槽323的深度大于或等于热源部件322的直径。也就是说，热源部件322以嵌入板状部件321的方式设置于板状部件321。在此处，在相邻的沟槽之间(即相邻的热源部件322)之间配置有板状部件321的一部分。具体而言，在本实施方式中，迂回设置的热源部件322彼此没有接触。为了进一步提高加热部32的热辐射率，可以对板状部件321的热辐射面进行黑色化加工，比如喷涂或喷镀黑色材料以形成黑色涂层，或者可以对板状部件321的热辐射面进行喷丸加工以将热辐射面形成粗糙面。另外，也可以使板状部件321采用高热辐射率材料，比如可以采用陶瓷或不锈钢等。需要说明的是，采用上述加工或材料的部位既可以是板状部件321的与坩埚31相向本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧，并用于对所述坩埚进行加热的加热部，其特征在于，所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。
【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧，并用于对所述坩埚进行加热的加热部，其特征在于，所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热部包括板状部件，所述热辐射面为所述板状部件的一个侧面。3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热部包括热源部件，所述热源部件设置在所述板状部件的背离所述坩埚的一侧或者设置在所述板状部件的内部。4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述热源部件包括迂回排布的线状热源。5.根据权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，在所述线状热源中，在相邻部分之间配置有所述板状部件的一部分。6.根据权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，所述板状部件的背离所述坩埚的一侧设有沟槽，所述线状热源设置在所述沟槽中。7.根据权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于，所述沟槽的深度大于或等于所述线状热源的直径。8.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还具有坩埚，所述坩埚的上表面设有多个用于喷出蒸镀材料的喷嘴。9.根据权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于，所述多个喷嘴被设置成垂直于所述坩埚的上表面。10.根据权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于，所述多个喷嘴被设置成至少最外侧的所述喷嘴朝向外侧倾斜。11.根据权利要求10所述的蒸发源装置，其特征在于，所述多个喷嘴被设置成越趋向中央其倾斜度越小。12.根据权利要求10所述的蒸发源装置，其特征在于，所述多个喷嘴被设置成靠向中央的所述喷嘴垂直于所述坩埚的上表面或与朝向外侧倾斜相反地朝向内侧倾斜。13.根据权利要求1-12中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，所述热辐射面的至少一部分设有黑色涂层或喷镀有黑色材料。14.根据权利要求1-12中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，所述热辐射面的至少一部分为粗糙面。15.根据权利要求1-12中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，所述热辐射面的至少一部分由高热放射率材料形成。16.根据权利要求15所述的蒸发源装置，其特征在于，所述高热放射率材料为陶瓷或不锈钢。17.根据权利要求1-12中任一项所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热部包括底部加热部和侧部加热部，分别用于对所述坩埚的底壁和侧壁进行加热。18.根据权利要求17所述的蒸发源装置，其特征在于，所述底部加热部设有贯通孔，用于支承所述坩埚的支承部件穿过所述贯通孔。19.一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：田村博之，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP
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