本发明专利技术提供一种蒸发装置，其目的在于向长度方向释出均匀的蒸镀物。该蒸发装置是通过通电至配置于长条的坩锅（１０）的上部的电热加热器（１２），收纳于坩锅（１０）内，且将设置于电热加热器（１２）的下方的蒸发材料予以加热，而使气化的蒸镀材料从所通过的电热加热器（１２）的开口释出。对于该坩锅（１０）的外部施有金属涂层（２５），藉此，即可减少辐射至坩锅（１０）的外部的热，且可以较高效率将电热加热器（１２）所产生的热利用于蒸发材料的升温。因此，可使长条坩锅（１０）内的加热得以有效率，且达到内部温度均匀化的目的。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于一种用以将蒸发材料予以加热蒸发的蒸发装置。
技术介绍
长期以来，已将蒸镀(尤其是真空蒸镀，vacuum deposition)广泛地运用在利用各种物质的薄膜形成。例如，正以成为新世代的平板显示器(flat display)而取代液晶显示器之势而深受瞩目，并于目前正进行实用化阶段研究的有机电场发光(Electroluminescence；以下称EL)显示器而言，在用于形成于其显示器面板的有机EL组件的发光层等的有机薄膜及金属电极层的形成上，即利用上述真空蒸镀。在真空蒸镀装置中，是在真空的蒸镀室内配置具有优异耐热性与化学稳定性的坩锅，且将置入于坩锅内的蒸镀材料(蒸发材料)予以加热使其蒸发，而于被蒸镀物形成蒸镀层。在熟知的真空蒸镀装置中，是利用单一且为点状的蒸镀源作为蒸镀源，由此蒸镀源(蒸发装置)呈放射状将蒸镀材料喷镀于被蒸镀物表面，而于该被蒸镀表面形成层膜。然而，由于显示器对于大面积化的要求日益增加，有机EL显示器也不例外。因此，用于有机EL显示器的蒸镀装置，需与用以形成组件的面板基板的大面积化相适应，换言的，即必须适应蒸镀面积的增加。另一方面，例如，在中型、小型面板中，大多是在1片大型基板(母基板)同时形成多个面板，并于其后进行切离成个别面板的所谓的一次多面。在通过此种一次多面所制造的中型、小型面板中，为了更进一步降低其制造成本，故要求将1片母基板加以大型化，且增加可同时制造的面板数，而在此时，亦需对较大的整体母基板进行蒸镀，而需要适应蒸镀面积的增大。如以上所述需对大面积进行蒸镀时，以上述单一点状蒸镀源而言，由于从蒸镀源到膜形成位置间的距离会因为被蒸镀对象基板的位置而有显著不同，故难以在基板上形成均匀的蒸镀层。对于这一点，在例如专利文献特开2001-247959号公报中，即提出一种采用长条的蒸镀源，即所谓的线性源(linear source)作为蒸镀源的方案。再者，通过采用线性源，原理上即可缩小基板的各位置与线性源的距离的差距，而可使对于大面积基板上的蒸镀条件更为均匀。在显示器中，由于发光亮度及发光色的不均匀会使显示品质受到极大损害，因此在有机EL显示器上对于发光亮度等的均匀化亦有极为强烈的要求。如上所述，在制造有机EL显示器之际，虽是采用真空蒸镀法来制造发光层、电荷传输层、电荷注入层等的有机层及金属电极等，但有机层是非常薄的膜，膜厚的不均匀对于发光亮度及发光色的不均匀所造成的影响极大。而且，由于有机层是形成于阳极与阴极的层间，故其厚度产生不均匀时将易于产生因为阳极与阴极间的短路等所导致的显示缺陷。因此，用于制造例如此种有机EL显示器等的蒸镀装置，是要求对于广泛的面积形成精密度极佳的蒸镀层。在制造有机EL组件之际，如采用上述的线性源，则易于对大面积基板进行蒸镀。但是，即使单纯采用线性源而蒸镀形成组件的有机层等，所获得的有机EL组件的特性亦有极大的不均匀，故无法满足有机EL显示器于实用化之际对于均匀性的要求。
技术实现思路
本申请人针对此组件特性不均匀的原因加以调查研究，结果发现，将蒸镀源作成长条的线性源时，蒸镀物质在该长度方向不均匀的释出会造成极大影响。因此，要对于较广的蒸镀面形成均质的蒸镀层，则必需通过使线性源的长度方向的整个位置均匀地释出蒸镀材料来实现。有鉴于此，本专利技术提供了一种蒸镀装置，可由长条的坩锅的各位置均匀地释出蒸镀材料。本专利技术是一种蒸发装置，包括上部开放且收容蒸发材料的细长的长条坩锅；以及覆盖前述长条坩锅的上部开放部，且通过通电而发热，并将前述长条坩锅内的前述蒸发材料加热，并具有可使由于加热而气化的前述蒸发材料通过的开口的电热加热器，其特征为对于前述长条坩锅的外面施以金属涂层。如此，由于对于坩锅施以金属涂层，故从坩锅向外部辐射的热即减少，且电热加热器具有较高的发热效率，可使蒸发材料升温。因此，即使不将电热加热器的温度增高至超过必要温度，亦可进行蒸发材料的蒸发，并可提高坩锅内部温度的均匀性。再者，由于坩锅的温度均匀，因此蒸镀材料将在坩锅内向长度方向均匀地气化，且从电热加热器的开口遍及长度方向而均匀地将蒸发物释出。通过将此蒸发装置相对于基板，并朝与坩锅的长度方向垂直的方向移动，即可将蒸发物均匀地涂层于基板上，且可形成均匀厚度的薄膜。此外，在本专利技术的另一实施方式中，前述金属涂层是以铝材为较佳。铝材由于反射率较佳，故可将辐射热有效地蓄存于坩锅内，而且由于热传导率较佳，因此可将坩锅整体予以均匀的加热。此外，亦具有廉价并可通过加热而易于熔射(将熔融金属喷射形成层膜)的优点。此外，在本专利技术的其它实施方式中，前述金属涂层是以从坩锅底到与坩锅侧壁大约一致的高度实施者为较佳。此外，在本专利技术的其它实施方式中，前述金属涂层是以通过熔射而形成者为较佳。此外，本专利技术的其它实施方式中，是关于利用上述的蒸发装置，而将蒸发装置所蒸发的蒸发物予以蒸镀于对象物的蒸镀装置。此外，在本专利技术的其它实施方式中，具备上部开放且收容蒸发材料的细长的长条坩锅；覆盖前述长条坩锅的上部开放部，且通过通电而发热，并将前述长条坩锅内的前述蒸发材料加热，并具备可使由于加热而气化的前述蒸发材料通过的开口的电热加热器；以及将此电热加热器按压于前述长条坩锅而予以固定的固定构件；同时，对于前述长条坩锅的外面施以金属涂层，且在前述固定构件与前述电热加热器的间配置角材，该角材沿着前述长条坩锅的长度方向具有符合前述长条坩锅的上面侧部与侧面上部的面部份，而且至少该表面具有绝缘性，并经由前述角材而使前述固定构件所产生的按压力作用于前述电热加热器，以将前述电热加热器紧密接合于前述长条坩锅。此外，在本专利技术的其它实施方式中，上述蒸发装置的前述角材的沿长条坩锅的长度方向的长度，较用以按压前述角材的前述固定构件的按压部更长。此外，在本专利技术的其它实施方式中，上述蒸发装置的前述角材也可以由较前述固定构件的热传导率更低的材料来构成。综上所述，根据本专利技术，对于长条坩锅施以金属涂层，因此由坩锅辐射至外部的热量被减少，且电热加热器所产生的热量以极高效率用于使蒸发材料升温。因此，即使不将电热加热器的温度增高到超过所需温度，亦可将蒸发材料予以加热、蒸发，且提高坩锅内部的温度的均匀性。而且，由于坩锅的温度均匀，而使蒸镀材料在坩锅内朝长度方向均匀地气化，且从电热加热器的开口遍及长度方向均匀地释出蒸发物。通过将此蒸发装置相对于基板朝与坩锅的长度方向垂直的方向移动，即可在基板形成均匀的薄膜。此外，根据本专利技术，由于是通过绝缘性的角材来将固定构件与电热加热器予以绝缘，故可防止电热加热器与电连接于固定构件的金属涂层之间产生电连接，同时可防止电流流动于金属涂层而产生发热或变质。附图说明图1是显示与本专利技术的实施方式有关的蒸发装置的整体构成图。图2是显示覆盖坩锅的开口的电热加热器的构造剖面图。图3是显示图2中坩锅与电热加热器的咬合部的放大图。图4是显示L字型角材对于电热加热器12的侧端部(角部)的配置图。图5是显示L字型角材的形状的立体图。图6是显示通过夹具而将电热加热器、以及L字型角材加以固定的剖面图。图7是显示夹具的形状的立体图。图8是显示施以金属涂层的坩锅立体图。图9是显示对于坩锅施以金属涂层的高度的坩锅侧面图。图10是显示在真空处理室内的蒸发装置的构成图。图11是显示对于透过连接本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种蒸发装置，包括：上部开放且收容蒸发材料的细长的长条坩锅；以及覆盖前述长条坩锅的上部开放部，且利用通电而发热，将前述长条坩锅内的前述蒸发材料加热，并具备可使由于加热而气化的前述蒸发材料通过的开口的电热加热器，其特征为： 对于前述长条坩锅的外面施以金属涂层。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：远藤铁郎，岩濑博俊，加藤晴三，落合真世，
申请(专利权)人：三洋电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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