下载蒸发装置的技术资料

文档序号:1807228

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本发明提供一种蒸发装置,其目的在于向长度方向释出均匀的蒸镀物。该蒸发装置是通过通电至配置于长条的坩锅(10)的上部的电热加热器(12),收纳于坩锅(10)内,且将设置于电热加热器(12)的下方的蒸发材料予以加热,而使气化的蒸镀材料从所通过的...
该专利属于三洋电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三洋电机株式会社授权不得商用。

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