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本实用新型涉及一种蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置。蒸发源装置包括：用于收容蒸镀材料的坩埚和配置在所述坩埚的外侧并用于对所述坩埚进行加热的加热部。所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的...
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