蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法，该蒸镀装置包括：蒸发源以及至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件和第二加热件，第一加热件和第二加热件用于围设成容纳腔，蒸发源设置在容纳腔内；至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使至少两组加热组件可替换地合围于蒸发源周侧。当一组加热组件发生故障时，使发生故障的加热组件的第一加热件和第二加热件彼此分离，之后将另一组加热组件中的第一加热件和第二加热件围设在蒸发源的周围，以继续对蒸发源加热，不会终止对蒸发源的加热，进而保证生产进程。

Application Method of Evaporating Plating Device and Evaporating Plating Device

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法。
技术介绍
在显示面板的制备过程中，部分功能膜层的制备一般是通过蒸镀的方式形成的，蒸镀是将蒸镀材料放置在真空环境中加热，使之气化并沉积到基片表面上而获得固体薄膜的方法，因此，如何使蒸镀材料气化，进而形成镀层成为研究的热点。在进行蒸镀时，常通过蒸镀装置对蒸镀材料进行加热，以使蒸镀材料气化。蒸镀装置包括筒体、加热丝以及蒸发源，蒸发源设置在筒体内，加热丝设置在筒体的内壁上，并且加热丝环绕蒸发源设置。使用时，蒸镀材料放置在蒸发源内，加热丝对蒸发源进行加热，以使蒸发源内的蒸镀材料气化。然而，在使用一段时间后，加热丝会发生损坏，此时需要更换加热丝，而停止对蒸发源加热，导致蒸镀终止。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法，以解决在使用一段时间后，加热丝会发生损坏，此时需要更换加热丝，而停止对蒸发源加热，导致蒸镀终止的技术问题。本专利技术提供了一种蒸镀装置，包括：蒸发源以及至少两组加热组件，每组所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件和所述第二加热件用于围设成容纳腔，所述蒸发源设置在所述容纳腔内；所述至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使所述至少两组加热组件可替换地合围于所述蒸发源周侧。如上所述的蒸镀装置，可选地，所述蒸镀装置还包括至少两个移动系统，每个所述移动系统与一组所述加热组件连接，以驱动所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件互相靠近或者彼此分离。如上所述的蒸镀装置，可选地，每个所述移动系统包括第一驱动装置、第二驱动装置、至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆；所述加热组件中的所述第一加热件上设置有至少一个第一驱动螺纹孔，所述第一驱动装置与各所述第一驱动螺杆传动连接，且一个所述第一驱动螺杆与一个所述第一驱动螺纹孔配合；所述加热组件中的所述第二加热件上设置有至少一个第二驱动螺纹孔，所述第二驱动装置与各所述第二驱动螺杆传动连接，且一个所述第二驱动螺杆与一个所述第二驱动螺纹孔配合。如上所述的蒸镀装置，可选地，所述蒸镀装置还包括沿第一方向设置的第一滑轨和沿第二方向设置的第二滑轨，所述至少两组加热组件为两组，第一组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件滑设在所述第一滑轨上，第二组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件滑设在所述第二滑轨上。如上所述的蒸镀装置，可选地，每个所述移动系统包括至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆；且所述第一驱动螺杆中的至少一个复用为与相应加热件配合使用的滑轨，所述第二驱动螺杆中的至少一个复用为与相应加热件配合使用的滑轨。如上所述的蒸镀装置，可选地，每组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件上均设置有容置槽，每组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件上的所述容置槽围设成所述容纳腔；其中，所述容纳腔的内壁与所述蒸发源的外壁曲度匹配。如上所述的蒸镀装置，可选地，所述蒸发源具有蒸发端，所述蒸发端与所述加热组件的顶端平齐，或者所述蒸发源的蒸发端相对于所述加热组件的顶端凸出设置。如上所述的蒸镀装置，可选地，所述容置槽内壁上设置有加热丝，以对所述蒸发源加热。本专利技术实施例还提供一种蒸镀装置的使用方法，包括：通过蒸镀装置进行蒸镀，所述蒸镀装置包括蒸发源以及至少两组加热组件，每组所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件和所述第二加热件用于围设成容纳腔，所述蒸发源设置在所述容纳腔内；所述至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使所述至少两组加热组件可替换地合围于所述蒸发源周侧；当一组所述加热组件发生故障时，使该所述加热组件的所述第一加热件与所述第二加热件分离，之后使另一组所述加热组件的所述第一加热件与所述第二加热件合围在所述蒸发源的周侧。如上所述的蒸镀装置的使用方法，可选地，一组所述加热组件的所述第一加热组件和所述第二加热组件对所述蒸发源加热的同时，其余所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件进行预热。本专利技术提供的蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法，通过设置至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件和第二加热件，第一加热件和第二加热件用于围设成容纳腔，蒸发源设置在容纳腔内；各组加热组件分别沿不同方向可移动的设置；当一组加热组件发生故障时，使发生故障的加热组件的第一加热件和第二加热件彼此分离，之后将另一组加热组件中的第一加热件和第二加热件围设在蒸发源的周围，以继续对蒸发源加热，不会终止对蒸发源的加热，蒸镀不会停止。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的蒸镀装置中各第一加热件和第二加热件彼此远离时的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的蒸镀装置中一组加热组件中的第一加热件和第二加热件彼此靠近时的结构示意图。附图标记说明：10：第一加热件；20：第二加热件；30：蒸发源；40：第一滑轨；50：第二滑轨；60：容置槽；401：第一驱动装置；402：第二驱动装置。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例1图1为本专利技术实施例提供的蒸镀装置中各第一加热件和第二加热件彼此远离时的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的蒸镀装置中一组加热组件中的第一加热件和第二加热件彼此靠近时的结构示意图。请参照图1和图2。本实施例提供一种蒸镀装置，包括：蒸发源30以及至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件10和第二加热件20，第一加热件10和第二加热件20用于围设成容纳腔，蒸发源30设置在容纳腔内，至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使至少两组加热组件可替换地合围于蒸发源30周侧。本实施例中对第一加热件10和第二加热件20的形状不做限制，只要能够保证第一加热件10和第二加热件20组合时，第一加热件10和第二加热件20能够围成用于容置蒸发源30的容纳腔即可，以对蒸发源30进行加热。在一个可实现的方式中，每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上均设置有容置槽60，每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60围设成容纳腔，蒸发源30设置在容纳腔内；其中容纳腔的内壁与蒸发源30的外壁曲度匹配。以保证蒸发源30的受热均匀。示例性的，蒸发源30可以呈长方体状，相应的容纳腔也呈长方体状，并且蒸发源30的一个侧面与容纳腔的一个侧面对应。在其他实现方式中，每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上均设置有容置槽60，每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60围设成容纳腔；每组加热组件中的第一加热件10和第二加热件20上的容置槽60侧壁均为曲面，以使容纳腔的侧壁为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发源以及至少两组加热组件，每组所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件和所述第二加热件用于围设成容纳腔，所述蒸发源设置在所述容纳腔内；所述至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使所述至少两组加热组件可替换地合围于所述蒸发源周侧。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发源以及至少两组加热组件，每组所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件和所述第二加热件用于围设成容纳腔，所述蒸发源设置在所述容纳腔内；所述至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使所述至少两组加热组件可替换地合围于所述蒸发源周侧。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括至少两个移动系统，每个所述移动系统与一组所述加热组件连接，以驱动所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件互相靠近或者彼此分离。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述移动系统包括第一驱动装置、第二驱动装置、至少一个第一驱动螺杆以及至少一个第二驱动螺杆；所述加热组件中的所述第一加热件上设置有至少一个第一驱动螺纹孔，所述第一驱动装置与各所述第一驱动螺杆传动连接，且一个所述第一驱动螺杆与一个所述第一驱动螺纹孔配合；所述加热组件中的所述第二加热件上设置有至少一个第二驱动螺纹孔，所述第二驱动装置与各所述第二驱动螺杆传动连接，且一个所述第二驱动螺杆与一个所述第二驱动螺纹孔配合。4.根据权利要求2或3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括沿第一方向设置的第一滑轨和沿第二方向设置的第二滑轨，所述至少两组加热组件为两组，第一组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件滑设在所述第一滑轨上，第二组所述加热组件中的所述第一加热件和所述第二加热件滑设在所述第二滑轨上。5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，每个所述移动系统包括至少一个第一驱动螺杆以及至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晃，陈策，王宝友，方刚，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32