一种24源连续有机材料蒸镀装备制造技术

本实用新型专利技术公开一种24源连续有机材料蒸镀装备，包括设备框架，所述设备框架的上端安装有真空舱与触控电脑，且触控电脑位于真空舱一侧边缘位置，所述设备框架的前端安装有分子泵控制器，所述真空舱两侧对称安装有分子泵，所述真空舱的内部底端安装有挡板与电极，所述电极位于挡板的底端两侧，所述挡板上开设有蒸镀源选择孔，所述挡板的底端中间位置连接有一号电机，且一号电机位于设备框架内，所述挡板的正上方安装有上基板；本实用新型专利技术一种24源连续有机材料蒸镀装备能够均匀接受来自不同蒸镀钼舟蒸发上来的分子或原子，并通过有机薄膜的厚度变化趋势以及均匀性来调整蒸镀钼舟的加热温度及加热时间，从而得到目标成分、厚度的有机镀膜。

A 24 source continuous organic material evaporation equipment

【技术实现步骤摘要】
一种24源连续有机材料蒸镀装备
本技术属于多源有机材料蒸镀设备
，更具体的是一种24源连续有机材料蒸镀装备。
技术介绍
当前高校、科研院所及企业在进行薄膜新材料的科研与小批量制备时，采用真空镀膜系统来实现多类薄膜材料的生长，主要有金属蒸镀、有机蒸镀设备。有机蒸镀设备主要用于有机电致发光、照明器件、太阳能电池和半导体工艺研究的最佳设备，工作效率高，具有事半功倍的效果；但现有的有机材料蒸镀设备在使用的过程中存在以下不足：(1)在同一蒸发温度下，合金中各元素的蒸气压不同，因此蒸发速率也不同，会产生分馏现象，往往得不到所希望比例成分的合金或化合物膜；(2)当蒸镀两种或两种以上元素组成的合金或化合物原料时，未必能够获得与原料相同成分的薄膜；(3)当用蒸镀法制备预定成分的合金或化合物薄膜时，需对蒸发源进行改进，如采用瞬间蒸镀法和双蒸发源，有机小分子在蒸发后容易在真空舱体顶部基板上集聚产生局部不均匀现象。
技术实现思路
为了克服上述的技术问题，本技术的目的在于提供一种24源连续有机材料蒸镀装备，通过采用24个有机蒸镀源来实现对上基板材料合金镀膜，能够均匀接受来自不同蒸镀钼舟蒸发上来的分子或原子，并通过有机薄膜的厚度变化趋势以及均匀性来调整蒸镀钼舟的加热温度及加热时间，从而得到目标成分、厚度的有机镀膜。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种24源连续有机材料蒸镀装备，包括设备框架，所述设备框架的上端安装有真空舱与触控电脑，且触控电脑位于真空舱一侧边缘位置，所述设备框架的前端安装有分子泵控制器，所述真空舱两侧对称安装有分子泵，所述真空舱的内部底端安装有挡板与电极，所述电极位于挡板的底端两侧，所述挡板上开设有蒸镀源选择孔，所述挡板的底端中间位置连接有一号电机，且一号电机位于设备框架内，所述挡板的正上方安装有上基板，贯穿真空舱顶部左侧位置连接有膜厚仪探头，且膜厚仪探头伸入至上基板表面，贯穿所述真空舱顶部右侧位置安装有真空规，所述分子泵上安装有插板阀，两组所述插板阀关于真空舱对称设置；所述真空舱后端上安装有活动后舱门，所述真空舱前端上活动安装有前舱门，所述真空舱内部中间位置分布有蒸镀源，所述真空舱一侧开设有备用接口。作为本技术进一步的方案：所述真空舱的正上方安装有二号电机，所述二号电机自上而下依次连接有联轴器、磁流体并贯穿真空舱顶部中间位置连接有上加热板，所述上基板通过二号电机配合上加热板旋转。作为本技术进一步的方案：所述真空舱的上端内壁上安装有O型圈及卡箍，且电极与真空规均通过O型圈及卡箍与真空舱顶部密封连接。作为本技术进一步的方案：所设备框架的背部安装有膜厚仪控制器，且膜厚仪探头与膜厚仪控制器电性连接，所述触控电脑的输出端与膜厚仪控制器、真空规、分子泵控制器及真空舱电性连接。作为本技术进一步的方案：所述挡板的正下方安装有下基板，下基板上设置有24组蒸镀钼舟，且24组蒸镀钼舟上放置有待蒸镀材料，所述挡板的底端安装有下加热板，且挡板及下加热板通过电极与真空舱的底部连接。作为本技术进一步的方案：所述真空舱内安装有高真空机组，所述上基板的上端安装有上加热板。作为本技术进一步的方案：贯穿所述分子泵的内部且靠近真空舱一侧设置有真空管路，所述插板阀与真空管路配合。本技术的有益效果：1、通过采用24个连续有机材料蒸镀源实现对基板材料合金镀膜，能够有效的避免有机小分子在蒸发后容易在真空舱顶部上基板集聚产生局部不均匀现象，且上基板在二号电机的作用下配合靶头进行匀速转动，同时贯穿真空舱顶部左侧安装有膜厚仪探头并伸入到上基板表面，能够实时对上基板膜厚变化及均匀性进行检测，确保镀膜质量。2、通过在挡板上开设有蒸镀源选择孔，能够很好的对待蒸镀材料受热后产生的分子或原子进行选择，从而获取与原料相同成分的薄膜。3、通过高真空机组配合分子泵对真空舱进行抽真空，且真空规能够对真空舱内真空度进行检测，确保真空舱的真空状态，从而使得真空舱在同种蒸发温度下各合金元素的蒸气压保持一致，避免蒸发速率不同，导致产生分馏现象。附图说明下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1是本技术一种24源连续有机材料蒸镀装备的整体结构示意图。图2是本技术一种24源连续有机材料蒸镀装备中真空舱的内部结构示意图。图中1、一号电机；2、电极；3、挡板；4、蒸镀源选择孔；5、上基板；6、膜厚仪探头；7、二号电机；8、真空规；9、插板阀；10、分子泵；11、触控电脑；12、分子泵控制器；13、后舱门；14、备用接口；15、蒸镀源；16、真空舱；17、前舱门；18、上加热板；19、下基板；20、下加热板；21、设备框架。具体实施方式下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-2所示，一种24源连续有机材料蒸镀装备，包括设备框架21，所述设备框架21的上端安装有真空舱16与触控电脑11，且触控电脑11位于真空舱16一侧边缘位置，所述设备框架21的前端安装有分子泵控制器12，所述真空舱16两侧对称安装有分子泵10，所述真空舱16的内部底端安装有挡板3与电极2，所述电极2位于挡板3的底端两侧，所述挡板3上开设有蒸镀源选择孔4，所述挡板3的底端中间位置连接有一号电机1，且一号电机1位于设备框架21内，所述挡板3的正上方安装有上基板5，贯穿真空舱16顶部左侧位置连接有膜厚仪探头6，且膜厚仪探头6伸入至上基板5表面，贯穿所述真空舱16顶部右侧位置安装有真空规8，所述分子泵10上安装有插板阀9，两组所述插板阀9关于真空舱16对称设置；所述真空舱16后端上安装有活动后舱门13，所述真空舱16前端上活动安装有前舱门17，所述真空舱16内部中间位置分布有蒸镀源15，所述真空舱16一侧开设有备用接口14。所述真空舱16的正上方安装有二号电机7，所述二号电机7自上而下依次连接有联轴器、磁流体并贯穿真空舱16顶部中间位置连接有上加热板18，所述上基板5通过二号电机7配合上加热板18旋转。所述真空舱16的上端内壁上安装有O型圈及卡箍，且电极2与真空规8均通过O型圈及卡箍与真空舱16顶部密封连接。所设备框架21的背部安装有膜厚仪控制器，且膜厚仪探头6与膜厚仪控制器电性连接，所述触控电脑11的输出端与膜厚仪控制器、真空规8、分子泵控制器12及真空舱16电性连接。所述挡板3的正下方安装有下基板19，下基板19上设置有24组蒸镀钼舟，且24组蒸镀钼舟上放置有待蒸镀材料，所述挡板3的底端安装有下加热板20，且挡板3及下加热板20通过电极2与真空舱16的底部连接。所述真空舱16内安装有高真空机组，所述上基板5的上端安装有上加热板18。贯穿所述分子泵10的内部且靠近真空舱16一侧设置有真空管路，所述插板阀9与真空管路配合。一种24源连续有机材料蒸镀装备，在工作时，首先，将上基板与下基板分别放置于真空舱内的上加热板与下加热板上，在下基板的24组蒸镀钼舟上分别放置待蒸镀材料，其次，关闭并紧固前舱门与后舱门，通过触控电脑对设备进行操作，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种24源连续有机材料蒸镀装备，其特征在于，包括设备框架(21)，所述设备框架(21)的上端安装有真空舱(16)与触控电脑(11)，且触控电脑(11)位于真空舱(16)一侧边缘位置，所述设备框架(21)的前端安装有分子泵控制器(12)，所述真空舱(16)两侧对称安装有分子泵(10)，所述真空舱(16)的内部底端安装有挡板(3)与电极(2)，所述电极(2)位于挡板(3)的底端两侧，所述挡板(3)上开设有蒸镀源选择孔(4)，所述挡板(3)的底端中间位置连接有一号电机(1)，且一号电机(1)位于设备框架(21)内，所述挡板(3)的正上方安装有上基板(5)，贯穿真空舱(16)顶部左侧位置连接有膜厚仪探头(6)，且膜厚仪探头(6)伸入至上基板(5)表面，贯穿所述真空舱(16)顶部右侧位置安装有真空规(8)，所述分子泵(10)上安装有插板阀(9)，两组所述插板阀(9)关于真空舱(16)对称设置；所述真空舱(16)后端上安装有活动后舱门(13)，所述真空舱(16)前端上活动安装有前舱门(17)，所述真空舱(16)内部中间位置分布有蒸镀源(15)，所述真空舱(16)一侧开设有备用接口(14)。

【技术特征摘要】
1.一种24源连续有机材料蒸镀装备，其特征在于，包括设备框架(21)，所述设备框架(21)的上端安装有真空舱(16)与触控电脑(11)，且触控电脑(11)位于真空舱(16)一侧边缘位置，所述设备框架(21)的前端安装有分子泵控制器(12)，所述真空舱(16)两侧对称安装有分子泵(10)，所述真空舱(16)的内部底端安装有挡板(3)与电极(2)，所述电极(2)位于挡板(3)的底端两侧，所述挡板(3)上开设有蒸镀源选择孔(4)，所述挡板(3)的底端中间位置连接有一号电机(1)，且一号电机(1)位于设备框架(21)内，所述挡板(3)的正上方安装有上基板(5)，贯穿真空舱(16)顶部左侧位置连接有膜厚仪探头(6)，且膜厚仪探头(6)伸入至上基板(5)表面，贯穿所述真空舱(16)顶部右侧位置安装有真空规(8)，所述分子泵(10)上安装有插板阀(9)，两组所述插板阀(9)关于真空舱(16)对称设置；所述真空舱(16)后端上安装有活动后舱门(13)，所述真空舱(16)前端上活动安装有前舱门(17)，所述真空舱(16)内部中间位置分布有蒸镀源(15)，所述真空舱(16)一侧开设有备用接口(14)。2.根据权利要求1所述的一种24源连续有机材料蒸镀装备,其特征在于，所述真空舱(16)的正上方安装有二号电机(7)，所述二号电机(7)自上而下依次连接有联轴器、磁流体并贯穿真空舱...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔令杰，吴克松，李明，李晓丽，陶辉，
申请(专利权)人：合肥百思新材料研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34