The invention provides a single crystal silicon rod turnover device, which is used to solve the technical problem of difficult movement of silicon rod in the production site in the prior art. The single crystal silicon rod turnover device includes transition platform, feeding elevator, buffer line, discharge elevator, tooling and AGV trolley. The empty tooling is placed on the transition platform. The single crystal silicon rod is manually placed in the empty tooling on the transition platform. The feeding elevator moves the tooling with silicon rod on the transition platform to the buffer line, and the single crystal silicon rod is correspondingly placed on the buffer line. After treatment, the single crystal silicon rod treated by the buffer line is moved to the AGV trolley by the discharge elevator, and the AGV trolley is transferred to the corresponding position. Compared with the existing technology, this scheme has the advantages of convenient movement of silicon rods, less manual interference in the movement of single crystal silicon rods, lower labor intensity of operators, less collision during the movement of single crystal silicon rods, and optimized the performance of single crystal silicon rod turnover device.
【技术实现步骤摘要】
单晶硅棒周转器
本专利技术涉及硅棒加工设备配件,尤其涉及单晶硅棒周转器,属于半导体加工领域。
技术介绍
硅片是光伏领域的专用材料,硅片是由硅棒采用多线切割技术切割后形成的。硅棒在加工前需要在生产现场进行多次转运,以对硅棒进行相应的处理。现有技术中硅棒在转运过程中均通过手工搬动的方式移动,这种移动方式一方面造成操作人员劳动强度大,另一方面采用手工搬运的方法移动硅棒存在安全隐患,容易造成硅棒损坏。
技术实现思路
本专利技术提供单晶硅棒周转器,用于解决现有技术中硅棒在生产现场移动困难的技术问题。本专利技术解决上述技术问题所采用的技术方案是:单晶硅棒周转器,包括过渡平台、进料升降机、缓存线、出料升降机、工装和AGV小车;其中,所述工装放置于所述过渡平台上,所述进料升降机将所述过渡平台上的工装移入所述缓存线,所述出料升降机将所述缓存线上的工装移入所述AGV小车,所述工装包括框架,在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。本专利技术所述的单晶硅棒周转器,包括过渡平台、进料升降机、缓存线、出料升降机、工装和AGV小车,空工装放置于过渡平台上,单晶硅棒手工放置于过渡平台上的空工装内,进料升降机将过渡平台上放置有硅棒的工装移动至缓存线,单晶硅棒在缓存线上进行相应的处理后,由出料升降机将经缓存线处理后的单晶硅棒移至AGV小车,并由AGV小车移送至相应的位置。本方案相对于现有技术中采用手工移送硅棒,具有硅棒移动方便,并且,减少了单晶硅棒移动过程中的手工干预,降低了操作人员的劳动强度,单晶硅棒移动过程中不容易被碰撞,优化了单晶硅棒周转器的性能。优选的,所述缓存线包括至少一层将工 ...
【技术保护点】
1.单晶硅棒周转器,其特征是:包括过渡平台(1)、进料升降机(2)、缓存线(3)、出料升降机(4)、工装(5)和AGV小车(6);其中,所述工装(5)放置于所述过渡平台(1)上,所述进料升降机(2)将所述过渡平台(1)上的工装(5)移入所述缓存线(3),所述出料升降机(4)将所述缓存线(3)上的工装(5)移入所述AGV小车(6),所述工装(5)包括框架,在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。
【技术特征摘要】
1.单晶硅棒周转器,其特征是:包括过渡平台(1)、进料升降机(2)、缓存线(3)、出料升降机(4)、工装(5)和AGV小车(6);其中,所述工装(5)放置于所述过渡平台(1)上,所述进料升降机(2)将所述过渡平台(1)上的工装(5)移入所述缓存线(3),所述出料升降机(4)将所述缓存线(3)上的工装(5)移入所述AGV小车(6),所述工装(5)包括框架,在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。2.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器,其特征是:所述缓存线(3)包括至少一层将工装(5)由进料升降机(2)方向传送至出料升降机(4)方向的满载线(7)和将工装(5)由出料升降机(4)方向传送至进料升降机(2)方向的空载线(8)。3.根据权利要求2所述的单晶硅棒周转器,其特征是:所述缓存线(3)包括缓存架(9),所述满载线(7)和所述空载线(8)均为设置于所述缓存架(9)上的回转式传送机。4.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器,其特征是:所述进料升降机(2)包括机架(10),在所述机架(10)上设置有进料传送机构(11),所述进料传送机构(11)相对于所述机架(10)上下移动,所述进料传送机构(11)延伸至所述缓存线(3),以将进料升降机(2)上的工装(5)转存至所述缓存线(3)。5.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器,其特征是:所述出料升降机(4)包括架体(12),在所述架体(12)上设置有出料传送机构(13),所述出料传送机构(13)相对于所述架体(12)上下移动,所述出料传送机构(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶欣,汪辉,金光前,朱国旺,吕斌龙,洪昀,
申请(专利权)人:杭州中为光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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