单晶硅棒周转器制造技术

技术编号:20124287 阅读:33 留言:0更新日期:2019-01-16 13:20
本发明专利技术提供单晶硅棒周转器,用于解决现有技术中硅棒在生产现场移动困难的技术问题。本发明专利技术所述的单晶硅棒周转器,包括过渡平台、进料升降机、缓存线、出料升降机、工装和AGV小车,空工装放置于过渡平台上,单晶硅棒手工放置于过渡平台上的空工装内,进料升降机将过渡平台上放置有硅棒的工装移动至缓存线,单晶硅棒在缓存线上进行相应的处理后,由出料升降机将经缓存线处理后的单晶硅棒移至AGV小车,并由AGV小车移送至相应的位置。本方案相对于现有技术中采用手工移送硅棒,具有硅棒移动方便,并且,减少了单晶硅棒移动过程中的手工干预,降低了操作人员的劳动强度,单晶硅棒移动过程中不容易被碰撞,优化了单晶硅棒周转器的性能。

Single Crystal Silicon Rod Turnover

The invention provides a single crystal silicon rod turnover device, which is used to solve the technical problem of difficult movement of silicon rod in the production site in the prior art. The single crystal silicon rod turnover device includes transition platform, feeding elevator, buffer line, discharge elevator, tooling and AGV trolley. The empty tooling is placed on the transition platform. The single crystal silicon rod is manually placed in the empty tooling on the transition platform. The feeding elevator moves the tooling with silicon rod on the transition platform to the buffer line, and the single crystal silicon rod is correspondingly placed on the buffer line. After treatment, the single crystal silicon rod treated by the buffer line is moved to the AGV trolley by the discharge elevator, and the AGV trolley is transferred to the corresponding position. Compared with the existing technology, this scheme has the advantages of convenient movement of silicon rods, less manual interference in the movement of single crystal silicon rods, lower labor intensity of operators, less collision during the movement of single crystal silicon rods, and optimized the performance of single crystal silicon rod turnover device.

【技术实现步骤摘要】
单晶硅棒周转器
本专利技术涉及硅棒加工设备配件,尤其涉及单晶硅棒周转器,属于半导体加工领域。
技术介绍
硅片是光伏领域的专用材料,硅片是由硅棒采用多线切割技术切割后形成的。硅棒在加工前需要在生产现场进行多次转运,以对硅棒进行相应的处理。现有技术中硅棒在转运过程中均通过手工搬动的方式移动,这种移动方式一方面造成操作人员劳动强度大,另一方面采用手工搬运的方法移动硅棒存在安全隐患,容易造成硅棒损坏。
技术实现思路
本专利技术提供单晶硅棒周转器,用于解决现有技术中硅棒在生产现场移动困难的技术问题。本专利技术解决上述技术问题所采用的技术方案是:单晶硅棒周转器,包括过渡平台、进料升降机、缓存线、出料升降机、工装和AGV小车;其中,所述工装放置于所述过渡平台上,所述进料升降机将所述过渡平台上的工装移入所述缓存线,所述出料升降机将所述缓存线上的工装移入所述AGV小车,所述工装包括框架,在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。本专利技术所述的单晶硅棒周转器,包括过渡平台、进料升降机、缓存线、出料升降机、工装和AGV小车,空工装放置于过渡平台上,单晶硅棒手工放置于过渡平台上的空工装内,进料升降机将过渡平台上放置有硅棒的工装移动至缓存线,单晶硅棒在缓存线上进行相应的处理后,由出料升降机将经缓存线处理后的单晶硅棒移至AGV小车,并由AGV小车移送至相应的位置。本方案相对于现有技术中采用手工移送硅棒,具有硅棒移动方便,并且,减少了单晶硅棒移动过程中的手工干预,降低了操作人员的劳动强度,单晶硅棒移动过程中不容易被碰撞,优化了单晶硅棒周转器的性能。优选的,所述缓存线包括至少一层将工装由进料升降机方向传送至出料升降机方向的满载线和将工装由出料升降机方向传送至进料升降机方向的空载线。至少一层满载线使得缓存线可以缓存更多的单晶硅棒,优化了单晶硅棒周转器的性能。空载线的设置主要用于将空的工装运送至靠近进料升降机的一端,空的工装无需手工传送,降低了操作人员的劳动强度。优选的,所述缓存线包括缓存架,所述满载线和所述空载线均为设置于所述缓存架上的回转式传送机。简化了缓存线的结构,降低了缓存线的制造成本。优选的,所述进料升降机包括机架,在所述机架上设置有进料传送机构,所述进料传送机构相对于所述机架上下移动,所述进料传送机构延伸至所述缓存线,以将进料升降机上的工装转存至所述缓存线。进料机构延伸至缓存线内,简化了单晶硅棒周转器的结构,降低了单晶硅棒周转器的加工成本。优选的,所述出料升降机包括架体,在所述架体上设置有出料传送机构,所述出料传送机构相对于所述架体上下移动,所述出料传送机构延伸至所述缓存线,以将缓存线上的工装传送至所述AGV小车。简化了单晶硅棒周转器的结构,进而降低了单晶硅棒周转器的使用成本。优选的,所述进料传送机构包括滑动连接于所述机架上的传送架,在所述传送架上设置有传送带,在所述机架上设置有导轨,在所述传送架上设置有与所述导轨配合的滑槽,在所述机架上设置有带动所述传送架沿所述导轨移动的传动链,在所述机架上设置有与所述传动链配合的主动链轮、从动链轮,所述主动链轮由固定在机架上的电机驱动转动。导轨及滑槽的设置使得传送架具有较高的移动精度,进而优化了单晶硅棒周转器的性能。采用链传动带动传送架移动,降低了进料传送机构的制造成本。优选的,在所述架体上设置有识别标签,所述AGV小车上设置有识别所述识别标签的识别器,所述识别器识别所述识别标签以校正所述AGV小车相对于所述架体的位置。识别标签及识别器的设置提高了AGV小车的位置精度,进而提高了单晶硅棒周转器的精度。优选的,所述缓冲层为粘接于框架上PVC板。工装结构合理,有效地避免了单晶硅棒脱离工装,提高了单晶硅棒周转器的稳定性。优选的,所述过渡平台包括放置架和垫脚,所述垫脚通过螺杆设置于所述放置架上,所述垫脚与所述螺杆为一体式结构,在所述放置架上设置有与所述螺杆配合的螺孔,在所述螺杆上还设置有锁紧螺母,所述锁紧螺母抵紧所述放置架以将所述螺杆锁紧在所述螺孔内。过渡平台的高度可以调节,优化了过渡平台的性能。锁紧螺母的设置提高了过渡平台的稳定性。优选的,在所述锁紧螺母上一体式设置有便于旋转所述锁紧螺母的手柄,在所述手柄上套设有橡胶套。锁紧螺母锁紧操作方便,优化了过渡平台的操作性能。本专利技术同现有技术相比具有以下优点及效果:1、进料升降机、出料升降机、缓存线的设置使得单晶硅棒在移动过程中不需要过多的人工干预,进而降低了操作人员的劳动强度,并且,由于减少了人工干预,有效地避免了单晶硅棒在移动过程中由于操作人员操作失误而造成单晶硅棒损坏。2、缓冲层的设置可以有效地避免工装损坏单晶硅棒,优化了工装的性能。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的结构示意图。图2为过渡平台与进料升降机装配后的示意图。图3为出料升降机的示意图。标号说明:1、过渡平台,2、进料升降机,3、缓存线,4、出料升降机,5、工装,6、AGV小车,7、满载线,8、空载线,9、缓存架,10、机架,11、进料传送机架,12、架体,13、出料传送机构,14、放置架,15、垫脚,16、螺杆。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术做进一步的详细说明,以下实施例是对本专利技术的解释而本专利技术并不局限于以下实施例。实施例1如图1,单晶硅棒周转器,包括过渡平台1、进料升降机2、缓存线3、出料升降机4、工装5和AGV小车6;其中,所述工装5放置于所述过渡平台1上,所述进料升降机2将所述过渡平台1上的工装5移入所述缓存线3,所述出料升降机4将所述缓存线3上的工装5移入所述AGV小车6,所述工装5包括框架,在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。本实施例中单晶硅棒的周转过程如下:a、将空的工装5放置于过渡平台1上。b、操作人员手工将单晶硅棒放置于位于过渡平台1上的空工装5内。c、进料升降机2将过渡平台1上装有硅棒的工装5转移至缓存线3上,缓存线3对装有硅棒的工装5进行相应的处理,例如使单晶硅棒的温度升高等。单晶硅棒的处理方式为现有技术中的常规技术,在此不再展开叙述。d、经缓存线3处理后的单晶硅棒由缓存线3移动至靠近出料升降机4的一端。e、出料升降机4将经缓存线3处理后的单晶硅棒转移至AGV小车6,由AVG小车转移至相应位置。完成单晶硅棒的周转。由上述单晶硅棒的周转过程可得,上述技术方案相对于现有技术大大减少了单晶硅棒周转过程的人工干预,从而可以有效地降低操作人员的劳动强度,并且,在单晶硅棒周转过程中由于减少了人工干预,单晶硅棒在周转过程中不容易损坏,优化了单晶硅棒周转器的性能。本方案主要解决的技术问题是单晶硅棒的周转,并不涉及单晶硅棒的处理方式,单晶硅棒的处理方式为现有技术中的常规技术,在此不再展开叙述。实施例2本实施例结合实施例1,介绍缓存线3的结构。如图1,所述缓存线3包括至少一层将工装5由进料升降机2方向传送至出料升降机4方向的满载线7和将工装5由出料升降机4方向传送至进料升降机2方向的空载线8。所述缓存线3包括缓存架9,所述满载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单晶硅棒周转器,其特征是:包括过渡平台(1)、进料升降机(2)、缓存线(3)、出料升降机(4)、工装(5)和AGV小车(6);其中,所述工装(5)放置于所述过渡平台(1)上,所述进料升降机(2)将所述过渡平台(1)上的工装(5)移入所述缓存线(3),所述出料升降机(4)将所述缓存线(3)上的工装(5)移入所述AGV小车(6),所述工装(5)包括框架,在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。

【技术特征摘要】
1.单晶硅棒周转器,其特征是:包括过渡平台(1)、进料升降机(2)、缓存线(3)、出料升降机(4)、工装(5)和AGV小车(6);其中,所述工装(5)放置于所述过渡平台(1)上,所述进料升降机(2)将所述过渡平台(1)上的工装(5)移入所述缓存线(3),所述出料升降机(4)将所述缓存线(3)上的工装(5)移入所述AGV小车(6),所述工装(5)包括框架,在所述框架上粘接有避免框架损坏单晶硅棒的缓冲层。2.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器,其特征是:所述缓存线(3)包括至少一层将工装(5)由进料升降机(2)方向传送至出料升降机(4)方向的满载线(7)和将工装(5)由出料升降机(4)方向传送至进料升降机(2)方向的空载线(8)。3.根据权利要求2所述的单晶硅棒周转器,其特征是:所述缓存线(3)包括缓存架(9),所述满载线(7)和所述空载线(8)均为设置于所述缓存架(9)上的回转式传送机。4.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器,其特征是:所述进料升降机(2)包括机架(10),在所述机架(10)上设置有进料传送机构(11),所述进料传送机构(11)相对于所述机架(10)上下移动,所述进料传送机构(11)延伸至所述缓存线(3),以将进料升降机(2)上的工装(5)转存至所述缓存线(3)。5.根据权利要求1所述的单晶硅棒周转器,其特征是:所述出料升降机(4)包括架体(12),在所述架体(12)上设置有出料传送机构(13),所述出料传送机构(13)相对于所述架体(12)上下移动,所述出料传送机构(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶欣汪辉金光前朱国旺吕斌龙洪昀
申请(专利权)人:杭州中为光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:浙江,33

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