硅棒检测平台制造技术

本发明专利技术提供一种硅棒检测平台，硅棒检测平台包括机架

【技术实现步骤摘要】
硅棒检测平台


[0001]本专利技术涉及硅棒检测领域，具体涉及一种硅棒检测平台
。

技术介绍

[0002]硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒，硅棒成型后需要检测其是否具有缺陷，例如对硅棒的晶线进行检测，以通过晶线判断硅棒是否具有缺陷，从而判断后续加工过程中如何截断硅棒
。
[0003]相关技术中，为了避免承载输送硅棒的托盘影响对硅棒进行检测，设置夹爪夹持硅棒的轴向两端并使硅棒悬空脱离托盘，然后通过夹爪带动硅棒绕硅棒的轴向转动，并通过位于悬空硅棒的两侧的检测设备检测硅棒
。
[0004]但是，夹爪和检测设备之间的安装位置误差和移动误差会影响检测效果，因此夹爪和检测设备需要很高的安装精度和移动精度，导致设备安装难度较大
。
同时，夹爪带动硅棒转动的稳定性较差，会导致硅棒和检测设备之间产生位置误差，从而影响检测效果
。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一
。
为此，本专利技术的实施例提出一种硅棒检测平台，该硅棒检测平台通过夹持装置将硅棒取放在相对靠近的两个转动件上，通过转动件承托并驱动硅棒以稳定姿态转动，以便于检测装置对硅棒进行精准检测
。
[0006]本专利技术实施例的硅棒检测平台包括：
[0007]机架；
[0008]转动件，所述转动件设在所述机架上，并相对于所述机架可绕第一方向转动，所述转动件为至少两个，其中两个所述转动件可在第二方向上相对靠近和相对远离，所述第二方向正交于所述第一方向；
[0009]第一驱动件，所述第一驱动件与两个所述转动件中的至少一个相连，以驱动对应的所述转动件绕第一方向转动；
[0010]夹持装置，所述夹持装置设在所述机架上，所述夹持装置的至少部分相对于所述机架可沿第三方向移动，并可从相对远离的两个所述转动件之间通过，所述夹持装置可夹持和释放硅棒，以在相对靠近的两个所述转动件上取放硅棒，所述第三方向正交于所述第一方向和所述第二方向；
[0011]检测装置，所述检测装置设在所述机架上，所述检测装置用于对放置在两个所述转动件上的硅棒进行检测
。
[0012]本专利技术实施例的硅棒检测平台通过夹持装置将硅棒取放在相对靠近的两个转动件上，通过转动件承托并驱动硅棒以稳定姿态转动，以便于检测装置对硅棒进行精准检测，误差较小
。
同时，夹持装置在移动硅棒时，两个转动件能够相对远离以避让夹持装置，以避免产生干涉碰撞，并使硅棒检测平台具有较高的结构紧凑性
。
[0013]在一些实施例中，所述硅棒检测平台还包括平移装置，所述平移装置设在所述机架上，所述平移装置的至少部分相对于所述机架可沿第二方向移动，所述平移装置为至少两个，其中两个所述平移装置的至少部分可在第二方向上相对靠近和相对远离，
[0014]至少两个所述转动件一一对应的设在至少两个所述平移装置上，以使所述转动件在对应的所述平移装置的驱动下沿所述第二方向移动，所述转动件相对于对应的所述平移装置可绕第一方向转动，
[0015]第一驱动件设在其中一个所述平移装置上，并与其中一个所述平移装置上的所述转动件相连
。
[0016]在一些实施例中，所述平移装置包括：
[0017]第一安装架，所述第一安装架设在所述机架上；
[0018]第二安装架，所述第二安装架设有所述转动件，或者设有所述转动件和所述第一驱动件；
[0019]平移驱动组件，所述平移驱动组件设在所述第一安装架上，所述平移驱动组件沿所述第二方向延伸，并与所述第二安装架相连，以驱动所述第二安装架相对于所述第一安装架沿所述第二方向移动；
[0020]平移导向组件，所述平移导向组件设在所述第一安装架上，所述平移导向组件沿所述第二方向延伸，并与所述第二安装架相连，以导引所述第二安装架沿所述第二方向移动
。
[0021]在一些实施例中，所述夹持装置包括：
[0022]第一驱动机构，所述第一驱动机构设在所述机架上，所述第一驱动机构的至少部分相对于所述机架可沿所述第三方向移动；
[0023]夹爪组件，所述夹爪组件可夹持和释放所述硅棒的外周壁面，所述夹爪组件设在所述第一驱动机构上，以在所述第一驱动机构的驱动下沿所述第三方向移动，并可在移动过程中从相对远离的两个所述转动件之间通过
。
[0024]在一些实施例中，所述夹持装置还包括：
[0025]第二驱动机构，所述第二驱动机构设在所述机架上，所述第二驱动机构的至少部分相对于所述机架可沿所述第一方向移动，所述第一驱动机构设在所述第二驱动机构上，以在所述第二驱动机构的驱动下沿所述第一方向移动
。
[0026]在一些实施例中，所述第二驱动机构包括第三安装架和第二驱动组件，第二驱动组件设在所述机架上，且所述第二驱动组件的至少部分相对于所述机架可沿所述第一方向移动，所述第二驱动组件为至少两个，其中两个所述第二驱动组件在所述第二方向上间隔排布，所述第三安装架连接在两个所述第二驱动组件之间，以在两个所述第二驱动组件的驱动下沿所述第一方向移动；
[0027]所述第一驱动机构包括第四安装架
、
第一驱动组件和第一导向组件，所述第一导向组件沿所述第三方向延伸，并连接在所述第三安装架和所述第四安装架之间，以导引所述第四安装架相对于所述第三安装架沿所述第三方向移动，所述第一驱动组件设在所述第三安装架上，并与所述第四安装架相连，以驱动所述第四安装架相对于所述第三安装架沿所述第三方向移动
。
[0028]在一些实施例中，所述夹爪组件和所述第一驱动机构在所述第三方向上间隔排
布，
[0029]所述夹持装置还包括：
[0030]连接件，所述连接件将所述夹爪组件和所述第一驱动机构相连，并使所述夹爪组件相对于所述第一驱动机构可沿所述第三方向移动；
[0031]缓冲传感器，所述缓冲传感器设在所述夹爪组件和所述第一驱动机构中的一者上，所述缓冲传感器用于在被触发时向所述第一驱动机构发送停止移动的信号；
[0032]触发件，所述触发件设在所述夹爪组件和所述第一驱动机构中的另一者上，所述触发件用于触发所述缓冲传感器，在所述触发件触发所述缓冲传感器时，所述夹爪组件和所述第一驱动机构之间具有一定距离
。
[0033]在一些实施例中，所述检测装置包括：
[0034]三轴模组，所述三轴模组设在所述机架上，所述三轴模组为至少两个，至少两个所述三轴模组与至少两个所述平移装置一一对应设置，所述三轴模组与对应的所述平移装置在第三方向上间隔排布，并位于对应的所述平移装置设有所述转动件的一侧，所述三轴模组中的任一轴模组沿所述第一方向设置；
[0035]检测仪器，所述检测仪器设在所述三轴模组上
。
[0036]在一些实施例中，所述硅棒检测平台还包括：
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅棒检测平台，其特征在于，包括：机架
(1)
；转动件
(2)
，所述转动件
(2)
设在所述机架
(1)
上，并相对于所述机架
(1)
可绕第一方向转动，所述转动件
(2)
为至少两个，其中两个所述转动件
(2)
可在第二方向上相对靠近和相对远离，所述第二方向正交于所述第一方向；第一驱动件
(3)
，所述第一驱动件
(3)
与两个所述转动件
(2)
中的至少一个相连，以驱动对应的所述转动件
(2)
绕第一方向转动；夹持装置
(4)
，所述夹持装置
(4)
设在所述机架
(1)
上，所述夹持装置
(4)
的至少部分相对于所述机架
(1)
可沿第三方向移动，并可从相对远离的两个所述转动件
(2)
之间通过，所述夹持装置
(4)
可夹持和释放硅棒，以在相对靠近的两个所述转动件
(2)
上取放硅棒，所述第三方向正交于所述第一方向和所述第二方向；检测装置
(5)
，所述检测装置
(5)
设在所述机架
(1)
上，所述检测装置
(5)
用于对放置在两个所述转动件
(2)
上的硅棒进行检测
。2.
根据权利要求1所述的硅棒检测平台，其特征在于，还包括平移装置
(6)
，所述平移装置
(6)
设在所述机架
(1)
上，所述平移装置
(6)
的至少部分相对于所述机架
(1)
可沿第二方向移动，所述平移装置
(6)
为至少两个，其中两个所述平移装置
(6)
的至少部分可在第二方向上相对靠近和相对远离，至少两个所述转动件
(2)
一一对应的设在至少两个所述平移装置
(6)
上，以使所述转动件
(2)
在对应的所述平移装置
(6)
的驱动下沿所述第二方向移动，所述转动件
(2)
相对于对应的所述平移装置
(6)
可绕第一方向转动，第一驱动件
(3)
设在其中一个所述平移装置
(6)
上，并与其中一个所述平移装置
(6)
上的所述转动件
(2)
相连
。3.
根据权利要求2所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述平移装置
(6)
包括：第一安装架
(61)
，所述第一安装架
(61)
设在所述机架
(1)
上；第二安装架
(62)
，所述第二安装架
(62)
设有所述转动件
(2)
，或者设有所述转动件
(2)
和所述第一驱动件
(3)
；平移驱动组件
(63)
，所述平移驱动组件
(63)
设在所述第一安装架
(61)
上，所述平移驱动组件
(63)
沿所述第二方向延伸，并与所述第二安装架
(62)
相连，以驱动所述第二安装架
(62)
相对于所述第一安装架
(61)
沿所述第二方向移动；平移导向组件
(64)
，所述平移导向组件
(64)
设在所述第一安装架
(61)
上，所述平移导向组件
(64)
沿所述第二方向延伸，并与所述第二安装架
(62)
相连，以导引所述第二安装架
(62)
沿所述第二方向移动
。4.
根据权利要求1所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述夹持装置
(4)
包括：第一驱动机构
(41)
，所述第一驱动机构
(41)
设在所述机架
(1)
上，所述第一驱动机构
(41)
的至少部分相对于所述机架
(1)
可沿所述第三方向移动；夹爪组件
(42)
，所述夹爪组件
(42)
可夹持和释放所述硅棒的外周壁面，所述夹爪组件
(42)
设在所述第一驱动机构
(41)
上，以在所述第一驱动机构
(41)
的驱动下沿所述第三方向移动，并可在移动过程中从相对远离的两个所述转动件
(2)
之间通过
。5.
根据权利要求4所述的硅棒检测平台，其特征在于，所述夹持装置
(4)
还包括：
第二驱动机构
(43)
，所述第二驱动机构
(43)
设在所述机架
(1)
上，所述第二驱动机构
(43)
的至少部分相对于所述机架
(1)
可沿所述第一方向移动，...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，曹震，张遵浩，景健，储著明，刘祖耀，
申请(专利权)人：杭州中为光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：