硅棒内力检测系统、检测方法及截断方法技术方案

本申请公开了一种硅棒内力检测系统、检测方法及截断方法，涉及半导体生产技术领域，该检测方法包括：控制内力检测组件从待测硅棒的一端沿硅棒的轴向移动至另一端的过程中，向待测硅棒发射红外偏振光线，并采集内力检测组件生成的灰度值图像；控制旋转组件将待测硅棒旋转预设角度，并重复进行内力检测和图像采集，直至获取待测硅棒在全角度下的多个灰度值图像；计算每个灰度值图像中不同区域的多种灰度参数，并汇总和分析全部灰度值图像的灰度参数计算结果，将待测硅棒划分为与内力相关的多类型区域。该方法能够准确检测出硅棒内部残余内力的分布，有利于节省硅棒资源。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体生产，尤其涉及一种硅棒内力检测系统、检测方法及截断方法。

技术介绍

1、目前，在单晶硅生产期间，由于拉晶工艺的特点，硅棒内会存在热内力。热内力会导致拉晶过程中硅棒出现位错，并且待硅棒冷却后仍会有部分内力残留，在后续将长棒截断成短棒时，如果切到内力部分，硅棒大概率会出现碎裂，裂纹延伸导致硅棒资源的浪费。

2、相关技术中，在检测硅棒内部的缺陷时，一般仅能检测到硅棒内部的隐裂，无法检测出硅棒的内力，而隐裂是内力和位错导致的结果，因此该检测技术存在迟滞。并且，实际应用中每根出炉的晶棒都可能存在内力，按照现有技术中根据表面位错现象和隐裂截断硅棒时，出现硅棒碎裂的概率非常高，造成较多的拉晶资源浪费。

技术实现思路

1、本申请的目的旨在至少在一定程度上解决上述的技术问题之一。

2、为此，本申请的第一个目的在于提出一种硅棒内力检测系统。该系统能够准确检测出硅棒内部残余内力的分布，便于后续根据内力分布进行硅棒的截断，有利于节省硅棒资源。

3、本申请的第二个目的在于提出一种硅棒本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅棒内力检测系统，其特征在于，包括：机架、内力检测组件、旋转组件和控制模块，其中，

2.根据权利要求1所述的硅棒内力检测系统，其特征在于，所述内力检测组件，包括：

3.根据权利要求1所述的硅棒内力检测系统，其特征在于，所述旋转组件，包括：旋转电机、旋转减速器、主动滚轮组、从动滚轮组和旋转基座，其中，

4.根据权利要求1所述的硅棒内力检测系统，其特征在于，还包括：检测运动组件，所述检测运动组件包括：三轴运动机构和检测组件安装座；

5.一种硅棒内力检测方法，其特征在于，应用于如权利要求1至4中任一项所述的硅棒内力检测系统，所述方法包括以...

【技术特征摘要】

1.一种硅棒内力检测系统，其特征在于，包括：机架、内力检测组件、旋转组件和控制模块，其中，

2.根据权利要求1所述的硅棒内力检测系统，其特征在于，所述内力检测组件，包括：

3.根据权利要求1所述的硅棒内力检测系统，其特征在于，所述旋转组件，包括：旋转电机、旋转减速器、主动滚轮组、从动滚轮组和旋转基座，其中，

4.根据权利要求1所述的硅棒内力检测系统，其特征在于，还包括：检测运动组件，所述检测运动组件包括：三轴运动机构和检测组件安装座；

5.一种硅棒内力检测方法，其特征在于，应用于如权利要求1至4中任一项所述的硅棒内力检测系统，所述方法包括以下步骤：

6.根据权利要求5所述的硅棒内力检测方法，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，谢龙辉，张遵浩，曹震，李宏，杨波，
申请(专利权)人：杭州中为光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：