【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影设备传送手臂
本技术涉及半导体集成电路制作领域,且特别涉及一种涂胶显影设备传送手臂。
技术介绍
目前,在半导体器件的制造中,通常利用涂胶显影设备(Automaticcleantrack,ACT)进行涂覆光刻胶和显影。通常ACT设备具有晶片盒站、涂胶单元、显影单元以及机械手臂等。首先,ACT设备通过机械手臂将晶片盒内的晶片取出放置到涂胶单元进行涂胶,之后将晶片放到曝光设备进行曝光,曝光完成后再将晶片放置到显影单元进行显影,显影结束后将晶片放回晶片盒站。涂胶显影设备是集成电路芯片制造过程中涂敷感光胶并加温固化,图形曝光后再进行显影成型的设备。其中的传送手臂是起将晶片传送到设备内部各个单元的作用。原设备传送手臂多数为生产8吋硅片而设计。随着LED产业及其它新型器件的兴起,需要设备适用4吋蓝宝石片或其它衬底基片生产。设备厂家已很少再生产小尺寸设备,新设备价格昂贵。如何将现有旧设备进行改造利用成为急需解决的问题。
技术实现思路
本技术提出一种涂胶显影设备传送手臂,使得原有旧设备具备了扩展支持不同尺寸晶片的涂胶显影。为了达到上述目的,本技术提出一种涂胶显影设备传送手臂,包括:装配基座;第一尺寸机械手臂,装设于所述装配基座上;第二尺寸机械手臂,替换所述第一尺寸机械手臂并装设于所述装配基座上,其中所述第二尺寸机械手臂和所述第一尺寸机械手臂的承接部分中心点保持一致。进一步的,所述机械手臂包括手臂主体和承接部分,所述承接部分用于承载晶片。进一步的,所述手臂主体采用铝合金材料制成。进一步的,所述承接部分采用不锈钢材料制成。进一步的,所述承接部分包括三个承片块构成。进一步的, ...
【技术保护点】
一种涂胶显影设备传送手臂,其特征在于,包括:装配基座;第一尺寸机械手臂,装设于所述装配基座上;第二尺寸机械手臂,替换所述第一尺寸机械手臂并装设于所述装配基座上,其中所述第二尺寸机械手臂和所述第一尺寸机械手臂的承接部分中心点保持一致。
【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影设备传送手臂,其特征在于,包括:装配基座;第一尺寸机械手臂,装设于所述装配基座上;第二尺寸机械手臂,替换所述第一尺寸机械手臂并装设于所述装配基座上,其中所述第二尺寸机械手臂和所述第一尺寸机械手臂的承接部分中心点保持一致。2.根据权利要求1所述的涂胶显影设备传送手臂,其特征在于,所述机械手臂包括手臂主体和承接部分,所述承接部分用于承载晶片。3.根据权利要求2所述的涂胶显影设备传送手臂,其特征在于,所述手臂主体采用铝合金...
【专利技术属性】
技术研发人员:俞韶兵,马剑,
申请(专利权)人:上海精典电子有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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