承载装置和涂胶设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种承载装置，包括用于承载基板的承载台，所述承载台内设置有多个贯穿所述承载台的气体通道；至少一部分所述气体通道内设置有滚珠，所述承载装置还包括驱动机构，用于驱动所述滚珠朝向所述承载台上的基板移动，以将基板撑起，且所述滚珠能够沿所述基板表面滚动。相应地，本发明专利技术还提供一种涂胶设备。本发明专利技术的承载装置更便于对基板进行对位。

Loading device and coating equipment

The present invention provides a bearing device for bearing platform includes a substrate, wherein the bearing platform is provided with a plurality of through the bearing platform of the gas channel; at least a portion of the gas channel is arranged in the ball, the bearing device also includes a drive mechanism for driving the ball toward the bearing the substrate on the mobile station, the basal plate propped up, and the ball can roll along the surface of the substrate. Accordingly, the invention also provides an gumming equipment. The loading device of the invention is more convenient for aligning the substrate.

【技术实现步骤摘要】
承载装置和涂胶设备
本专利技术涉及显示装置的制作领域，具体涉及一种承载装置和涂胶设备。
技术介绍
阵列基板的制作过程中，需要涂覆光刻胶以进行光刻构图工艺。图1是现有的承载装置的示意图，承载台10内设置有多个通孔11。涂覆光刻胶之前，当基板20位置发生偏移时，吹气装置向通孔吹入氮气(N2)，使得基板稍稍吹离承载台，然后利用对位件30对基板进行对位。在涂覆光刻胶时，抽真空装置与通孔11相连通，以将基板20吸附在承载台10上。进行对位时，基板20与承载台10表面存在一定的摩擦，长时间使用后会导致承载台10的表面产生镜面化，这种镜面化会使基板20与承载台10表面之间存在较大的粘合力，导致基板20不容易被通道中的气流顶起，也不容易被对位件30推动，从而造成对位失败率增大，需要人工现场处理，且存在破片的风险。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种承载装置和涂胶设备，以提高对位成功率。为了解决上述技术问题之一，本专利技术提供一种承载装置，包括用于承载基板的承载台，所述承载台内设置有多个贯穿所述承载台的气体通道；至少一部分所述气体通道内设置有滚珠，所述承载装置还包括驱动机构，用于驱动所述滚珠朝向所述气体通道的顶部移动，以将所述承载台上的基板撑起，且撑起所述基板的滚珠能够在所述气体通道的顶部任意转动。优选地，所述驱动机构包括升降杆，所述滚珠可转动地设置在所述升降杆的顶部，所述升降杆用于控制所述滚珠在所述气体通道内升降。优选地，所述驱动机构包括吹气结构，所述吹气结构包括与所述气体通道连通的气孔，所述吹气结构用于通过其气孔向所述气体通道吹气，以通过气流将所述滚珠顶起。优选地，所述气体通道包括同轴设置的第一通道部和第二通道部，所述第一通道部的底端与所述第二通道部的顶端相连，所述滚珠位于第一通道部内，所述第二通道部的顶端直径小于所述滚珠的直径。优选地，所述第一通道部的顶端直径小于所述滚珠的直径，且所述滚珠的一部分能够从所述第一通道部的顶端开口露出。优选地，所述第一通道部的内径由所述第一通道部的顶端至预定位置处逐渐增大，所述预定位置处的内径大于所述滚珠的直径，所述预定位置位于所述第一通道部顶端与所述第一通道部底端之间；所述承载台的表面还形成有凹槽，所述凹槽用于将每相邻两个气体通道的第一通道部连通。优选地，所述承载台包括第一本体和与所述第一本体可拆卸地连接的多个第二本体，所述第二本体与所述气体通道一一对应，所述第一通道部从其顶端至所述预定位置的部分贯穿所述第二本体，所述第一通道部的其余部分和所述第二通道部贯穿所述第一本体。优选地，所述吹气结构包括离子风机。优选地，每个所述气体通道内均设置有所述滚珠。优选地，所述承载装置还包括设置在所述承载台上的位置检测器件和对位组件，所述位置检测器件用于检测基板的边缘位置；所述对位组件用于根据所述基板的边缘位置移动所述基板，以使所述基板位于预定区域内。相应地，本专利技术还提供一种涂胶设备，包括上述承载装置。本专利技术对承载台上的基板进行对位时，驱动机构驱动滚珠将基板顶起，之后然后移动基板，基板在移动过程中与滚珠相接触，而不再与承载台接触。因此，本专利技术可以防止承载台的表面因长时间摩擦而导致的镜面化，基板与承载台之间的粘合力小，更容易将基板顶起；并且，基板在移动时与滚珠之间的滚动摩擦较小，从而便于基板的移动，进而提高对位成功率。另外，驱动机构可以包括离子风机，离子风机吹出的离子风一方面将滚珠顶起，另一方面流入承载台表面的凹槽，从而可以中和基板表面的静电，减少静电对基板表面图形的损伤。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是现有技术中对承载台上的基板进行对位时的示意图；图2是本专利技术中第一种结构的承载装置对基板进行对位时的示意图；图3是本专利技术中第二种结构的承载装置的承载台的示意图；图4是图3中的承载装置对所承载的基板进行对位时的示意图；图5是本专利技术中的承载装置的承载台的俯视图；图6是其中一个气体通道内的滚珠位于其他通道顶部时的俯视图；图7是图6沿AA线的剖视图；图8是本专利技术中承载有基板的承载装置的俯视图。其中，附图标记为：10、承载台；10a、第一本体；10b、第二本体；11、通孔；12、气体通道；121、第一通道部；122、第二通道部；13、滚珠；14、凹槽；141、第一凹槽部；142、第二凹槽部；20、基板；30、对位件；40、升降杆；50、位置检测器件。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。作为本专利技术的一方面，提供一种承载装置，如图2所示，包括用于承载基板20的承载台10，承载台10内设置有多个贯穿承载台10的气体通道12。至少一部分气体通道12内设置有滚珠13，所述承载装置还包括驱动机构，用于驱动滚珠13朝向气体通道12的顶部移动，以将承载台10上的基板20撑起(如图2和4所示)，且撑起基板20的滚珠13能够在气体通道12的顶部任意转动。本专利技术中的“顶部”是指靠近基板20的部分，“顶端”是指靠近基板20的一端，“底端”是指远离基板20的一端。本专利技术中，在对基板20进行对位时，驱动机构驱动滚珠13将基板20撑起，然后移动基板20，基板20在移动过程中与滚珠13相接触，而不再与承载台10接触，如图2和图3所示。因此，与现有技术相比，本专利技术可以防止承载台10的表面因长时间摩擦而导致的镜面化，基板20与承载台10之间的粘合力小，更容易将基板20顶起；并且，基板20在移动时与滚珠13之间的滚动摩擦较小，从而便于基板20的移动，进而提高对位成功率。所述驱动机构可以采用不同的结构和方式驱动滚珠13朝向基板20移动，作为本专利技术的一种具体实施方式，如图2所示，所述驱动机构包括升降杆40，滚珠20可转动地设置在升降杆40的顶部，升降杆40用于控制滚珠13在气体通道12内升降。具体地，升降杆40顶部可以设置有凹槽，滚珠13设置在该凹槽内，以保持稳定；并且滚珠13的顶端从凹槽中露出，以能够与基板20接触。作为本专利技术的另一种具体实施方式，所述驱动机构包括吹气结构，所述吹气结构包括与气体通道12连通的气孔，所述吹气结构用于向所述气体通道吹气，以通过气流将滚珠13顶起。通过调节吹气结构吹出气流的压力大小，可以使得滚珠被气流吹起，从而将基板20顶起，如图4所示。在本专利技术中，每个气体通道12内均设置有滚珠13。气体通道12可以作为吹气通道，也可以作为吸附通道，这时，滚珠13与气体通道12的内壁之间可以形成少量的间隙，使得滚珠13既能够被气流顶起，又不会影响对基板20的吸附。当然，也可以在一部分气体通道12内设置滚珠13，滚珠13与气体通道12的内壁贴合，从而在吹气结构吹出气流时更容易被顶起；另一部分气体通道12内不设置滚珠13，这部分未设置滚珠13的气体通道12可以作为用于吸附基板20的吸附通道。如图3和图4所示，气体通道12包括同轴设置的第一通道部121和第二通道部122，第一通道部121的底端与第二通道部122的顶端相连，滚珠13位于第一通道部121内，第二通道部122的顶端直径小于滚珠本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种承载装置，包括用于承载基板的承载台，所述承载台内设置有多个贯穿所述承载台的气体通道；其特征在于，至少一部分所述气体通道内设置有滚珠，所述承载装置还包括驱动机构，用于驱动所述滚珠朝向所述气体通道的顶部移动，以将所述承载台上的基板撑起，且撑起所述基板的滚珠能够在所述气体通道的顶部任意转动。

【技术特征摘要】
1.一种承载装置，包括用于承载基板的承载台，所述承载台内设置有多个贯穿所述承载台的气体通道；其特征在于，至少一部分所述气体通道内设置有滚珠，所述承载装置还包括驱动机构，用于驱动所述滚珠朝向所述气体通道的顶部移动，以将所述承载台上的基板撑起，且撑起所述基板的滚珠能够在所述气体通道的顶部任意转动。2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述驱动机构包括升降杆，所述滚珠可转动地设置在所述升降杆的顶部，所述升降杆用于控制所述滚珠在所述气体通道内升降。3.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述驱动机构包括吹气结构，所述吹气结构包括与所述气体通道连通的气孔，所述吹气结构用于通过其气孔向所述气体通道吹气，以通过气流将所述滚珠顶起。4.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述气体通道包括同轴设置的第一通道部和第二通道部，所述第一通道部的底端与所述第二通道部的顶端相连，所述滚珠位于第一通道部内，所述第二通道部的顶端直径小于所述滚珠的直径。5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，所述第一通道部的顶端直径小于所述滚珠的直径，且所述滚珠的一部分能够从所述第一通道部的顶端开口露出。6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁振勇，张万鹏，王鹏，关江兵，陈国，张振宇，龚磊，韩亚军，张孟磊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11