蒸镀装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种蒸镀装置，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，蒸镀源用于加热蒸镀材料；蒸镀材料设置在蒸镀源的内部；显示器背板为蒸镀材料最终蒸镀到的位置，显示器背板与蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，蒸镀源的顶部设置有上盖板，上盖板上设置有多个导流气孔，导流气孔用于引导被蒸镀的蒸镀材料运动至显示器背板；多个导流气孔包括：一中心直孔与围绕中心直孔的多圈斜孔，在上盖板上方每圈斜孔均以纵向方向为中心向上盖板方向呈锐角倾斜。本发明专利技术还公开了与该蒸镀装置相对应的蒸镀方法。本发明专利技术具有材料使用率高、成膜均匀性好且生产成本低的有益效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀装置及方法。
技术介绍
目前微型显示器、手机以及电视产品上OLED产品的份额都在上升，但是OLED产品成本较高，其中很大一部分是有机发光材料的成本。现有蒸镀源为了保证成膜均匀性，需要将蒸镀源与被蒸镀物拉开较大距离(TS距离)，从而导致较多蒸镀材料被蒸镀在蒸镀设备的腔体、蒸镀设备挡板上，而不是被蒸镀在最终产品上，从而导致蒸镀材料使用率偏低，其中，蒸镀材料使用率即蒸镀在产品上的材料或从蒸发源蒸发出来的材料。为此，本领域迫切需要一种能够提高蒸镀材料的利用率，降低OLED生产成本的蒸镀设备或蒸镀方法。
技术实现思路
本专利技术旨在克服以上技术问题，提出一种结构简单、操作简便、蒸镀效率较高且降低OLED生产成本的蒸镀装置及方法。为解决上述技术问题，根据本专利技术的第一方面，提供一种蒸镀装置，其中，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，所述蒸镀源用于加热所述蒸镀材料；所述蒸镀材料设置在所述蒸镀源的内部；所述显示器背板为所述蒸镀材料最终蒸镀到的位置，所述显示器背板与所述蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，所述蒸镀源的顶部设置有上盖板，所述上盖板上设置有多个导流气孔，所述导流气孔用于引导被蒸镀的所述蒸镀材料运动至所述显示器背板；多个所述导流气孔包括：一中心直孔与围绕所述中心直孔的多圈斜孔，每圈所述斜孔从所述上盖板上方来看均以纵向方向为中心向所述上盖板方向呈锐角倾斜。根据本专利技术的第二方面，提供一种蒸镀装置，其中，多圈所述斜孔在所述上盖板上呈对称分布。根据本专利技术的第三方面，提供一种蒸镀装置，其中，每圈所述斜孔在纵向方向上与所述上盖板的夹角不同。根据本专利技术的第四方面，提供一种蒸镀装置，其中，所述夹角范围为0°～20°。根据本专利技术的第五方面，提供一种蒸镀装置，其中，所述上盖板处设置有加热元件与温控元件。根据本专利技术的第六方面，提供一种蒸镀装置，其中，所述加热元件为电热丝，所述温控元件为热电偶。根据本专利技术的第七方面，提供一种蒸镀方法，其中，包括：将蒸镀材料设置在蒸镀源内部，进行蒸镀；所述蒸镀材料经过所述蒸镀源的上盖板上的多个导流气孔最终会蒸镀至显示器背板上；其中，多个所述导流气孔包括：一中心直孔与围绕所述中心直孔的多圈斜孔，每圈所述斜孔从所述上盖板上方来看均以纵向方向为中心向所述上盖板方向呈锐角倾斜。根据本专利技术的第八方面，提供一种蒸镀方法，其中，多圈所述斜孔在所述上盖板上呈对称分布。根据本专利技术的第九方面，提供一种蒸镀方法，其中，每圈所述斜孔在纵向方向上与所述上盖板的夹角不同。根据本专利技术的第十方面，提供一种蒸镀方法，其中，所述蒸镀材料为有机发光材料或者无机发光材料。其中，所述无机发光材料的原料组份和重量配比为：正硅酸乙酯30-45份、硝酸铝45-55份、硝酸锶45-60份、氧化铕0.45-0.6份、氢氧化铝4-8份、氢氧化镁5-10份、柠檬酸钠0.5-0.8份、水玻璃15-25份、松香5-8份、碳酰胺0.6-0.9份、氨水5-10份、无水乙醇30-45份、浓度为40％的盐酸5-15份、浓度为40％的硼酸35-45份、去离子水80-120份；Tm2O30.05-0.1份；Er2O30.05-0.1份；Li2CO330-35份，CaCO310-15份；SiO230-35份；SrCO315-20份；Dy2O30.05-0.15份。本专利技术的蒸镀装置及方法相比于现有技术具有如下优点：1、本专利技术中的蒸镀装置中蒸镀源上设置有上盖板，通过上盖板的开口设计，实现对蒸镀材料的导流，克服材料均匀性和材料使用率的矛盾。2、本专利技术通过在蒸镀源上增加上盖板和导流气孔，使得在较小的TS距离时仍能保持较好的成膜均匀性。由于拉近了TS距离，相应的蒸镀在蒸镀装置的腔体、蒸镀装置挡板上的材料也大幅降低，从而使得材料使用率大幅上升。3、本专利技术的上盖板上设置有加热元件与温控元件，这样可以防止蒸镀材料在被蒸镀后通过上盖板时出现冷凝以及堵塞导流气孔的现象。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的蒸镀装置的结构示意图；图2为本专利技术的蒸镀装置上盖板的结构示意图；图3为本专利技术的蒸馏方法的流程结构示意图；图4为现有的蒸镀装置的结构示意图。附图标记说明：1、蒸镀源；2、蒸镀材料；3、显示器背板；4、上盖板；5、TS距离；6、导流气孔；61、直孔；62、斜孔；7、夹角。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本专利技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构及技术的描述，以避免不必要地混淆本专利技术的概念。图1为本专利技术的蒸镀装置的结构示意图，如图1所示，本专利技术提供了一种蒸镀装置，其中，包括：蒸镀源1、蒸镀材料2与显示器背板3。其中，蒸镀源1用于加热蒸镀材料2，蒸镀材料2设置在蒸镀源1的内部，显示器背板3为蒸镀材料2最终蒸镀到的位置，显示器背板3与蒸镀源1之间的距离定义为TS距离5。蒸镀源1的顶部设置有上盖板4，上盖板4上设置有多个导流气孔6，导流气孔6用于引导被蒸镀的蒸镀材料2运动至显示器背板3上。上述多个导流气孔6包括：一中心直孔61与围绕中心直孔61的多圈斜孔62，在上盖板4上方每圈斜孔62均以纵向方向为中心向上盖板4方向呈锐角倾斜。需要说明的是，本专利技术的蒸镀装置通过在蒸镀源1上增加上盖板4和导流气孔6，使得在较小的TS距离5时装置仍能保持较好的成膜均匀性，由于拉近了TS距离5，相应地在蒸镀装置的腔体、蒸镀装置挡板上的蒸镀材料2也大幅降低，从而使得材料使用率大幅上升。通过蒸镀源1的上盖板4导流气孔6的开口设计，实现对蒸镀材料2的导流，材料均匀性好的同时材料使用率高。图2为本专利技术的蒸镀装置上盖板4的结构示意图，如图2所示，本专利技术的蒸镀装置上盖板4上设置有导流气孔6。其中，该导流气孔6包括：一中心直孔61与围绕中心直孔61的多圈斜孔62。每圈斜孔62在纵向方向上与上盖板4的夹角7不同。位于上盖板4中心位置的直孔61与上盖板4的夹角7最小，为0°。斜孔62从中心向四周均匀分布，在上盖板4的上方并且在纵向方向上斜孔62与上盖板4的夹角7会随着斜孔62与上盖板4中心位置距离的增大而增大，其夹角7的范围为0°～20°。在本专利技术的进一步实施例中，多圈斜孔62在上盖板4上呈对称分布，即以中心直孔61为中心向四周呈等间距的圆周排布，这样可以保证蒸镀材料2在受热蒸发后经过相同角度的导流气孔6时保持相同的速率，最终均匀地沉积在显示器背板3上。在本专利技术的进一步实施例中，上盖板4处设置有加热元件与温控元件。加热元件与温控元件的设置能够防止蒸镀材料2在被蒸镀后通过上盖板4时出现冷凝以及堵塞导气流孔6的现象。加热元件与温控元件具有独立操作功能，能够单独对装置进行加热或温控，操作效果好，提高材料使用率。具体地，本专利技术中，加热元件采用电热丝，温控元件采用热电偶。在本专利技术的进一步实施例中，显示器背板3为微型显示器背板。显示器背板3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，其中，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，所述蒸镀源用于加热所述蒸镀材料；所述蒸镀材料设置在所述蒸镀源的内部；所述显示器背板为所述蒸镀材料最终蒸镀到的位置，所述显示器背板与所述蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，所述蒸镀源的顶部设置有上盖板，所述上盖板上设置有多个导流气孔，所述导流气孔用于引导被蒸镀的所述蒸镀材料运动至所述显示器背板；多个所述导流气孔包括：一中心直孔与围绕所述中心直孔的多圈斜孔，每圈所述斜孔从所述上盖板上方来看均以纵向方向为中心向所述上盖板方向呈锐角倾斜。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其中，包括：蒸镀源、蒸镀材料与显示器背板，所述蒸镀源用于加热所述蒸镀材料；所述蒸镀材料设置在所述蒸镀源的内部；所述显示器背板为所述蒸镀材料最终蒸镀到的位置，所述显示器背板与所述蒸镀源之间的距离定义为TS距离；其中，所述蒸镀源的顶部设置有上盖板，所述上盖板上设置有多个导流气孔，所述导流气孔用于引导被蒸镀的所述蒸镀材料运动至所述显示器背板；多个所述导流气孔包括：一中心直孔与围绕所述中心直孔的多圈斜孔，每圈所述斜孔从所述上盖板上方来看均以纵向方向为中心向所述上盖板方向呈锐角倾斜。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其中，多圈所述斜孔在所述上盖板上呈对称分布。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其中，每圈所述斜孔在纵向方向上与所述上盖板的夹角不同。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其中，所述夹角范围为...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙亮，
申请(专利权)人：深圳市核高基科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11