The present invention discloses a composition comprising: a block copolymer; wherein the copolymer comprises first and second polymers; wherein the block copolymer of the first polymer and the second polymer are different from each other and the block copolymer formation phase separated structure; polymer additives; wherein the polymer additive contains a bottle brush polymer; wherein the polymer bottle brush and the block contains a chemical copolymer in the polymer structure and the same homopolymer or wherein the polymer additive contains a block and the block copolymer of graft copolymers with priority of interaction; and solvent.
【技术实现步骤摘要】
技术介绍
本专利技术涉及用于定向自组装的共聚物配制品、其制造方法以及包含其的物件。嵌段共聚物的定向自组装(DSA)已被确认为扩展当前光学光刻技术水平的候选技术。在DSA中,通过将自组装嵌段共聚物纳米结构域引导到光刻图案化衬底来实现较小间距大小。用于DSA的主导方法中的一种涉及化学图案化以对准嵌段共聚物的片层状形态,所述嵌段共聚物如聚苯乙烯-嵌段-聚(甲基丙烯酸甲酯)或PS-b-PMMA。图1中示出的优选工艺方案以使一般由交联聚苯乙烯垫制成的稀疏导引条带(例如聚苯乙烯(PS))阵列图案化开始。在将条带蚀刻(也称为“蚀刻修整”)为恰当尺寸之后,将刷聚合物涂布在条带上,烘烤以诱导化学接枝,并且接着通过用溶剂(如丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA))冲洗去除过量刷聚合物以留下具有化学对比的相对平坦衬底。所述衬底接着用嵌段共聚物(例如聚(苯乙烯-b-甲基丙烯酸甲酯))处理,其在退火之后与所述衬底对准以使初始图案的密度倍增。在涉及首先施加刷,继而施加嵌段共聚物(BCP)的这一两步法中,刷的组合物必须控制在相当严格的范围内以实现良好DSA结果。因此需要使用组合物,其中结构域之间的对准可以易于实现并且其中聚合物的范围不会如此严格受控制。
技术实现思路
本文公开一种组合物,其包含:嵌段共聚物;其中所述嵌段共聚物包含第一聚合物和第二聚合物;其中所述嵌段共聚物的第一聚合物和第二聚合物彼此不同并且所述嵌段共聚物形成相分离结构;添加剂聚合物;其中所述添加剂聚合物包含瓶刷聚合物;其中所述瓶刷聚合物包含与所述嵌段共聚物中的聚合物中的一个化学上和结构上相同的均聚物或其中所述添加剂聚合物包含与所述嵌段共 ...
【技术保护点】
一种组合物,其包含:嵌段共聚物;其中所述嵌段共聚物包含第一聚合物和第二聚合物;其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同并且当独立地安置在衬底上时所述嵌段共聚物形成相分离结构,并且其中所述第一聚合物和所述第二聚合物的表面能差值大于0.5mN/m;添加剂聚合物;其中所述添加剂聚合物包含瓶刷聚合物;其中所述瓶刷聚合物包含与所述嵌段共聚物中的聚合物中的一个化学上和结构上相同的均聚物或其中所述添加剂聚合物包含与所述嵌段共聚物的嵌段中的一个具有优先相互作用的接枝共聚物;以及溶剂。
【技术特征摘要】
2015.02.26 US 62/1212681.一种组合物,其包含:嵌段共聚物;其中所述嵌段共聚物包含第一聚合物和第二聚合物;其中所述嵌段共聚物的所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同并且当独立地安置在衬底上时所述嵌段共聚物形成相分离结构,并且其中所述第一聚合物和所述第二聚合物的表面能差值大于0.5mN/m;添加剂聚合物;其中所述添加剂聚合物包含瓶刷聚合物;其中所述瓶刷聚合物包含与所述嵌段共聚物中的聚合物中的一个化学上和结构上相同的均聚物或其中所述添加剂聚合物包含与所述嵌段共聚物的嵌段中的一个具有优先相互作用的接枝共聚物;以及溶剂。2.根据权利要求1所述的组合物,其中所述瓶刷聚合物包含聚苯乙烯、聚硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸酯、聚乙酸乙烯酯、聚二烯、聚醚、聚酯、聚硅氧烷、聚有机锗烷或包含前述聚合物中的至少一种的组合。3.根据权利要求1所述的组合物,其中所述瓶刷聚合物是共聚物;其中所述共聚物是聚(苯乙烯-g-乙烯基吡啶)、聚(乙烯基吡啶-g-苯乙烯)、聚(苯乙烯-g-丁二烯)、聚(丁二烯-g-苯乙烯)、聚(苯乙烯-g-异戊二烯)、聚(异戊二烯-g-苯乙烯)、聚(苯乙烯-g-甲基丙烯酸甲酯)、聚(甲基丙烯酸甲酯-g-苯乙烯)、聚(叔丁基苯乙烯-g-甲基丙烯酸甲酯)、聚(甲基丙烯酸甲酯-g-叔丁基苯乙烯)、聚(苯乙烯-g-烯基芳族物)、聚(烯基芳族物-g-苯乙烯)、聚(异戊二烯-g-环氧乙烷)、聚(环氧乙烷-g-异戊二烯)、聚(苯乙烯-g-(乙烯-丙烯))、聚(乙烯丙烯)-g-苯乙烯)、聚(环氧乙烷-g-己内酯)、聚(己内酯-g-环氧乙烷)、聚(环氧乙烷-g-己内酯)、聚(丁二烯-g-环氧乙烷)、聚(环氧乙烷-g-丁二烯)、聚(苯乙烯-g-(甲基)丙烯酸叔丁酯)、聚(((甲基)丙烯酸叔丁酯)-g-苯乙烯)、聚(甲基丙烯酸叔丁酯-g-甲基丙烯酸甲酯)、聚(环氧乙烷-g-环氧丙烷)、聚(环氧丙烷-g-环氧乙烷)、聚(苯乙烯-g-四氢呋喃)、聚(四氢呋喃-g-苯乙烯)、聚(苯乙烯-g-异戊二烯-g-环氧乙烷)、聚(苯乙烯-g-二甲基硅氧烷)、聚(二甲基硅氧烷-g-苯乙烯)、聚(叔丁基苯乙烯-g-二甲基硅氧烷)、聚(二甲基硅氧烷-g-叔丁基苯乙烯)、聚(苯乙烯-g-甲基丙烯酸三甲基硅烷基甲酯)、聚(甲基丙烯酸三甲基硅烷基甲酯-g-苯乙烯)、聚(甲基丙烯酸甲酯-g-二甲基硅氧烷)...
【专利技术属性】
技术研发人员:P·D·休斯塔德,P·特雷福纳斯三世,V·V·金兹伯格,B·金,G·H·弗雷德里克森,
申请(专利权)人:陶氏环球技术有限公司,罗门哈斯电子材料有限责任公司,加利福尼亚大学董事会,
类型:发明
国别省市:美国;US
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