排气系统技术方案

本发明专利技术提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。【专利说明】排气系统
本专利技术涉及用来将涂布液涂布于基板上的涂布装置的排气系统，尤其涉及排出存在于管套内空气的排气系统。
技术介绍
在液晶显示器、等离子体显示器等平板显示器中使用在由玻璃等构成的基板上涂布抗蚀剂液的基板(称为涂布基板)。所述涂布基板通过使抗蚀剂液(以下，称为涂布液)均匀涂布的涂布装置来形成。也就是说，涂布装置包括用来放置基板的平台和具有排出涂布液的管套部的涂布单元，并通过进行从管套部的细缝喷嘴排出涂布液的同时使基板和涂布单元相对移动的涂布动作来在基板上形成固定厚度的涂布膜。 通常，在进行这种涂布动作之前，先进行如下述专利文献I所示的排气处理。也就是说，在管套部上设置有用来暂时贮存通过泵等供给的涂布液的歧管，如果在气泡或空气残留物等空气混在一起的状态下进行涂布动作，则排出涂布液的压力容易产生变化，将成为导致涂布不匀的主要原因。因此，通过排气处理将存在于歧管内的空气排出去，由此能够从细缝喷嘴稳定地排出涂布液，以能够防止涂布不匀的发生。 具体来说，如图5所示，在管套部100上与供给涂布液的涂布液供给孔101不同地设置有多个排出歧管102内空气的排气孔103。并且，对于每个排气孔103分别设置有排气罐104，排气孔103与排气罐104之间通过排气配管105——对应地连接。在排气处理中，通过从涂布液供给孔101供给涂布液来从细缝喷嘴106和排气孔103排出歧管102内存在的空气将与涂布液一同排出。并且，通过从涂布液供给孔101持续供给涂布液来将歧管102内的空气全部排出，以用涂布液填满歧管102。所述排气处理结束后，通过进行涂布动作来在基板上稳定地形成涂布膜。 现有技术文献 专利文献 专利文献I特开2009-131788号公报
技术实现思路
过去，贮存于排气罐内的涂布液(含有空气的涂布液)都要废弃掉。但是，近年来，随着液晶面板的价格下降，存在想要再利用贮存于排气罐内涂布液的需求。因此，通过使排气罐内贮存的涂布液在气泡去除装置中通过而完全去除涂布液中的空气后(脱气后)返回至用来向歧管供给涂布液的泵，由此实现涂布液的再利用。 但是，不仅在涂布前进行的排气处理需要时间，而且使排气罐内贮存的涂布液在气泡去除装置上通过而实现再利用也需要较长时间。其结果，存在整个涂布装置的生产处理时间变长的问题。另外，如果需要的时间较长，则会造成排气罐内贮存的涂布液在大气中长时间暴露而劣化。如果将这样的涂布液再利用，则会存在对涂布膜的品质产生影响的忧虑。 本专利技术是鉴于上述存在的问题而做出的，其目的在于提供一种排气系统，该排气系统能够在短时间内进行排气处理，并且能够抑制涂布液的劣化而再利用排气处理中排出的涂布液。 为了解决上述课题，本专利技术的排气系统，是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，其特征在于，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括:排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。 根据上述排气系统，能够通过用所述减压器对排气罐内的压力进行减压，从排气孔排出空气以及含有空气的涂布液(空气混入液)时，由于排气罐内的压力低于在大气压状态下排气的情况时的压力，因此能够在短时间内容易地从排气孔排出空气混入液。 并且，通过排气罐的减压，在排气罐内贮存的涂布液暴露于比大气压低的压力状态，因此，与排气罐内的压力为大气压的情况相比，容易排出涂布液中含有的空气(容易脱气)，并且能够在短时间内去除涂布液中含有的空气。另外，通过继续对排气罐进行减压，即使对在大气压中难以去除的涂布液中溶存的空气也能够去除。因此，不仅能够在短时间内进行排气处理，而且即使再利用排气罐内的涂布液时，也能够抑制涂布液的劣化。 另外，还可以是下述结构:在所述管套部上设置有多个排气孔，通过各排气孔与所述排气罐通过配管连接，从各排气孔排出的含有空气的涂布液被贮存于共有的排气罐内。 这样的结构，与各排气孔分别设有排气罐的情况相比，能够节省空间。另外，如果设置有多个排气罐，则为了使从各排气孔排出的涂布液的量调成一致，需要分别实施对排气罐进行减压时的压力设定。从该观点考虑，优选的是将从各排气孔排出的含有空气的涂布液贮存在共有的排气罐内的结构。 另外，还可以是下述结构:包括对所述排气罐内的压力进行加压的加压器，通过用所述加压器对所述排气罐内进行加压，使脱气后的所述排气罐内的涂布液返回到所述管套部的歧管内。 根据这种结构，在脱气结束后，通过所述加压器对排气罐内进行加压，由此贮存于排气罐内的涂布液能够返回到歧管内。也就是说，排气罐内的涂布液在脱气结束后不用通过气泡去除装置，可以立即返回到歧管内，因此，能够缩短脱气后的涂布液暴露于大气中的时间，并且能够尽可能抑制涂布液的劣化而返回至歧管内。 另外，还可以是下述结构:所述减压器和所述加压器为共有的压力调节器。 根据这种结构，由于减压器和加压器做成共有的压力调节器，因此能够减少装置的部件数量，以能够降低成本。 根据本专利技术的排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且能够抑制涂布液的劣化而再利用在排气处理中排出的涂布液。 【专利附图】【附图说明】 图1为示出本专利技术实施方式的涂布装置的立体图； 图2为示出涂布单元的脚部附近的概略图； 图3为概略地示出管套部和排气罐之间的配管路径的图； 图4为示出管套部的歧管的图； 图5为示出现有涂布装置的管套部和排气罐结构的图。 附图标号说明 10 基板 21 平台 25废液托盘 30涂布单元 34管套部 34a细缝喷嘴 41 歧管 42涂布液供给孔 43排气孔 44放气孔 53排气配管 60排气罐 70压力调节器 70a真空发生器 【具体实施方式】 利用【专利附图】【附图说明】根据本专利技术的实施方式。 图1为概略地示出本专利技术的设置有排气罐的涂布装置的立体图，图2为示出涂布装置的涂布单元的脚部附近的图，图3为概略地示出管套部与排气罐之间的配管路径的图，图4为示出管套部的歧管的图。 如图1?图4所示，涂布装置是用来在基板10上形成药液或抗蚀剂液等液状物(以下，称为涂布液)的涂布膜的装置，包括:基台2 ;平台21，用来放置基板10 ;涂布单元30，该涂布单元30以相对于所述平台21能够向特定方向移动的方式构成。 另外，在以下的说明中，将涂布单元30移动的方向作为X轴方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种排气系统，是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，其特征在于，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔、和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：堀内展雄，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP