排气系统技术方案
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。【专利说明】排气系统
本专利技术涉及用来将涂布液涂布于基板上的涂布装置的排气系统，尤其涉及排出存在于管套内空气的排气系统。
技术介绍
在液晶显示器、等离子体显示器等平板显示器中使用在由玻璃等构成的基板上涂布抗蚀剂液的基板(称为涂布基板)。所述涂布基板通过使抗蚀剂液(以下，称为涂布液)均匀涂布的涂布装置来形成。也就是说，涂布装置包括用来放置基板的平台和具有排出涂布液的管套部的涂布单元，并通过进行从管套部的细缝喷嘴排出涂布液的同时使基板和涂布单元相对移...
【技术保护点】
一种排气系统，是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，其特征在于，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔、和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。
【技术特征摘要】
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