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本发明提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在...
该专利属于东丽工程株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东丽工程株式会社授权不得商用。

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