【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，靶材组件包括背板和靶材，背板的焊合表面设有低熔点的背板焊料层，靶材的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层和低熔点的靶材焊料层；背板焊料层与靶材焊料层软焊接。靶材组件的制备方法，包括在背板的焊合表面涂覆背板焊料层，并加热背板焊料层使其成为熔融状态；在靶材的焊合表面用砂纸打磨；在靶材的砂纸打磨表面利用等离子喷涂方法喷涂等离子喷涂界面层；在确定无等离子喷涂界面层脱落后，在等离子喷涂界面层上涂覆靶材焊料层，并加热靶材焊料层使其成为熔融状态；将背板上熔融状态的背板焊料层与靶材上熔融状态的靶材焊料层进行软焊接合。使得靶材组件具有较佳的接合附着能力。【专利说明】
本专利技术涉及，属于工具与模具镀膜
。
技术介绍
目前，靶材多采用软焊接合的方法，现工业上进行靶材的焊合工艺时，最常使用的方法为与背板进行软焊接合，使用的焊料为低熔点的铟(In)或锡(Sn)材料。软焊接合方法的优点为处理温度低(通常小于280°C )，不会造成靶材后续不正常晶粒长大，但其缺点为接合度弱，且不同性质的靶材适用的软焊接合方法皆有些不同。
技术实现思路
针...
【技术保护点】
一种靶材组件，包括背板（1）和靶材（5），其特征在于，所述背板（1）的焊合表面设有低熔点的背板焊料层（2），所述靶材（5）的焊合表面从内到外依次设有等离子喷涂界面层（4）和低熔点的靶材焊料层（3）；所述背板焊料层（2）与靶材焊料层（3）软焊接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊杰，黄威智，方家芳，
申请(专利权)人：昆山全亚冠环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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