本发明专利技术公开了一种旋转靶材的表面处理装置，其技术方案是：包括支撑板，所述支撑板顶部设有打磨机构，所述支撑板底部设有收集机构；所述打磨机构包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分别固定设于支撑板顶部两侧，所述第一固定板一侧设有夹持组件，所述第二固定板一侧设有电机，本发明专利技术的有益效果是：通过打磨机构的设计，可以通过往复丝杆等结构带动打磨片来回移动，通过转动板等结构的设计可以使打磨片转动，即可通过打磨片对靶材的表面进行处理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在较多的车刀纹的问题，使得成型后的靶材拥有良好的外观，保证了靶材的正常使用。靶材的正常使用。靶材的正常使用。
【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材的表面处理装置
[0001]本专利技术涉及旋转靶材
，具体涉及一种旋转靶材的表面处理装置。
技术介绍
[0002]光伏太阳能作为21世纪最理想的新能源，近年来发展十分迅猛。数据显示，全球对光伏太阳能电池的需求每年40％的速度增长，靶材作为配套耗材，需求量也呈现出激增，靶材以溅射薄膜方式被消耗，主要用作TFT栅极，和太阳能电池组件的金属堆叠层等，旋转靶材主要用于太阳能光伏行业，由于其利用率高，镀膜均匀性好，适用于大面积连续性磁控溅射生产线，已经成为未来靶材发展的新趋势，管状旋转靶的理论利用率可达70％，大大高于平面靶20％-30％的利用率，大大降低了镀膜生产成本，是靶材的发展方向。
[0003]现有技术存在以下不足：现有技术中的旋转靶材在经过机械加工完成后，旋转靶材表面存在车刀纹，导致靶材表面粗糙，不但影响旋转靶材的外观，同时还会对旋转靶材的使用造成一定的影响，不便于使用者的使用。
[0004]因此，专利技术一种旋转靶材的表面处理装置很有必要。
技术实现思路
[0005]为此，本专利技术提供一种旋转靶材的表面处理装置，通过打磨机构的设计，可以通过往复丝杆等结构带动打磨片来回移动，通过转动板等结构的设计可以使打磨片转动，即可通过打磨片对靶材的表面进行处理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在较多的车刀纹的问题，使得成型后的靶材拥有良好的外观，保证了靶材的正常使用，以解决靶材表面粗糙，不但影响旋转靶材的外观，同时还会对旋转靶材的使用造成一定的影响的问题。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种旋转靶材的表面处理装置，包括支撑板，所述支撑板顶部设有打磨机构，所述支撑板底部设有收集机构；
[0007]所述打磨机构包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分别固定设于支撑板顶部两侧，所述第一固定板一侧设有夹持组件，所述第二固定板一侧设有电机，所述电机通过输出轴固定连接有转动杆，所述转动杆设于第二固定板一侧并贯穿第二固定板，所述转动杆一侧固定设有往复丝杆，所述往复丝杆外部设有轴承座，所述轴承座底部固定设有连接块，所述连接块底部固定设有移动框，所述移动框内部设有移动板，所述移动框与移动板通过轴承连接，所述第二固定板内部设有连接杆，所述连接杆与第二固定板通过轴承连接，所述连接杆一端延伸出第二固定板一侧，所述连接杆一端固定设有转动板，所述转动板一侧固定设有竹节式伸缩杆，所述竹节式伸缩杆一侧与转动板固定连接，所述转动板一侧固定设有横板，所述横板底部设有衔接板，所述横板和衔接板之间固定设有多个伸缩杆，多个所述伸缩杆外部均固定设有弹簧，所述衔接板底部固定设有打磨片，所述连接杆另一端延伸出第二固定板另一侧，所述连接杆外部设有传动组件；
[0008]所述传动组件包括第一皮带轮，所述第一皮带轮固定设于转动杆外部，所述连接
杆外部固定设有第二皮带轮，所述第一皮带轮和第二皮带轮之间设有皮带，所述第一皮带轮和第二皮带轮通过皮带连接。
[0009]优选的，所述支撑板顶部固定设有支撑台，所述支撑台设于第二固定板一侧，所述支撑台顶部与电机底部固定连接，所述连接杆另一端与支撑台通过轴承连接。
[0010]优选的，所述往复丝杆一侧固定设有衔接杆，所述衔接杆一侧与第二固定板通过轴承连接。
[0011]优选的，所述轴承座顶部固定设有限位块，所述第一固定板和第二固定板之间固定设有限位杆，所述限位杆设于往复丝杆顶部，所述限位杆贯穿限位块。
[0012]优选的，所述夹持组件包括螺纹杆，所述螺纹杆外部固定设有两个夹板，两个所述夹板均与螺纹杆通过螺纹连接且两个夹板螺纹旋向相反，所述第一固定板上开设有通槽，两个所述夹板均贯穿通槽并延伸出通槽一侧，所述螺纹杆顶部设有把手。
[0013]优选的，所述收集机构包括网板，所述网板镶嵌于支撑板内部，所述支撑板底部固定设有风罩，所述风罩设于网板底部，所述风罩底部固定连接收集箱，所述收集箱一侧固定设有过滤网，所述过滤网一侧固定设有风机，所述收集箱底部设有活动门，所述活动门与收集箱通过合页连接。
[0014]优选的，所述支撑板底部两侧均固定设有竖板，其中一个所述竖板一侧固定设有挡板，所述挡板顶部与风机底部固定连接，另一个所述竖板一侧固定设有固定杆，所述固定杆与收集箱一侧固定连接。
[0015]优选的，所述传动组件包括第一齿轮，所述第一齿轮固定设于转动杆外部，所述连接杆外部固定设有第二齿轮，所述第二齿轮设于第一齿轮底部并与第一齿轮相啮合。
[0016]本专利技术的有益效果是：
[0017]1、本专利技术通过打磨机构的设计，可以通过往复丝杆等结构带动打磨片来回移动，通过转动板等结构的设计可以使打磨片转动，即可通过打磨片对靶材的表面进行处理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在较多的车刀纹的问题，使得成型后的靶材拥有良好的外观，保证了靶材的正常使用；
[0018]2、本专利技术通过收集机构的设计，可以对打磨片打磨下的靶材粉末进行收集，可将活动门打开，再将活动门内部的靶材粉末取出，可以对靶材粉末进行再次利用，避免了靶材粉末的浪费，节省了制作靶材时的原料，同时也给使用者提供了一个安全舒适的工作环境；
[0019]3、本专利技术通过传动组件的设计，可使电机同时带动往复丝杆和连接杆转动，节省了本专利技术的生产成本，便于使用者的使用。
附图说明
[0020]图1为本专利技术提供的整体结构示意图；
[0021]图2为本专利技术提供的图1中的A处放大图；
[0022]图3为本专利技术提供的移动框的立体图；
[0023]图4为本专利技术提供的收集箱的立体图；
[0024]图5为本专利技术提供的收集箱的仰视图；
[0025]图6为本专利技术提供的实施例2的剖视图；
[0026]图中：1支撑板、2第一固定板、3第二固定板、4电机、5转动杆、6往复丝杆、7轴承座、
8连接块、9移动框、10移动板、11连接杆、12转动板、13竹节式伸缩杆、14横板、15衔接板、16伸缩杆、17弹簧、18打磨片、19第一皮带轮、20第二皮带轮、21皮带、22支撑台、23衔接杆、24限位块、25限位杆、26螺纹杆、27夹板、28通槽、29把手、30网板、31风罩、32收集箱、33过滤网、34风机、35活动门、36竖板、37第一齿轮、38第二齿轮。
具体实施方式
[0027]以下结合附图对本专利技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0028]实施例1，参照附图1-5，本专利技术提供的一种旋转靶材的表面处理装置，包括支撑板1，所述支撑板1顶部设有打磨机构，所述支撑板1底部设有收集机构；
[0029]所述打磨机构包括第一固定板2和第二固定板3，所述第一固定板2和第二固定板3分别固定设于支撑板1顶部两侧，所述第一固定板2一侧设有夹持组件，所述第二固定板3一侧设有电机4，所述电机4通过输出轴固定连接有转动杆5，所述转本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材的表面处理装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)顶部设有打磨机构，所述支撑板(1)底部设有收集机构；所述打磨机构包括第一固定板(2)和第二固定板(3)，所述第一固定板(2)和第二固定板(3)分别固定设于支撑板(1)顶部两侧，所述第一固定板(2)一侧设有夹持组件，所述第二固定板(3)一侧设有电机(4)，所述电机(4)通过输出轴固定连接有转动杆(5)，所述转动杆(5)设于第二固定板(3)一侧并贯穿第二固定板(3)，所述转动杆(5)一侧固定设有往复丝杆(6)，所述往复丝杆(6)外部设有轴承座(7)，所述轴承座(7)底部固定设有连接块(8)，所述连接块(8)底部固定设有移动框(9)，所述移动框(9)内部设有移动板(10)，所述移动框(9)与移动板(10)通过轴承连接，所述第二固定板(3)内部设有连接杆(11)，所述连接杆(11)与第二固定板(3)通过轴承连接，所述连接杆(11)一端延伸出第二固定板(3)一侧，所述连接杆(11)一端固定设有转动板(12)，所述转动板(12)一侧固定设有竹节式伸缩杆(13)，所述竹节式伸缩杆(13)一侧与转动板(12)固定连接，所述转动板(12)一侧固定设有横板(14)，所述横板(14)底部设有衔接板(15)，所述横板(14)和衔接板(15)之间固定设有多个伸缩杆(16)，多个所述伸缩杆(16)外部均固定设有弹簧(17)，所述衔接板(15)底部固定设有打磨片(18)，所述连接杆(11)另一端延伸出第二固定板(3)另一侧，所述连接杆(11)外部设有传动组件；所述传动组件包括第一皮带轮(19)，所述第一皮带轮(19)固定设于转动杆(5)外部，所述连接杆(11)外部固定设有第二皮带轮(20)，所述第一皮带轮(19)和第二皮带轮(20)之间设有皮带(21)，所述第一皮带轮(19)和第二皮带轮(20)通过皮带(21)连接。2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的表面处理装置，其特征在于：所述支撑板(1)顶部固定设有支撑台(22)，所述支撑台(22)设于第二固定板(3)一侧，所述支撑台(22)顶部与电机(4)底部固定连接，所述连接杆(11)另一端与支撑...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘耀文，黄军浩，
申请(专利权)人：昆山全亚冠环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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