【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种全自动兆声波半导体晶圆清洗设备,其特征在于,包括:壳体(10)及设置于壳体(10)上方的腔体(12);所述壳体(10)中固定安装有电控箱(11)、兆声波发生器(13)、主轴升降机构(20)和真空吸附机构(30),所述兆声波发生器(13)与电控箱(11)连接;所述主轴升降机构(20)包括气缸(21)、伺服电机(22)、气缸托架(23)、减震垫(24)、滑动板(31)、直线轴(32)、主轴轴套(33)和直线轴固定件(34),所述伺服电机(22)与电控箱(11)连接,所述气缸托架(23)安装在气缸(21)上端,通过气缸(21)控制上升或下降;所述滑动板(31)下端通过减震垫(24)与气缸托架(23)连接,上端设置有主轴轴套(33)和多个直线轴(32),所述直线轴(32)上端固定在直线轴固定件(34)上;所述真空吸附机构(30)包括安装在电控箱(11)中的真空发生器,所述真空发生器通过气管与设置在主轴轴套(33)内的密闭腔体连通,通过真空发生器将密闭腔体内的空气抽干,以形成真空吸附,便于安装和取放工件;所述腔体(12)中设置有一清洗盘(50),所述清洗盘(50)上方设置有二流体清洗机构(6 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:高辉武,曾志家,
申请(专利权)人:深圳市凯尔迪光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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