高精密集成电路离心清洗设备制造技术

本发明专利技术公开了一种高精密集成电路离心清洗设备，包括清洗室，清洗液箱，喷嘴，第一发热管，第二发热管，清洗管，离心转轴，带动离心转轴转动的电机，第一进气管和第一进水管；清洗室内设有夹紧待洗元件的夹紧件，夹紧件与离心转轴固定连接，第一进水管的一端与第二发热管连接，另一端与喷嘴连接，喷嘴伸入清洗室内；第一进气管的一端与第一发热管的出口连接，另一端与第一进水管的中部连通，第一发热管的进口通过设有的第二进气管与外部压缩空气连接；清洗管的一端与清洗液箱连接，另一端伸入清洗室内。它的优点是清洗液和水依次对元件清洗，由于元件随着偏心轴在清洗室内做偏心运动，因此能够全面对元件进行清洗，清洗效果好。

【技术实现步骤摘要】
高精密集成电路离心清洗设备
本专利技术涉及清洗机，尤其是一种高精密集成电路离心清洗设备。
技术介绍
印制板、电子电路部件、精密零件、医疗器械、晶圆和倒装芯片等诸多产品在加工完后需要清洗，现有的清洗机只能对这些产品的一个面或者某个部位清洗，其它部位很难清洗；同时现有的清洗机只能单纯的清洗，需要另外增加干燥装置对清洗后的产品干燥，因此结构复杂。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决现有技术的不足，提供一种高精密集成电路离心清洗设备。本专利技术的一种技术方案：一种高精密集成电路离心清洗设备，包括清洗室，清洗液箱，喷嘴，第一发热管，第二发热管，清洗管，离心转轴，带动离心转轴转动的电机，第一进气管和第一进水管；清洗室内设有夹紧待洗元件的夹紧件，夹紧件与离心转轴固定连接，第一进水管的一端与第二发热管连接，另一端与喷嘴连接，喷嘴伸入清洗室内；第一进气管的一端与第一发热管的出口连接，另一端与第一进水管的中部连通，第一发热管的进口通过设有的第二进气管与外部压缩空气连接；清洗室的底部设有排液管，清洗室的顶部设有排气管，清洗管的一端与清洗液箱连接，另一端伸入清洗室内。一种优选的方案是清洗室内设有超声波震板。一种优选的方案是高精密集成电路离心清洗设备还包括漂洗箱，漂洗箱的出液口通过设有的第二进水管与第二发热管连接，漂洗箱内设有第三发热管。一种优选的方案是高精密集成电路离心清洗设备还包括DI水箱和原液箱体，DI水箱和原液箱体的出液口分别与清洗液箱连接，第二进水管通过第三进水管与DI水箱连接，第二进气管通过第三进气管与清洗液箱连接，且第三进气管伸入清洗液箱的底部，清洗液箱内设有第四发热管。一种优选的方案是清洗管从清洗液箱端至清洗室端依次设有卧式泵浦，过滤器和气动阀，过滤器连接有常闭阀，卧式泵浦和过滤器之间连接有常开阀，常开阀连接有气动隔膜泵。一种优选的方案是第三进气管内设有电磁阀和调速阀。一种优选的方案是所述第一进气管内设有气动阀和针阀，所述气动阀和针阀之间设有热电偶。综合上述技术方案，本专利技术的有益效果：清洗液和水依次对元件清洗，由于元件随着偏心轴在清洗室内做偏心运动，因此能够全面对元件进行清洗，清洗效果好；清洗，水洗和干燥都在清洗室内完成，清洗效率高，清洗连续，结构简单；第二发热管对经过其内的水加热，加热后的水沿着第一进水管流向喷嘴，加热后的水对原件进行水洗，因此水洗效果好。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1是本专利技术的立体图一；图2是本专利技术的立体图二；图3是本专利技术的管路图。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图对本专利技术做进一步描述。第一实施例，如图1至图3所示，一种高精密集成电路离心清洗设备，包括清洗室10，清洗液箱20，喷嘴11，第一发热管30，第二发热管40，清洗管26，离心转轴，带动离心转轴转动的电机70，第一进气管31和第一进水管32；清洗室10内设有夹紧待洗元件的夹紧件71，夹紧件71与离心转轴固定连接，离心转轴带动夹紧件71做离心运动，第一进水管32的一端与第二发热管40连接，另一端与喷嘴11连接，喷嘴11伸入清洗室10内；第一进气管31的一端与第一发热管30的出口连接，另一端与第一进水管32的中部连通，第一发热管30的进口通过设有的第二进气管33与外部压缩空气连接；清洗室10的底部设有排液管12，清洗室10的顶部设有排气管13，清洗管26的一端与清洗液箱20连接，另一端伸入清洗室10内。清洗液箱20内装有清洗液，清洗液沿着清洗管26进入清洗室10内并对清洗室10内的待洗元件清洗，由于离心转轴带动夹紧件71做偏心运动，待洗元件随着夹紧件71一起做偏心运动，因此能够全面将待洗元件清洗干净，清洗液从排液管12排出；当清洗液对待洗元件清洗完之后，第二发热管40对经过其内的水加热，加热后的水沿着第一进水管32流向喷嘴11，加热后的水对原件进行水洗，此时元件随着夹紧件71一起做偏心运动，能够全面对元件进行全面水洗，水洗完之后，水从排液管12排出；水洗完之后，第一发热管30对流经其内的空气加热，加热后的空气沿着第一进气管31流向清洗室10内，元件在清洗室10内被加热的空气干燥，清洗室10内多余的热空气从排气管13排出，排气管13连接有冷却箱14，冷却箱14内的冷却液体对热空气冷却。元件可以在清洗室10内完成清洗，水洗和干燥，结构简单，连续性好，效率高。清洗室10内设有超声波震板。超声波震板产生超声波，超声波对元件表面的污垢进行清洗，增加了元件清洗效果。第二实施例，如图1至图3所示，高精密集成电路离心清洗设备还包括漂洗箱50，漂洗箱50的出液口通过设有的第二进水管51与第二发热管40连接，漂洗箱50内设有第三发热管52。漂洗箱50内装有漂洗液，第二发热管40对第二进水管51内的漂洗液加热，加热之后的漂洗液沿着第二进水管51和第一进水管32流向喷嘴11，最终从喷嘴11喷向元件，对元件进行漂洗。第三实施例，如图1至图3所示，高精密集成电路离心清洗设备还包括DI水箱61和原液箱体62，DI水箱61和原液箱体62的出液口分别与清洗液箱20连接，第二进水管51通过第三进水管63与DI水箱61连接，第二进气管33通过第三进气管21与清洗液箱20连接，且第三进气管21伸入清洗液箱20的底部，清洗液箱20内设有第四发热管22。分别控制DI水箱61内水的体积和原液箱体62内原液的体积，便可以在清洗液箱20内调节出不同溶度的原液，第四发热管22对清洗液箱20内的原液加热，加热后的原液沿着清洗管26流向清洗室10并对其内的元件清洗。具体的，如图1至图3所示，清洗管26从清洗液箱20端至清洗室10端依次设有卧式泵浦23，过滤器24和气动阀25，过滤器24连接有常闭阀，卧式泵浦23和过滤器24之间连接有常开阀，常开阀连接有气动隔膜泵。如图1至图3所示，第三进气管21内设有电磁阀29和调速阀28，压缩的空气沿着第二进气管33和第三进气管21流向清洗液箱20内，对清洗液箱20内鼓气。电磁阀29可以关闭第三进气管21，调速阀28可以调节进入清洗液箱20内气体量。如图1至图3所示，第一进气管31内设有气动阀25和针阀27，气动阀25和针阀27之间设有热电偶34。首先关闭气动阀25和针阀27，第二发热管40对经过其内的水加热，加热后的水沿着第一进水管32流向喷嘴11，加热后的水对原件进行水洗，此时元件随着夹紧件71一起做偏心运动，能够全面对元件进行全面水洗，水洗完之后，水从排液管12排出；打开气动阀25和针阀27，第一发热管30对流经其内的空气加热，加热后的空气沿着第一进气管31流向清洗室10内，元件在清洗室10内被加热的空气干燥。以上是本专利技术的具体实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精密集成电路离心清洗设备，其特征在于，包括清洗室，清洗液箱，喷嘴，第一发热管，第二发热管，清洗管，离心转轴，带动离心转轴转动的电机，第一进气管和第一进水管；所述清洗室内设有夹紧待洗元件的夹紧件，所述夹紧件与离心转轴固定连接，第一进水管的一端与第二发热管连接，另一端与喷嘴连接，所述喷嘴伸入清洗室内；第一进气管的一端与第一发热管的出口连接，另一端与第一进水管的中部连通，所述第一发热管的进口通过设有的第二进气管与外部压缩空气连接；所述清洗室的底部设有排液管，所述清洗室的顶部设有排气管，所述清洗管的一端与清洗液箱连接，另一端伸入清洗室内。

【技术特征摘要】
1.一种高精密集成电路离心清洗设备，其特征在于，包括清洗室，清洗液箱，喷嘴，第一发热管，第二发热管，清洗管，离心转轴，带动离心转轴转动的电机，第一进气管和第一进水管；所述清洗室内设有夹紧待洗元件的夹紧件，所述夹紧件与离心转轴固定连接，第一进水管的一端与第二发热管连接，另一端与喷嘴连接，所述喷嘴伸入清洗室内；第一进气管的一端与第一发热管的出口连接，另一端与第一进水管的中部连通，所述第一发热管的进口通过设有的第二进气管与外部压缩空气连接；所述清洗室的底部设有排液管，所述清洗室的顶部设有排气管，所述清洗管的一端与清洗液箱连接，另一端伸入清洗室内。2.根据权利要求1所述的高精密集成电路离心清洗设备，其特征在于，所述清洗室内设有超声波震板。3.根据权利要求1所述的高精密集成电路离心清洗设备，其特征在于，所述高精密集成电路离心清洗设备还包括漂洗箱，所述漂洗箱的出液口通过设有的第二进水管与第二发热管连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄绍炎，张彦平，曾志家，廖许胜，
申请(专利权)人：深圳市凯尔迪光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44