【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清洗设备，尤其涉及一种用于晶圆加工的载板清洗设备。
技术介绍
1、在晶圆加工制造设备中，中间工艺转运时需要特殊的载板进行转移，因此对运输转移载具洁净度要求非常高且非常苛刻。为了满足晶圆加工载具的洁净度要求，需要对载板进行定期清洗处理，且整个清洗过程也需要在密闭、无人空间内自动化执行，基于此需要一种特定的自动对载板进行清洗的设备。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于晶圆加工的载板清洗设备及其清洗方法，以解决现有载板自动清洗的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术的实施例提供了一种用于晶圆加工的载板清洗设备，其包括:防护外壳，设置于所述防护外壳内的真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件以及机械手，所述防护外壳上还设有开合门，所述开合门所在的门口处还设有载板输送组件；
4、其中，所述载板输送组件用于将用于晶圆加工的载板从上一工序转运至所述防护外壳内；
5、所述真空干燥组件用于将所述载板输送组件转移的载板进行真空干燥处理；
6、所述箱盖分离组件用于将载板的箱体和盖体解锁以致二者处于分离状态；
7、所述箱体清洗组件用于将载板的箱体部分进行清洗处理；
8、所述盖体清洗组件用于将载板的盖体部分进行清洗处理；
9、所述机械手用于将载板、箱体以及盖体按照设定工序分别转移至对应的工位。
10、
11、其中，所述载板输送组件包括：移动平台单元以及驱动所述移动平台单元往复移动的平台驱动单元；所述移动平台单元包括：载台，连接于所述载台上的充气接头、抽气接头、定位件以及锁紧件，所述充气接头用于与载板的充气口连接，所述抽气接头用于与载板的抽气口连接，所述定位件用于对载板放置于移动平台组件的位置进行定位，所述锁紧件用于在载板移动过程中将载板锁紧固定；其中，所述锁紧件包括：两个互为反向设置的锁紧单元，所述锁紧单元包括：连接于所述载台内的驱动件，活动连接于所述驱动件的驱动端的锁扣，所述载台上设有用于所述锁扣穿设的开孔，所述锁扣转动设置于所述开孔中，由所述驱动件驱动所述锁扣摆动以致与载板闭锁或开锁。
12、其中，所述真空干燥组件包括：底部开口的真空罐，连接于所述真空罐的支架，连接于所述支架上的第一驱动件，与所述第一驱动件的驱动方向平行设置的至少一个导轨，以及可密封盖合于所述真空罐的底部开口的真空罐盖；所述真空罐盖的周缘还设有至少两个垂直弯折而出的连接臂，所述连接臂上设有滑块，所述滑块滑动连接于所述导轨，且所述第一驱动件的驱动端连接于所述真空罐盖，由所述第一驱动件驱动真空罐盖沿着所述导轨滑动以致真空罐盖与所述真空罐的底部开口实现封闭或打开。
13、其中，所述箱盖分离组件包括：水平设置的底板，垂直连接于所述底板的侧板，以及连接于所述侧板上的解锁单元；所述解锁单元包括：转动连接于所述侧板上的至少一个摆臂，连接于侧板背部的第二驱动件，连接于所述第二驱动件的驱动端的联动板，所述联动板上设有与所述摆臂数量相同的导向孔，所述摆臂的前端设有解锁头，后端活动插接于所述导向孔内，由所述第二驱动件驱动所述联动板，并由所述联动板带动所述摆臂偏转，以致所述解锁头转动，打开载板上的转动锁。
14、其中，所述盖体清洗组件包括：具有顶部开口的底部腔体，可盖合于所述底部腔体的顶部开口的顶部盖体，设置于所述底部腔体内的旋转清洗单元；所述底部腔体的底部还设有支撑单元，所述支撑单元上设有第三驱动件以及与所述第三驱动件的驱动方形平行设置的升降导轨，所述顶部盖体的周缘还设有向下弯折的滑动臂，所述滑动臂滑动连接于所述升降导轨，且所述第三驱动件的驱动端连接于所述顶部盖体；所述旋转清洗单元包括：旋转支架，所述旋转支架上设有用于对盖体定位的定位部以及若干喷射清洗剂的喷头，以及用于驱动所述旋转支架转动的第四驱动件。
15、其中，所述箱体清洗组件包括：顶部开口的清洗罐，可盖合于所述清洗罐的顶部开口的上盖，以及设置于所述清洗罐内的清洗单元；所述清洗罐连接于一支撑座，所述支撑座上还设有第五驱动件以及与所述第五驱动件的驱动方向平行的滑轨，所述上盖的周缘还设有向下弯折的滑行臂，所述滑行臂滑动连接于所述滑轨，且所述第五驱动件的驱动端连接于所述上盖；所述清洗单元包括：转盘，连接于所述转盘上的若干第一风切喷杆和第一水洗喷杆，以及连接于所述清洗罐的底部若干第二风切喷杆和第二水洗喷杆，所述第二风切喷杆和所述第二水洗喷杆均环绕于所述转盘外侧设置，以及用于驱动所述转盘转动的第六驱动件。
16、其中，所述机械手的底部还设有直线移动模组，所述机械手上还设有载板抓取组件；所述直线移动模组用于带动所述机械手在清洗腔内做直线往复移动，所述载板抓取组件用于取放载板；所述载板抓取组件包括：连接座，连接于所述连接座上的驱动组件和锁紧组件，以及受控于所述驱动组件开合移动的第一夹爪组件和第二夹爪组件，所述第一夹爪组件和第二夹爪组件受控所述驱动组件在同一平面内相向或相背移动以致实现与载板的取放动作，所述锁紧组件可伸缩移动，且移动方向垂直于所述第一夹爪组件和第二夹爪组件的移动平面，以致锁紧组件顶紧或远离所述载板，当所述载板被抓取时，所述第一夹爪组件、所述第二夹爪组件以及所述锁紧组件均锁固于所述载板。
17、其中，所述防护外壳包括：前部壳体以及连接于所述前部壳体的后部壳体，所述前部壳体和所述后部壳体共同围合成清洗空间，所述清洗空间内设有至少两组所述真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件，所述前部壳体上还设有至少两组所述载板输送组件。
18、本专利技术还提供了一种载板的清洗方法，所述清洗方法由如上任意一项所述的用于晶圆加工的载板清洗设备执行，其包括以下步骤：
19、第一步、由载板输送组件将载板由上一工序转移至防护外壳的清洗空间内，并同步对载板内部进行充氮气处理；
20、第二步、由直线移动模组驱动机械手移动至载板输送组件后方，再由载板抓取组件将载板取出并转移箱盖分离组件处；
21、第三步、由箱盖分离组件将载板的箱体和盖体解锁以致二者处于分离状态；
22、第四步、由机械手带动载板取放组件将分离状态的箱体和盖体分别转移至箱体清洗组件处和盖体清洗组件处；
23、第五步、由所述箱体清洗组件和盖体清洗组件同步动作，对箱体和盖体分别独立进行全面清洗；
24、第六步、将完成清洗的箱体和盖体再次由机械手转移至中转载台处，完成箱体和盖体的上锁并对载板内部进行充氮气处理；
25、第七步、由机械手抓取充氮气处理后的载板转移至载板输送组件，并由载板输送组件本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，包括:防护外壳，设置于所述防护外壳内的真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件以及机械手，所述防护外壳上还设有开合门，所述开合门所在的门口处还设有载板输送组件；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述防护外壳包括：具有清洗腔的壳体，设置于壳体顶部的至少一个第一风机过滤单元，以及设置于所述壳体底部的至少一个第二风机过滤单元；所述第一风机过滤单元用于向所述清洗腔内输送过滤后的空气，所述第二风机过滤单元用于将所述清洗腔内的空气抽出外排。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述载板输送组件包括：移动平台单元以及驱动所述移动平台单元往复移动的平台驱动单元；所述移动平台单元包括：载台，连接于所述载台上的充气接头、抽气接头、定位件以及锁紧件，所述充气接头用于与载板的充气口连接，所述抽气接头用于与载板的抽气口连接，所述定位件用于对载板放置于移动平台组件的位置进行定位，所述锁紧件用于在载板移动过程中将载板锁紧固定；其中，所述锁紧件包括：两个互为反向设置的
4.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述真空干燥组件包括：底部开口的真空罐，连接于所述真空罐的支架，连接于所述支架上的第一驱动件，与所述第一驱动件的驱动方向平行设置的至少一个导轨，以及可密封盖合于所述真空罐的底部开口的真空罐盖；所述真空罐盖的周缘还设有至少两个垂直弯折而出的连接臂，所述连接臂上设有滑块，所述滑块滑动连接于所述导轨，且所述第一驱动件的驱动端连接于所述真空罐盖，由所述第一驱动件驱动真空罐盖沿着所述导轨滑动以致真空罐盖与所述真空罐的底部开口实现封闭或打开。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述箱盖分离组件包括：水平设置的底板，垂直连接于所述底板的侧板，以及连接于所述侧板上的解锁单元；所述解锁单元包括：转动连接于所述侧板上的至少一个摆臂，连接于侧板背部的第二驱动件，连接于所述第二驱动件的驱动端的联动板，所述联动板上设有与所述摆臂数量相同的导向孔，所述摆臂的前端设有解锁头，后端活动插接于所述导向孔内，由所述第二驱动件驱动所述联动板，并由所述联动板带动所述摆臂偏转，以致所述解锁头转动，打开载板上的转动锁。
6.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述盖体清洗组件包括：具有顶部开口的底部腔体，可盖合于所述底部腔体的顶部开口的顶部盖体，设置于所述底部腔体内的旋转清洗单元；所述底部腔体的底部还设有支撑单元，所述支撑单元上设有第三驱动件以及与所述第三驱动件的驱动方形平行设置的升降导轨，所述顶部盖体的周缘还设有向下弯折的滑动臂，所述滑动臂滑动连接于所述升降导轨，且所述第三驱动件的驱动端连接于所述顶部盖体；所述旋转清洗单元包括：旋转支架，所述旋转支架上设有用于对盖体定位的定位部以及若干喷射清洗剂的喷头，以及用于驱动所述旋转支架转动的第四驱动件。
7.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述箱体清洗组件包括：顶部开口的清洗罐，可盖合于所述清洗罐的顶部开口的上盖，以及设置于所述清洗罐内的清洗单元；所述清洗罐连接于一支撑座，所述支撑座上还设有第五驱动件以及与所述第五驱动件的驱动方向平行的滑轨，所述上盖的周缘还设有向下弯折的滑行臂，所述滑行臂滑动连接于所述滑轨，且所述第五驱动件的驱动端连接于所述上盖；所述清洗单元包括：转盘，连接于所述转盘上的若干第一风切喷杆和第一水洗喷杆，以及连接于所述清洗罐的底部若干第二风切喷杆和第二水洗喷杆，所述第二风切喷杆和所述第二水洗喷杆均环绕于所述转盘外侧设置，以及用于驱动所述转盘转动的第六驱动件。
8.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述机械手的底部还设有直线移动模组，所述机械手上还设有载板抓取组件；所述直线移动模组用于带动所述机械手在清洗腔内做直线往复移动，所述载板抓取组件用于取放载板；所述载板抓取组件包括：连接座，连接于所述连接座上的驱动组件和锁紧组件，以及受控于所述驱动组件开合移动的第一夹爪组件和第二夹爪组件，所述第一夹爪组件和第二夹爪组件受控所述驱动组件在同一平面内相向或相背移动以致实现与载板的取放动作，所述锁紧组件可伸缩移动，且移动方向垂直于所述第一夹爪组件和第二夹爪组件的移动平面，以致锁紧组件顶紧或远离所述载板，当所述载板...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，包括:防护外壳，设置于所述防护外壳内的真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件以及机械手，所述防护外壳上还设有开合门，所述开合门所在的门口处还设有载板输送组件；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述防护外壳包括：具有清洗腔的壳体，设置于壳体顶部的至少一个第一风机过滤单元，以及设置于所述壳体底部的至少一个第二风机过滤单元；所述第一风机过滤单元用于向所述清洗腔内输送过滤后的空气，所述第二风机过滤单元用于将所述清洗腔内的空气抽出外排。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述载板输送组件包括：移动平台单元以及驱动所述移动平台单元往复移动的平台驱动单元；所述移动平台单元包括：载台，连接于所述载台上的充气接头、抽气接头、定位件以及锁紧件，所述充气接头用于与载板的充气口连接，所述抽气接头用于与载板的抽气口连接，所述定位件用于对载板放置于移动平台组件的位置进行定位，所述锁紧件用于在载板移动过程中将载板锁紧固定；其中，所述锁紧件包括：两个互为反向设置的锁紧单元，所述锁紧单元包括：连接于所述载台内的驱动件，活动连接于所述驱动件的驱动端的锁扣，所述载台上设有用于所述锁扣穿设的开孔，所述锁扣转动设置于所述开孔中，由所述驱动件驱动所述锁扣摆动以致与载板闭锁或开锁。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述真空干燥组件包括：底部开口的真空罐，连接于所述真空罐的支架，连接于所述支架上的第一驱动件，与所述第一驱动件的驱动方向平行设置的至少一个导轨，以及可密封盖合于所述真空罐的底部开口的真空罐盖；所述真空罐盖的周缘还设有至少两个垂直弯折而出的连接臂，所述连接臂上设有滑块，所述滑块滑动连接于所述导轨，且所述第一驱动件的驱动端连接于所述真空罐盖，由所述第一驱动件驱动真空罐盖沿着所述导轨滑动以致真空罐盖与所述真空罐的底部开口实现封闭或打开。
5.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，所述箱盖分离组件包括：水平设置的底板，垂直连接于所述底板的侧板，以及连接于所述侧板上的解锁单元；所述解锁单元包括：转动连接于所述侧板上的至少一个摆臂，连接于侧板背部的第二驱动件，连接于所述第二驱动件的驱动端的联动板，所述联动板上设有与所述摆臂数量相同的导向孔，所述摆臂的前端设有解锁头，后端活动插接于所述导向孔内，由所述第二驱动件驱动所述联动板，并由所述联动板带动所述摆臂偏转，以致所述解锁头转动，打开载板上的转动锁。
6.根据权利要求1所述的用于晶圆加工的载板清洗设...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑国绍，曾志家，张彥平，
申请(专利权)人：深圳市凯尔迪光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。