半导体清洗设备中的机械手夹持机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构，包括由动力装置分别驱动的两根旋转轴，旋转轴上各固定有机械臂，机械臂上具有拾取器，还包括检测旋转轴旋转角度的位置传感器、与晶圆花篮接触的检测开关以及控制动力装置的控制单元，所述的动力装置为可正反转的电机，所述的检测开关固定连接在机械臂上，位置传感器和检测开关通过信号线与控制单元相连接。本实用新型专利技术结构简单，能够夹取不同规格的晶圆花篮并且能够辨别是否夹空。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构，包括由动力装置（6）分别驱动的两根旋转轴（1），旋转轴（1）上各固定有机械臂（2），机械臂（2）上具有拾取器（2？1），其特征在于：还包括检测旋转轴（1）旋转角度的位置传感器（3）、与晶圆花篮（4）接触的检测开关（5）以及控制动力装置（6）的控制单元，所述的动力装置（6）为可正反转的电机，所述的检测开关（5）固定连接在机械臂（2）上，位置传感器（3）和检测开关（5）分别通过信号线与控制单元相连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卡尔·罗伯特·休斯特，祝宇云，
申请(专利权)人：硅密常州电子设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：