半导体清洗设备中的机械手制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体清洗设备中的机械手，它包括壳体、旋转轴、机械手固定板、安装在壳体上的摆动动力装置、使壳体做升降运动的升降动力装置和使壳体做上下振动的振动动力装置以及控制摆动动力装置、升降动力装置和振动动力装置的控制单元，旋转轴可旋转地支承在壳体上，旋转轴的下端安装有挂架，壳体通过导轨副可滑动地连接在机械手固定板上，升降动力装置安装在机械手固定板上，摆动动力装置通过传动装置驱动旋转轴旋转。本实用新型专利技术自动化程度高，能够降低劳动强度，减轻化学品对人体的伤害，提高生产效率，保证产品质量，满足批量化生产。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体清洗设备中的机械手，其特征在于：它包括壳体（1）、旋转轴（2）、机械手固定板（3）、安装在壳体（1）上的摆动动力装置、使壳体（1）做升降运动的升降动力装置和使壳体（1）做上下振动的振动动力装置以及控制摆动动力装置、升降动力装置和振动动力装置的控制单元，旋转轴（2）为表面包有一层PFA材料的热缩管，旋转轴（2）可旋转地支承在壳体（1）上，旋转轴（2）的下端安装有挂架（4），壳体（1）通过导轨副可滑动地连接在机械手固定板（3）上，升降动力装置安装在机械手固定板（3）上，摆动动力装置通过传动装置驱动旋转轴（2）旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金金明，
申请(专利权)人：硅密常州电子设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：