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本实用新型公开了一种半导体清洗设备中的机械手，它包括壳体、旋转轴、机械手固定板、安装在壳体上的摆动动力装置、使壳体做升降运动的升降动力装置和使壳体做上下振动的振动动力装置以及控制摆动动力装置、升降动力装置和振动动力装置的控制单元，旋转轴可旋...
该专利属于硅密（常州）电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅密（常州）电子设备有限公司授权不得商用。

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